Phòng sạch được phân loại theo số lượng và kích thước của các hạt được phép cho mỗi thể tích không khí. Các số lớn như class 100 hoặc class 1000 được chia theo FEDSTD209E và biểu thị số hạt có kích thước 0,5 µm hoặc lớn hơn được phép cho mỗi ft3 không khí. Tiêu chuẩn cũng cho phép nội suy; ví dụ SNOLAB (Một phòng thí nghiệm vật lý sâu 2km dưới lòng đất tọa lạc tại Sudbury, Ontario, Canada) được duy trì như một phòng sạch class 2000. (ft3 là một foot khối, theo tiêu chuẩn đo lường của AnhMỹ) Các số nhỏ đề cập đến các tiêu chuẩn ISO 146441, trong đó xác định logarit thập phân của số lượng hạt 0,1 µm hoặc lớn hơn cho phép trên một m3 không khí. Vì vậy, ví dụ, một phòng sạch theo tiêu chuẩn ISO class 5 có tối đa 105 hạt m3. Cả FS 209E và ISO 146441 đều cho rằng mối quan hệ loglog giữa kích thước hạt và nồng độ hạt. Vì lý do đó, nồng độ hạt không tồn tại. Một số class không yêu cầu thử nghiệm một số kích thước hạt, bởi vì nồng độ quá thấp hoặc quá cao để thực tế để kiểm tra, nhưng khoảng trống như vậy không nên được đọc là số không.
Trang 1Phòng sạch được phân loại theo số lượng và kích thước của các hạt được phép
cho mỗi thể tích không khí Các số lớn như "class 100" hoặc "class 1000" được
chia theo FED-STD-209E và biểu thị số hạt có kích thước 0,5 µm hoặc lớn hơn
được phép cho mỗi ft3 không khí Tiêu chuẩn cũng cho phép nội suy; ví dụ
SNOLAB (Một phòng thí nghiệm vật lý sâu 2km dưới lòng đất tọa lạc tại Sudbury,
Ontario, Canada) được duy trì như một phòng sạch class 2000 (ft3 là một foot
khối, theo tiêu chuẩn đo lường của Anh-Mỹ)
Một bộ đếm hạt trong không khí đo mức tán xạ của ánh sáng được sử dụng để
xác định nồng độ của các hạt trong không khí, bằng và lớn hơn các kích thước
được chỉ định, tại các vị trí lấy mẫu được chỉ định
Các số nhỏ đề cập đến các tiêu chuẩn ISO 14644-1, trong đó xác định logarit
thập phân của số lượng hạt 0,1 µm hoặc lớn hơn cho phép trên một m3 không
khí Vì vậy, ví dụ, một phòng sạch theo tiêu chuẩn ISO class 5 có tối đa 105 hạt /
m3
Cả FS 209E và ISO 14644-1 đều cho rằng mối quan hệ log-log giữa kích thước
hạt và nồng độ hạt Vì lý do đó, nồng độ hạt không tồn tại Một số class không
yêu cầu thử nghiệm một số kích thước hạt, bởi vì nồng độ quá thấp hoặc quá cao
để thực tế để kiểm tra, nhưng khoảng trống như vậy không nên được đọc là số
không
Bởi 1 m3 = 35 ft3, cả hai tiêu chuẩn chủ yếu là tương đương khi đo các hạt 0,5
µm, mặc dù các tiêu chuẩn thử nghiệm khác nhau Không khí phòng thông
thường là khoảng class 1.000.000 hoặc ISO 9
===ISO 14644-1 and ISO 14698===
ISO 14644-1 và ISO 14698 là các tiêu chuẩn phi chính phủ được phát triển bởi Tổ
chức tiêu chuẩn hóa quốc tế (ISO) Tiêu chuẩn trước áp dụng cho phòng sạch nói
chung (xem bảng dưới đây); trong khi Tiêu chuẩn sau lại nhắm đến các phòng
sạch có thể bị nhiễm độc sinh học
Class
Số lượng hạt tối đa/m 3 a
≥0.1 µm ≥0.2 µm ≥0.3 µm ≥0.5 µm ≥1 µm ≥5 µm
Trang 2ISO 3 1,000 237 102 35b d e
ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 d,e,f
ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
a Tất cả nồng độ trong bảng đều được tích lũy, ví dụ ở tiêu chuẩn ISO Class 5, 10.200 hạt kích thước 0,3 μm bao gồm tất cả các hạt bằng và lớn hơn 0,3 μm trở lên.
b Nồng độ này cho thấy số lượng mẫu cần phải lấy để có thể phân loại và xếp hạng Quy trình lấy mẫu có thể xem ở mục
D
c Giới hạn nồng độ không được tính cho khu vực này của bảng do nồng độ hạt đã quá cao
d Việc lấy mẫu và giới hạn thống kê cho các hạt ở nồng độ thấp làm cho việc phân loại không còn phù hợp
e Giới hạn mẫu với cả 2 loại hạt có nồng độ và kích thước nhỏ hơn 1 μm khiến việc phân loại hạt ở kích thước này là không thích hợp, do tổn thất hạt trong việc lấy mẫu
f Xác định kích thước hạt này để liên hệ với ISO Class 5, mô tả Đại phân tử M có thể được sử dụng và điều chỉnh kết hợp với ít nhất 1 kích thước hạt khác (Xem C.7.)
===US FED STD 209E===
US FED STD 209E là 1 tiêu chuẩn liên bang của Hoa Kỳ Nó đã chính thức bị hủy
bỏ bởi Tổ chức Dịch vụ Tổng hợp Hoa Kỳ ngày 29 tháng 11 năm 2001 nhưng vẫn
được sử dụng rộng rãi
Trang 3Số lượng hạt tối đa/ft 3
ISO Tương đương
≥0.1 µm ≥0.2 µm ≥0.3 µm ≥0.5 µm ≥5 µm
Chú ý: 1 m3 = 35 ft3
===Tiêu chuẩn EU GMP===
Hướng dẫn GMP của EU nghiêm ngặt hơn các quy định khác, yêu cầu phòng sạch
đáp ứng số lượng hạt trong quá trình vận hành (quá trình sản xuất) và phần còn
lại (khi không sản xuất, nhưng AHU của phòng vẫn được bật)
Cấp
Số lượng hạt tối đa/m 3
Dừng hoạt động Hoạt động
Trang 4Cấp A 3,520 20 3,520 20
Cấp D 3,520,000 29,000 Không xác định Không xác định
===BS 5295===
BS 5295 là tiêu chuẩn của nước Anh
Class
Số lượng hạt tối đa/m 3
Class 1 tiêu chuẩn BS 5295 yêu cầu là hạt lớn nhất thu được trong bất kỳ mẫu
thử nào cũng không được vượt quá 5 μm Tiêu chuẩn BS 5295 không còn được
sử dụng từ năm 2007 và hiện được thay thế bằng tiêu chuẩn BS EN ISO
14644-6:2007