Công nghệ nano là việc thiết kế, phân tích đặc trưng, chế tạo và ứng dụng các cấu trúc, thiết bị, và hệ thống bằng việc điều khiển hình dáng và kích thước trên quy mô nano mét.. Hóa
Trang 1TS.Nguyễn Thị Phương Phong
1.GiỚI THIỆU VỀ HÓA HỌC NANO
Trang 6 Khoa học nano là ngành khoa học nghiên cứu về các hiện tượng
và vận dụng vào các vật liệu tại các quy mô nguyên tử, phân tử và đại phân tử Tại các quy mô đó, tính chất của vật liệu khác hẳn với tính chất của chúng tại các quy mô lớn hơn
Công nghệ nano là việc thiết kế, phân tích đặc trưng, chế tạo và
ứng dụng các cấu trúc, thiết bị, và hệ thống bằng việc điều khiển hình dáng và kích thước trên quy mô nano mét
Vật liệu nano là đối tượng của hai lĩnh vực là khoa học nano và
công nghệ nano, nó liên kết hai lĩnh vực trên với nhau Kích thước của vật liệu nano trải dài một khoảng khá rộng, từ vài nm đến vài trăm nm
Hóa học nano: là các phương pháp chế tạo vật liệu và linh kiện
nano bằng các phản ứng hóa học
Trang 7 Vật liệu nano là vật liệu trong đó ít nhất một chiều có kích thước nano mét Về trạng thái của vật liệu, người ta phân chia thành ba trạng thái, rắn, lỏng và khí Vật liệu nano được tập trung nghiên cứu hiện nay, chủ yếu là vật liệu rắn, sau đó mới đến chất lỏng và khí Về hình dáng vật liệu, người ta phân ra thành các loại sau:
Vật liệu nano không chiều (cả ba chiều đều có kích thước nano,
không còn chiều tự do nào cho điện tử), ví dụ, đám nano, hạt nano
Vật liệu nano một chiều là vật liệu trong đó hai chiều có kích thước
nano, điện tử được tự do trên một chiều (hai chiều cầm tù), ví dụ,
dây nano, ống nano,
Vật liệu nano hai chiều là vật liệu trong đó một chiều có kích thước
nano, hai chiều tự do, ví dụ, màng mỏng,
Ngoài ra còn có vật liệu có cấu trúc nano hay nanocomposite trong
đó chỉ có một phần của vật liệu có kích thước nm, hoặc cấu trúc của nó có nano không chiều, một chiều, hai chiều đan xen lẫn nhau
Trang 8Hiệu ứng cầm tù lượng tử
Trang 9Metal Nanoparticles
Chemistry changes with Size!
CO CO 2
COXCO 2 See, for example:
Valden et al., Science 1998,281, 1647.
Scott et al., J Phys Chem B 2005, 109, 692
Hiệu ứng bề mặt
Trang 10Hiệu ứng plasmon bề mặt
Trang 11ry
Nanophysics
Trang 14Photolithography:
Quang khắc
Kỹ thuật liff-off Kỹ thuật ăn mòn
Trang 15 Quang khắc hay photolithography là kỹ thuật
sử dụng trong công nghệ bán dẫn và công nghệ
vật liệu nhằm tạo ra các chi tiết của vật liệu và
linh kiện với hình dạng và kích thước xác định bằng cách sử dụng bức xạ ánh sáng làm biến đổi các chất cảm quang phủ trên bề mặt để tạo
ra hình ảnh cần tạo Phương pháp này được sử dụng phổ biến trong công nghiệp bán dẫn và vi điện tử, nhưng không cho phép tạo các chi tiết nhỏ do hạn chế của nhiễu xạ ánh sáng, nên được gọi là quang khắc micro (micro lithography)
Trang 16 Electron beam lithography (EBL) là công nghệ tạo các chi tiết trên
bề mặt (các phiến Si ) có kích thước và hình dạng giống như thiết
kế bằng cách sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt phiến EBL là một công cụ phổ biến trong công nghệ nanô để tạo ra các chi tiết, các linh kiện
có kích thước nhỏ với độ chính xác cực cao
Trang 17CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION (CN LẮNG ĐỌNG HƠI HOÁ HỌC)
TẠO HẠT HOẶC MÀNG MỎNG NANO BẰNG PHẢN ỨNG PHA HƠI
Trang 32Semiconducting CdSe Quantum Dots
Colour changes with Size!
4 nm = 0.000004 mm