Trong sự phát triển của kỹ thuật điện tử ngày nay. Kỹ thuật số đang dần chiêm ưu thế về số lượng các ứng dụng của nó trên nhiều thiết bị điện tử tư dân dụng cho đến chuyên dụng, trong nhiều lĩnh vực đo lường, điều khiển…nhờ vào nhiều ưu điểm của nó. Có thể nói, nền tảng của kỹ thuật số la các mạch logic số dựa trên sự kết hợp của các cổng logic cơ bản mà ngày nay đã được tích hợp trong các IC số. Cũng vì thế nhằm mục đích thiết bị ngày càng nhỏ, rất thuận lợi thì bài Công nghệ nano này sẽ giúp bạn làm việc tốt hơn.
Trang 1CÔNG NGHỆ LINH KIỆN ĐIỆN TỬ
MICRO VÀ NANÔ
MẪU CHẾ TẠO);
LIỆU RA KHỎI MẪU CHẾ TẠO)
BỚT VẬT LIỆU TÙY THEO CÔNG ĐOẠN).
Trang 2P pháp cộng P pháp trừ P pháp thay đổi
a)Lắng đọng màng mỏng
- Lắng đọng thổi
- Lắng đọng bay hơi
- Lắng đọng hòa tan
- Epitaxy chùm phân tử
b) Kỹ thuật in
- In phun
- In vi tiếp xúc
c) Phát triển tự tổ chức
- P ứng hoá học chọn lọc
- Phát triển sinh học của tế
bào
d) Lắp ráp
- Gắn wafer
- Công nghệ lắp bề mặt
- Các phương pháp liên
kết và nối dây
a) Xử lý bức xạ
- Phơi sáng cản quang
- Làm cứng polymer
b) Ủ nhiệt
- Kết tinh
- Khuếch tán
- Thay đổi pha
c) Xử lý tia ion
- Nuôi cấy ion
- Vô định hình hoá
d) Thay đổi cơ học
- Tạo hình bằng plastic
- Thao tác đầu dò quét
a) Ăn mòn
- Ăn mòn axít
- Ăn mòn bằng chùm ion
- Ăn mòn ion phản ứng
- Xử lý nhiệt và bức xạ
- Cắt bỏ bằng laser
- Ăn mòn bằng tia lửa
b) `
- Đánh bóng cơ hoá
- Đục
- Khoan
- Tạo rãnh
Trang 3CÔNG NGHỆ
CMOS Pha thiết kế Pha chế tạo
Thiết kế hệ thống
Thiết kế chức năng
Thiết kế logic
Thiết kế mạch điện
Thiết kế kiến trúc
Thiết kế mặt nạ
Chế tạo mặt nạ
Chuẩn bị Wafer
Xử lý Wafer
Kiểm tra, đóng gói
Hình 1.1: Các bước để chế tạo vi mạch
Trang 4CHẾ TẠO VẬT LIỆU NANO
• VẬT LIỆU NANO ĐƯỢC CHẾ TẠO BẰNG HAI PHƯƠNG PHÁP:
• PHƯƠNG PHÁP TỪ TRÊN XUỐNG (TOP-DOWN); TẠO HẠT
KÍCH THƯỚC NANO TỪ CÁC HẠT CÓ KÍCH THƯỚC LỚN HƠN
• PHƯƠNG PHÁP TỪ DƯỚI LÊN (BOTTOM-UP); HÌNH THÀNH
HẠT NANO TỪ CÁC NGUYÊN TỬ
Trang 5PHƯƠNG PHÁP TỪ TRÊN XUỐNG
• NGUYÊN LÝ: DÙNG KỸ THUẬT NGHIỀN VÀ BIẾN DẠNG ĐỂ BIẾN VẬT LIỆU THỂ KHỐI VỚI TỔ CHỨC HẠT THÔ THÀNH
CỠ HẠT KÍCH THƯỚC NANO ĐÂY LÀ CÁC PHƯƠNG PHÁP ĐƠN GIẢN, RẺ TIỀN NHƯNG RẤT HIỆU QUẢ, CÓ THỂ TIẾN HÀNH CHO NHIỀU LOẠI VẬT LIỆU VỚI KÍCH THƯỚC KHÁ LỚN (ỨNG DỤNG LÀM VẬT LIỆU KẾT CẤU).
Trang 6PHƯƠNG PHÁP TỪ TRÊN XUỐNG
(NGHIỀN)
• PHƯƠNG PHÁP NGHIỀN , VẬT LIỆU Ở DẠNG BỘT ĐƯỢC TRỘN LẪN VỚI NHỮNG VIÊN BI ĐƯỢC LÀM TỪ CÁC VẬT LIỆU RẤT CỨNG VÀ ĐẶT TRONG MỘT CÁI CỐI.
• MÁY NGHIỀN CÓ THỂ LÀ NGHIỀN LẮC, NGHIỀN RUNG HOẶC NGHIỀN QUAY (CÒN GỌI LÀ NGHIỀN KIỂU HÀNH TINH) CÁC VIÊN
BI CỨNG VA CHẠM VÀO NHAU VÀ PHÁ VỠ BỘT ĐẾN KÍCH THƯỚC NANO KẾT QUẢ THU ĐƯỢC LÀ VẬT LIỆU NANO KHÔNG CHIỀU (CÁC HẠT NANO).
Trang 7PHƯƠNG PHÁP TỪ TRÊN XUỐNG
(BIẾN DẠNG)
• PHƯƠNG PHÁP TẠO RA SỰ BIẾN DẠNG MÀ KHÔNG LÀM PHÁ HUỶ VẬT LIỆU
• NHIỆT ĐỘ CÓ THỂ ĐƯỢC ĐIỀU CHỈNH TÙY THUỘC VÀO TỪNG TRƯỜNG HỢP CỤ THỂ NẾU NHIỆT ĐỘ GIA CÔNG LỚN HƠN NHIỆT ĐỘ KẾT TINH LẠI THÌ ĐƯỢC GỌI LÀ BIẾN DẠNG NÓNG, CÒN NGƯỢC LẠI THÌ ĐƯỢC GỌI LÀ BIẾN DẠNG NGUỘI
• KẾT QUẢ THU ĐƯỢC LÀ CÁC VẬT LIỆU NANO MỘT CHIỀU (DÂY NANO) HOẶC HAI CHIỀU (LỚP CÓ CHIỀU DÀY NM)
• NGOÀI RA, HIỆN NAY NGƯỜI TA THƯỜNG DÙNG CÁC PHƯƠNG PHÁP QUANG KHẮC ĐỂ TẠO RA CÁC CẤU TRÚC NANO.
Trang 8PHƯƠNG PHÁP TỪ DƯỚI
LÊN
• NGUYÊN LÝ: HÌNH THÀNH VẬT LIỆU NANO TỪ CÁC NGUYÊN TỬ HOẶC ION PHƯƠNG PHÁP TỪ DƯỚI LÊN ĐƯỢC PHÁT TRIỂN RẤT MẠNH MẼ VÌ TÍNH LINH ĐỘNG VÀ CHẤT LƯỢNG CỦA SẢN PHẨM CUỐI CÙNG
• PHƯƠNG PHÁP TỪ DƯỚI LÊN CÓ THỂ LÀ PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ,
HÓA HỌC HOẶC KẾT HỢP CẢ HAI PHƯƠNG PHÁP HÓA-LÝ
• PHẦN LỚN CÁC VẬT LIỆU NANO MÀ CHÚNG TA DÙNG HIỆN NAY ĐƯỢC CHẾ TẠO TỪ PHƯƠNG PHÁP NÀY.
Trang 9PHƯƠNG PHÁP TỪ DƯỚI
LÊN (VẬT LÝ)
• PHƯƠNG PHÁP TẠO VẬT LIỆU NANO TỪ NGUYÊN TỬ HOẶC CHUYỂN PHA NGUYÊN TỬ ĐỂ HÌNH THÀNH VẬT LIỆU NANO ĐƯỢC TẠO RA TỪ PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ: BỐC BAY NHIỆT (ĐỐT, PHÚN XẠ , PHÓNG ĐIỆN HỒ QUANG) PHƯƠNG PHÁP CHUYỂN PHA: VẬT LIỆU ĐƯỢC NUNG NÓNG RỒI CHO NGUỘI VỚI TỐC ĐỘ NHANH ĐỂ THU ĐƯỢC TRẠNG THÁI VÔ ĐỊNH HÌNH,
DÙNG ĐỂ TẠO CÁC HẠT NANO, MÀNG NANO ,
VÍ DỤ: Ổ CỨNG MÁY TÍNH
Trang 10PHƯƠNG PHÁP TỪ DƯỚI
LÊN (HÓA HỌC)
• PHƯƠNG PHÁP TẠO VẬT LIỆU NANO TỪ CÁC ION PHƯƠNG PHÁP HÓA HỌC CÓ ĐẶC ĐIỂM LÀ RẤT ĐA DẠNG VÌ TÙY THUỘC VÀO VẬT LIỆU CỤ THỂ MÀ NGƯỜI TA PHẢI THAY ĐỔI KỸ THUẬT CHẾ TẠO CHO PHÙ HỢP TUY NHIÊN, CHÚNG TA VẪN CÓ THỂ PHÂN LOẠI CÁC PHƯƠNG PHÁP HÓA HỌC THÀNH HAI LOẠI: HÌNH THÀNH VẬT LIỆU
PHA KHÍ ( NHIỆT PHÂN , ) PHƯƠNG PHÁP NÀY CÓ THỂ TẠO CÁC HẠT NANO, DÂY NANO, ỐNG NANO, MÀNG NANO, BỘT NANO,
Trang 11PHƯƠNG PHÁP TỪ DƯỚI
LÊN (KẾT HỢP)
• PHƯƠNG PHÁP TẠO VẬT LIỆU NANO DỰA TRÊN CÁC NGUYÊN TẮC VẬT LÝ VÀ HÓA HỌC NHƯ:
PHÁP NÀY CÓ THỂ TẠO CÁC HẠT NANO, DÂY
NANO, ỐNG NANO, MÀNG NANO, BỘT NANO,
