Vận tốc và áp suất buồng đúc của các giai đoạn trong quá trình đúc 15 Hình 1.3.. Khuôn đã sử dụng để đo biến dạng khuôn động Khuôn tĩnh cũng có kích thước đồng nhất 24 Hình 1.8.. Thay đổ
Trang 1DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ
Trang Hình 1.1 Quá trình đúc 14 Hình 1.2 Vận tốc và áp suất buồng đúc của các giai đoạn trong quá trình
đúc
15
Hình 1.3 Kết cấu khuôn đúc áp lực 16 Hình 1.4 Sử lý nhiệt khuôn đúc áp lực 18 Hình 1.5 Quy trình tôi thép SKD61 làm khuôn đúc áp lực 19 Hình 1.6 Quy trình ram thép SKD61 làm khuôn đúc áp lực 19 Hình 1.7 Khuôn đã sử dụng để đo biến dạng (khuôn động) (Khuôn tĩnh
cũng có kích thước đồng nhất)
24
Hình 1.8 Vị trí gắn thước đo cong vênh 25 Hình 1.9 Thay đổi ứng suất tại phần chính giữa mặt sau khuôn động
trong 1 chu kỳ đúc
26
Hình 1.10 Cấu tạo mạch nước làm mát khuôn 29 Hình 1.11 Độ dài chảy loãng của hợp kim Al-Si 38 Hình 1.12 Phân bố độ dài lưu động của hệ 3 nguyên tố Al-Si-Cu 38 Hình 1.13 Tổ chức đúc của sản phẩm hợp kim ADC12 đúc áp lực cao 39
Hình 1.15 Máy đúc áp lực buồng nóng CF-65HT 41 Hình 1.16 Máy đúc áp lực buồng lạnh ZDC-150T-V2BP 44 Hình 2.1 Quá trình vật lý xảy ra trên bề mặt bia 49 Hình 2.2 Quá trình vật lý xảy ra trên bề mặt đế khi các phần tử M2 đến
đế
49
Hình 2.3 Quá trình va chạm của các nguyên tử phún xạ trong buồng làm
việc
50
Hình 2.4 Hệ phóng điện bằng ống thuỷ tinh 50 Hình 2.5 Thế của plasma trong hệ RF có hai điện cực kim loại bằng
nhau phụ thuộc vào áp suất
52
Hình 2.6 Hệ phóng điện có hai điện cực khác nhau 53 Hình 2.7 Nguyên lý buồng phún xạ RF có hai điện cực song song và
bằng nhau
54
Hình 2.8 Cấu tạo buồng phún xạ RF 54 Hình 2.9 Cấu tạo buồng RF dạng Diode có hai điện cực song song và
không bằng nhau
55
Hình 2.10 Cấu tạo buồng phún xạ RF dạng Triode 55 Hình 2.11 Nguyên lý phún xạ của thiết bị Z550 56 Hình 2.12 Đồ thị biến đổi của điện thế bias 57 Hình 2.13 Đồ thị biến đổi của thế bias 57 Hình 2.14 Đồ thị Lưu lượng khí vào tính theo SCCM và chỉ số đo chân
không
57
Trang 2Hình 2.17 Cấu trúc tinh thể của màng TiN 61 Hình 2.18 Giản đồ pha của màng TiNx 61 Hình 2.19 Sự phụ thuộc của tỷ lệ N/Ti vào áp suất riêng của N2 62 Hình 2.20 Ảnh hưởng của áp suất buồng làm việc 62 Hình 2.21 Sự phụ thuộc của N/Ti vào công suất cao tần ở hai chế độ N2
khác nhau
63
Hình 2.22 Ảnh hưởng của thế bias mẫu đến thành phần màng TiN 64 Hình 2.23 Độ hạt của màng phụ thuộc vào thế bias đế 64 Hình 2.24 Độ hạt phụ thuộc vào công suất cao tần và áp suất riêng N2 65
Hình 2.26 Sự phụ thuộc của trọng lượng riêng vào nồng độ N2 66 Hình 2.27 Độ cứng của màng TiN phụ thuộc vào tỉ lệ N2trong màng 66 Hình 2.28 Độ cứng của màng phụ thuộc vào thế bias đế 67 Hình 2.29 Độ cứng phụ thuộc vào áp suất riêng N2 67 Hình 2.30 Hệ số ma sát của màng TiN so với thép M2 và với TiCN 68 Hình 2.31 Đồ thị khối lượng màng TiN bị mài mòn 68
Hình 3.2 Vị trí lắp chốt vòng ôm trên khuôn đúc 71 Hình 3.3 Thao giá đỡ 72 Hình 3.4 Vị trí lắp thao giá đỡ trên khuôn đúc 73 Hình 3.5 Quy trình công nghệ tạo lớp phủ trên thiết bị Z550 74
Hình 3.7 Chi tiết được xếp trong buồng trước khi phủ 76 Hình 3.8 Buồng phản ứng khi chế tạo màng TiN có tỉ lệ 1:1 77 Hình 3.9 Chi tiết sau khi được phủ 77 Hình 3.10 Bề mặt chụp bằng kính hiển vi x1000 78 Hình 3.11 Bề mặt 3D lớp phủ TiN chụp bằng kính hiển vi x3000 79
Hình 3.13 Thực hiện thao tác đo độ cứng màng TiN tại phòng Công
nghệ Màng mỏng-Trung tâm Quang điện tử
80
Hình 3.14 Thay đổi nhiệt độ khuôn theo thời gian từ sau khi khởi động
khuôn
81
Hình 3.15 Thử nghiệm sốc nhiệt ở các nhiệt độ khác nhau 82 Hình 3.16 Mẫu thử sốc nhiệt được phủ TiN 83 Hình 3.17 Mẫu kiểm tra khả năng tách khuôn 84
Hình 3.20 Đường cong “thời gian-tải” [1] 85 Hình 3.21 Biểu đồ lực kéo mẫu thí nghiệm 85 Hình 3.22 Kim loại lỏng không thấm ướt khuôn 86 Hình 3.23 Kim loại lỏng trung hòa 87 Hình 3.24 Kim loại lỏng thấm ướt khuôn 88 Hình 3.25 Mẫu kiểm tra khả năng thấm ướt kim loại lỏng 88
Trang 3Hình 3.26 Chốt sau thí nghiệm kéo 89 Hình 3.27 Khối nhôm sau thí nghiệm kéo 89 Hình 3.28 Sản xuất thử nghiệm tại Nhà máy Z117 - Tổng cục CNQP -
Bộ QP
90