Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscope, viết tắt là SEM), là một loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng một chùm các electron hẹp quét trên bề mặt mẫu.
Trang 1Kính hiển vi điêên tử quét là gì?
Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscope, viết tắt là SEM), là một loại
kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng một chùm các electron hẹp quét trên bề mặt mẫu
TRƯỜNG ĐH SƯ PHẠM KỸ THUẬT TP_HCM
Trang 2Lịch sử phát triển của SEM
Năm 1942, SEM lần đầu tiên phát triển bởi ZWORYKIN.
Năm 1948, C W Oatley ở Đại học Cambridge đã phát triển SEM với chùm điện tử hẹp có độ phân giải đến 500 Angstrom.
Năm 1965, SEM thương phẩm đầu tiên được sản xuất bởi Cambridge Scientific Instruments Mark I.
Trang 3Sơ đồ khối của SEM
Trang 4Nguyên lý hoạt động và sự tạo ảnh trong SEM
Trang 5Một số phép phân tích trong SEM Một số phép phân tích trong SEM
Huỳnh quang catốt (Cathodoluminesence): Là các ánh sáng phát ra do tương tác của chùm điện tử với bề mặt mẫu
Phân tích phổ tia X (X-ray microanalysis): Tương tác giữa điện tử với vật chất có thể sản sinh phổ tia X đặc trưng: phổ tán sắc năng lượng tia X, phổ tán sắc bước sóng tia X
Một số SEM hoạt động ở chân không siêu cao có thể phân tích phổ điện tử Auger
Huỳnh quang catốt (Cathodoluminesence): Là các ánh sáng phát ra do tương tác của chùm điện tử với bề mặt mẫu
Phân tích phổ tia X (X-ray microanalysis): Tương tác giữa điện tử với vật chất có thể sản sinh phổ tia X đặc trưng: phổ tán sắc năng lượng tia X, phổ tán sắc bước sóng tia X
Một số SEM hoạt động ở chân không siêu cao có thể phân tích phổ điện tử Auger
Trang 6Ưu điểm của SEM
Phân tích mà không cần phá hủy mẫu vật.
Có thể hoạt động ở môi trường chân không thấp.
Thao tác điều khiển đơn giản, dễ sử dụng.
Giá thành thấp.
Phân tích mà không cần phá hủy mẫu vật.
Có thể hoạt động ở môi trường chân không thấp.
Thao tác điều khiển đơn giản, dễ sử dụng.
Giá thành thấp.
Trang 7
Thiết bị SEM Jeol 5410 LV DHQGHN
Thiết bị SEM Jeol 5410 LV tại Trung tâm Khoa học Vật liệu, ĐHQGHN
Trang 8Một số ảnh chụp bằng SEM
Trang 10Một số ảnh chụp bằng SEM
Mắt đa hợp của loài nhiễm thể Euphausia superba ở Nam Cực Mắt đa hợp của loài nhiễm thể Euphausia superba ở Nam Cực
Trang 11Một số ảnh chụp bằng SEM