TIỂU LUẬN PHÁT XẠ ĐIỆN TỬ THỨ CẤP

PHÁT XẠ ĐIỆN TỬ THỨ CẤP Hướng dẫn: PGS.TS Lê Văn Hiếu Thực Hiện: Nguyễn Văn Thọ... Phát xạ điện tử thứ cấp là gì?... CƠ SỞ LÝ THUYẾT • Hệ số phát xạ thứ cấp electron thứ cấp electron

Trang 1

PHÁT XẠ ĐIỆN TỬ THỨ CẤP

Hướng dẫn: PGS.TS Lê Văn Hiếu

Thực Hiện: Nguyễn Văn Thọ

Trang 2

Phát xạ điện tử thứ cấp là gì?

Trang 3

CƠ SỞ LÝ THUYẾT

• Hệ số phát xạ thứ cấp

electron thứ cấp

electron sơ cấp

Characterization of the Dose Effect in Secondary Electron Emission

Prashanth Kumar

B.E, University of Madras, 2003

Trang 4

Tóm tắt lý thuyết lye và dekker

• n(x;E0)dx là số hạt thứ cấp được tạo ra

với độ dày dx và ở độ sâu x so với bề

mặt

Trang 5

• f(x) Là hàm phân bố của hạt thứ cấp dọc theo trục x và thoát ra bề mặt

Prashanth Kumar

Trang 6

Độ mất mát năng lượng của hạt sơ cấp được tính bằng định luật Whiddington's: dE/dx = -Ep/R trong

đó A là hằng số đặt trưng cho vật liệu, R độ xuyên sâu

R được xác định thông qua

n nằm trong khoảng 1,3 – 1,6

Trang 7

Prashanth Kumar

Với K là hệ số, r được xác định thông qua:

Sử dụng điều kiện

Ta có

Trang 8

Tóm tắt lý thuyết Dionne

Tổng số hạt electron thứ cấp bằng (-dE/dx)/

Trong đó dE/dx là năng lượng bị mất mát, còn là năng

lượng mà một electron thoát ra

Độ mất mát năng lượng của hạt sơ cấp được tính

bằng định luật Whiddington's: dE/dx = -Ep/R trong

đó A là hằng số đặt trưng cho vật liệu, R độ xuyên

sâu

R được xác định thông qua

Trang 9

Tóm tắt lý thuyết Dionne

Prashanth Kumar

Hệ số phát xạ thứ cấp được xác định bằng công thức:

Trong đó

B xắc suất để hạt thoát ra khỏi bề mặt

Năng lượng excitation của điện tử thứ cấp

Hệ số hấp thụ của điện tử thứ cấp

A Hệ số hấp thụ của điện tử sơ cấp

d Độ xuyên sâu cực đại

Định dạng
Số trang	9
Dung lượng	219,67 KB