Các kích thước cần đo trong chế tạo cơ khí thường có độ dài từ một vài mét cho đến hàng trăm mét với độ chính xác yêu cầu từ vài milimét đến vài chục micrômét 4.2.1Đo khoảng cách lớn bằn
Trang 14.2 Đo kích thước lớn.
Các kích thước cần đo trong chế tạo cơ khí thường có độ dài từ
một vài mét cho đến hàng trăm mét với độ chính xác yêu cầu từ vài milimét đến vài chục micrômét
4.2.1Đo khoảng cách lớn bằng xung laser.
Hình 4.16 Sơ đồ nguyên lý đo khoảng cách lớn bằng xung laser
Trang 2Khoảng cách đo L tương ứng với một nửa quãng đường đi của xung
laser:
L = c.t / 2
- c là vận tốc ánh sáng trong không khí 2,83.106 m/s
- t là thời gian đi và về của xung laser
Do vận tốc của ánh sáng lớn nên độ chính xác của phép đo phụ
thuộc vào độ chính xác của phép đo thời gian và chát lượng của dạng xung laser
Để đạt được đến độ phân giải cỡ milimet cần phải có bộ đo thời
gian đạt đến 10-9s.Đặc điểm của phương pháp đo này là có độ chính xác không cao khi đo ở khoảng cách nhỏ
Trang 3Các máy đo ở cự ly gần của hãng Leica với xung chuẩn 10-9s đạt
Trang 44.2.2 Đo kích thước lớn bằng phương pháp di pha
Phương pháp này sử dụng các bộ diều biến làm cho tia laser được
điều chế cường độ thành dạng tín hiệu điều hòa có tần sô f
không lớn
Hình 4.18 Sơ đồ nguyên lý đo khoảng cách bằng di pha
Trang 5Pha của tín hiệu đo sẽ chậm hơn tín hiệu chuẩn:
Độ nhây của phương pháp này phụ thuộc vào khả năng đo độ lệch
pha của hai tín hiệu nếu tần số tín hiệu điều hòa là f=6.106Hz
và khả năng đo lệch pha là 1 phút thì độ phân giải của của phép
đo là 1 mm
Các thiết bị đo hiện đạt được độ chính xác 1mm/1000m
Trang 64.2.3 Đo biến thiên khoảng cách theo phương
pháp tam giác lượng
Phương pháp đo sự biến đổi khoảng cách giữa đầu đo laser với bề
mặt đo dựa trên nguyên lý tam giác lượng sử dụng tính chất truyền thẳng của tia sáng laser như hình 4.18
Hình 4.18 Nguyên lý đo theo tam giác lượng
Tia laser
X2 X1
M
b
a II
I
Trang 7a- Phương pháp đo dựa trên tia phản xạ
Tia laser chiếu tới bề mặt chi tiết đo ở vị trí Z0 với góc tới i bị
phản xạ lại và có tia phản xạ là a Khi bề mặt tại điểm đo dịch chuyển một lượng ∆Z, thì tia phản xạ là b và vị trí điểm ảnh
của tia laser trên cảm biến quang điện cũng dịch chuyển một lượng tương ứng:
∆h = ∆Zsin(2i) / cos(i)
a
Z Z0
b
Trang 8Tỷ số truyền của chuyển đổi :
K= ∆h/∆Z =sin(2i) / cos(i)
Đồ thị trên hình 4.20 biểu thị sự tăng của tỷ số truyền K theo sự
tăng của góc tới: khi i=300 có k= 1; trong vùng i<300 thì k<
1 ; còn vùng i>300 thì 2> k>1 Tuy nhiên, việc tăng góc tới i
sẽ làm tăng kích thước kết cấu cảm biến và ảnh hưởng của đặc điểm phản xạ của bề mặt chi tiết đo
0 0.5 1 1.5 2 2.5
0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80 85 90
Hình 4.20: Đồ thị quan hệ giữa
K và i
Trang 9b- Phương pháp đo theo tán xạ:
Khi bề mặt tại điểm đo dịch chuyển một lượng ∆Z, thì vị trí điểm
ảnh của tia laser trên cảm biến quang điện cũng dịch chuyển một lượng tương ứng:
a1
Z0 ∆Z
Z b1
Hình 4.21: Nguyên lí đo theo tán xạ
với:- là hệ số khuếch đại
Trang 10Tỷ số truyền:
K = ∆Zsin(i+)/cos(i)
Tỷ số truyền không kể đến hệ số phóng đại của hệ quang:
K’= sin(i+)/cos(i)
Trờn đồ thị biểu diễn sự biến đổi của K’ đối với góc tới i với các
giá trị của góc nghiêng quang trục là 1= 150;2=300 và 3=
450
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
của bề mặt chi tiết
đo và quang sai của
hệ quang
Trang 11Sensor đo dịch chuyển Z4W-V của hãng OMRON, đây là cảm biến đo chuyển vị không tiếp xúc có độ chính xác cao dùng với nguồn sáng khả kiến đỏ, độ phân giải 10 m, đầu ra tuyến tính 4 đến 20 mA hoặc 1 đến 5 VDC, thời gian đáp ứng 5 ms, khoảng cách đo 25 mm ± 4 mm, độ phân giải 10 m.
Trang 13Đo bề dầy
Đo kích thước chiều cao
Trang 144.2.4Đo dịch chuyển nhỏ theo nguyên lý điều chỉnh hội tụ
Chuyển vị z biến đổi thành điện áp U1 = kz Trong phạm vi tuyến
Trang 15Nguyên lý hội tụ loạn thị
Một nguồn điểm phát sáng qua hệ quang loạn thị , khi đặt mặt
phẳng thu ở các vị trí khác ta được các đốm sáng hình êlíp theo phương đứng hoặc phương ngang tùy theo mặt phẳng thu ở bên
trái hay bên phải vị trí “0” (hình 4 25)
Trang 16tách tia, thấu
kính chuẩn trực, thấu kính trụ,
Trang 17Nối với mạng diode quang là mạch điện khuếch đại sơ cấp , hình
4.27 Chênh lệch diện tích chiếu sáng giữa hai cặp cảm biến
quang (A + C) và (B + D) biến đổi thành điện áp ở đầu ra của khuếch đại, ta gọi nó là tín hiệu sai lệch hội tụ chỉ có khả năng phản ánh sự thay đổi của dịch chuyển z trong phạm vi rất hẹp khoảng 15 m
Trang 18Đo góc quay bằng laser vòng
Phương pháp đo góc quay bằng laser có buồng cộng hưởng dạng
vòng dựa trên nguyên lý cộng vận tốc, hình 4.28
Hình 4.28 Laser vòng đo góc nhỏ
Trang 19Khi laser vòng quay quanh trục vông góc với mặt phẳng vòng laser,
sẽ làm sai lệch hiệu quang lộ của hai chùm tia laser lan truyền ngược chiều nhau Quang lộ của tia thuận chiều sẽ lớn hơn
quang lộ của tia ngược chiều làm cho tần sô của bức xạ laser fth ,fng của hai tia sẽ sai lệch nhau một lượng là
Trang 20Nhiễu xạ qua lỗ Nhiễu xạ qua dây nhỏ
Trang 21Đo kích thước nhỏ bằng nhiễu xạ
Hiệu ứng nhiễu xạ xảy ra khi ta chiếu một chùm tia laser vào một
dây hoặc một vật nhỏ có kích thước d có độ lớn gần với bước sóng ánh sáng laser
Hình 4.29 Hiện tượng nhiễu xạ
Trên màn ảnh các điểm sáng
nhiễu xạ có có phân bố năng
lượng tuân theo công thức
Bragg:
sinθ = nλ / 2d
Trang 22Trên hình 4.30 là sơ đồ nguyên lý đo của thiết bị đo nhiễu xạ đo
đường kính dây nhỏ Khả năng đo của phương pháp này đo được đường kính dây đến 0,25m với sai số đạt đến 5%
Hình 4.30 Sơ đồ nguyên lý đo theo nhiễu xạ