Chế tạo màng cứng bằng phương pháp phún xạ RF 58... Tính chất màng TiN chế tạo bằng phún xạ hoạt hóa cathode cao tần 60 CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO LỚP PHỦ TRÊN CHI TIẾT KHUÔN VÀ KẾT QUẢ ĐÁNH GIÁ
Trang 1MỤC LỤC
Trang
Lời cam đoan 3 Lời cảm ơn 4 Danh mục các bảng 7
Mở đầu 11 CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ CÔNG NGHỆ ĐÚC ÁP LỰC 14
1.1.2 Các giai đoạn chính trong quá trình đúc 15 1.2 Khuôn đúc áp lực 16 1.2.1 Cấu tạo khuôn đúc áp lực 16 1.2.2 Vật liệu chế tạo khuôn đúc áp lực 17 1.2.3 Xử lý nhiệt khuôn đúc áp lực 17 1.2.4 Xử lý bề mặt khuôn đúc áp lực 22 1.2.5 Cơ tính của khuôn đúc áp lực 24
1.2.7 Bảo dưỡng khuôn, tuổi thọ của khuôn 29 1.3 Vật liệu đúc 31 1.3.1 Chủng loại và ứng dụng của đúc hợp kim nhôm 31 1.3.2 Tính chất công nghệ của hợp kim nhôm đúc áp lực cao 35 1.3.3 Ảnh hưởng của các nhân tố tới tính công nghệ 36 1.3.4 Khả năng đúc của hợp kim nhôm dùng cho đúc áp lực cao 37 1.3.5 Tổ chức của hợp kim nhôm đúc áp lực cao 38 1.4 Thiết bị đúc 40 1.4.1 Máy đúc áp lực buồng nóng CF-65HT 40 1.4.2 Máy đúc áp lực buồng lạnh ZDC-150T-V2BP 43 CHƯƠNG 2: CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO LỚP PHỦ TiN 47 2.1 Các phương pháp chế tạo màng 47 2.1.1 Phương pháp phun phủ (spray coating) 47 2.1.2 Phương pháp lắng đọng hóa học từ pha hơi (CVD) 47 2.1.3 Phương pháp lắng đọng vật lý từ pha hơi (PVD) 48 2.2 Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp phún xạ cao tần 49 2.2.1 Nguyên lý chung của phương pháp phún xạ 49 2.2.2 Nguyên lý phún xạ cathode cao tần (Nguyên lý RF - Sputtering) 50 2.2.3 Các loại buồng phún xạ RF 54 2.2.4 Ứng dụng của phún xạ cao tần 55 2.3 Thiết bị thí nghiệm 56 2.3.1 Khảo sát đặc tính của thiết bị Z550 56 2.3.2 Chế tạo màng cứng bằng phương pháp phún xạ RF 58
Trang 22.4 Chế tạo màng TiN bằng phún xạ RF 58 2.4.1 Đặc tính và tính chất chung của màng TiNx 58 2.4.2 Tính chất màng TiN chế tạo bằng phún xạ hoạt hóa cathode cao
tần
60
CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO LỚP PHỦ TRÊN CHI TIẾT KHUÔN VÀ KẾT
QUẢ ĐÁNH GIÁ
70
3.1 Chế tạo mẫu thử 71 3.1.1 Mẫu kiểm tra tính chất cơ lý 71 3.1.2 Các chi tiết thử nghiệm sản xuất tại nhà máy 71 3.2 Công nghệ chế tạo màng TiN 73
3.2.2 Thiết bị sử dụng 73 3.2.3 Vật liệu sử dụng 73 3.2.4 Thao tác chế tạo 75
3.2.6 Kết thúc quá trình tạo màng 77 3.3 Đo các tính chất lớp phủ 78
3.3.4 Thử nghiệm khả năng dính bám nhôm lỏng của lớp phủ TiN 83 Kết luận và kiến nghị 92 Tài liệu tham khảo 93 Phụ lục 94