Đây là phòng thí nghiệm công nghệ Nano hiện đại, đồng bộ nhất Việt Nam, với 3 nhiệm vụ chủ yếu: Đào tạo và phục vụ đào tạo Đại học và Sau đại học ngành Khoa học và Công nghệ MicroNano, Nghiên cứu khoa học, phát triển vật liệu và công nghệ MicroNano, Triển khai ứng dụng, thực hiện các dịch vụ KHCN về vật liệu và công nghệ MicroNano. Các hoạt động đào tạo và nghiên cứu của Phòng Thí nghiệm còn có sự tham gia chặt chẽ của các nhà khoa học quốc tế về công nghệ nano đến từ Pháp, Hà Lan, Hàn Quốc, Mỹ, Nhật Bản, Singapore...
Trang 1NHÓM 7:
1.NGUYỄN NGỌC THÀNH MSSV:09301049
Trang 2CHƯƠNG 4:QUAN SÁT VÀ THAO
Trang 3BÀN THAO TÁC NANO
Đại học Quốc gia thành phố Hồ Chí Minh đã đưa phòng thí nghiệm công nghệ Nano vào hoạt động Tổng mức đầu tư dành cho phòng thí nghiệm này là 4,5 triệu USD.
Đây là phòng thí nghiệm công nghệ Nano hiện đại, đồng bộ nhất Việt Nam, với 3 nhiệm vụ chủ yếu:
Đào tạo và phục vụ đào tạo Đại học và Sau đại học ngành Khoa học và Công nghệ Micro-Nano,
Nghiên cứu khoa học, phát triển vật liệu và công nghệ Micro-Nano,
Triển khai ứng dụng, thực hiện các dịch vụ KHCN về vật liệu và công
nghệ Micro-Nano.
Các hoạt động đào tạo và nghiên cứu của Phòng Thí nghiệm còn có
sự tham gia chặt chẽ của các nhà khoa học quốc tế về công nghệ nano đến từ Pháp, Hà Lan, Hàn Quốc, Mỹ, Nhật Bản, Singapore
Trang 4BÀN THAO TÁC NANO
Trang 6Việc sáng chế kính hiển vi quét tunen của Bining và Rohrer bên cạnh việc cho thấy rõ từng nguyên tử trên
bề mặt còn có ý nghĩa cực kì quan trọng trong công nghệ nano : cho phép thao tác chính xác đến từng
nguyên tử.
Trang 7BÀN THAO TÁC NANO
Theo nguyên tắc dịch chuyển tinh vi bằng hiệu ứng áp điện người ta có thể làm bộ quét, có thể điều khiển dịch chuyển theo cả ba chiều x,y,z với
độ chính xác đến từng phần trăm nanomet.
Ta có thể đặt mẩu lên bàn thao tác và dùng điều khiển x,y để điều khiển mẩu di chuyển trên mặt phẳng còn điểu khiển theo trục z dùng để di
chuyển mũi nhọn thao tác lên xuống mẫu
Trang 8BÀN THAO TÁC NANO
Ví dụ: gắn mũi nhọn vào loxo lá rồi cho giữa mũi
nhọn và mẫu có một điện thế ,khi mũi nhọn chạm
nhẹ hay chạm mạnh vào mẫu sẽ có dòng điện yếu hay mạnh và dòng điện yếu hay mạnh này được chuyển thành áp lực đè vào đầu ngón tay Người điều khiển
có cảm giác “sờ mó” được những chi tiết nano trên mẫu.
Trang 9BÀN THAO TÁC NANO
Tác dụng giữa mũi nhọn và mẫu hiệu thế cỡ hàng
chục vôn,do điện trường ở mũi nhọn lớn nên tùy theo chiều âm dương của hiệu thế ,mũi nhọn có thể đẩy một số nguyên tử từ mũi nhọn xuống bề mặt mẫu “đắp” thành một cái “gò nano” to cỡ một vài chục nguyên tử hoặc nhấc một số nguyên tử đưa chúng từ bề mặt mẩu lên mũi nhọn , “đào” cái “hố nano”
Trang 10BÀN THAO TÁC NANO
SAN HÔ LƯỢNG TỬ LÀ GÌ ?
Dựa vào thao tác này với việc dịch chuyển của
mũi nhọn theo bề mặt ,ta có thể đặt lên bề mặt đồng 36 nguyên tử coban sắp xếp theo hình ellip
và một nguyên tử coban ở một tiêu điểm của ellip
và quan sát bằng hiển vi tunen thấy được 37
nguyên tử thật và 1 nguyên tử ảo ở tiêu điểm trống còn lại Và đây gọi là san hô lượng tử.
Trang 11BÀN THAO TÁC NANO
Trang 12 Cũng theo cách này các nhà khoa học Trung Quốc đã khắc hình nano bài thơ tứ tuyệt của Mạnh Hạo Nhiên trên một diện tích 10 x 10 um 2.
Trang 13BÀN THAO TÁC NANO BÀI THƠ ĐƯỜNG KHẮC THEO
CÔNG NGHỆ NANO,MỖI CHIỀU 10UM
“Xuân miên bất giác hiểu
Xứ xứ văn đê điểu
Dạ lai phong vũ thanh Hoa lạc tri đa thiểu”
Trang 14Dụng cụ thao tác mới cho công n ghệ micro và nano
Trang 16GẮP VÀ VẶN NANÔ
I Đũa gắp nanô:
Trong công nghệ nanô nhiều khi phải gắp những vật
nanô để nhấc ra khỏi chỗ này, đặt vào chỗ kia v.v… Một cách làm rất đơn giản, nghe ra có vẻ rất bình thường nhưng đích thực là làm được nhiệm vụ gắp nanô, đó là dùng đôi đũa nanô
Thật vậy, có thể dùng hai ống nanô cacbon, làm hai
que như đôi đũa để gắp.
Trang 17Đặc điểm của ống nanô cacbon là rỗng, nhẹ bền và rất cứng
vì đều hình thành từ các nguyên tử cacbon liên kết cộng
hóa trị Tuy nhiên các tính chất vật lý, đặc biệt là tính chất điện rất phụ thuộc vào cấu trúc của ống.
Trang 18Một số dạng ống nanô cacbon
Trang 19 Một số hình dạng ống nanô cacbon
Trang 20Cấu tạo đũa gắp nanô:
• Người ta chọn loại ống nanô nhỏ (loại có một hoặc vài ba vách) để làm đôi đũa gắp
• Gắn hạt vàng vào đầu ống, hạt vàng lại gắn với giá để có thể điều khiển (thí dụ bằng áp điện) làm cho hai ống
nanô cacbon xa nhau hoặc sát lại gần nhau, thực hiện động tác gắp
Trang 21• Có thể gắn mẫu cần thao tác với bộ quét áp điện điều khiển dịch chuyển theo x, y và gắn cái gắp với bộ quét điều khiển dịch chuyển theo z Nhờ vậy có thể điều khiển để đôi đũa ở bất kỳ vị trí nào và điều khiển để gắp bất cứ vật nào, hạt nào để đưa đến vị trí mong muốn
Trang 22II Cái gắp laze
Dùng laze có thể làm được cái gắp, thực hiện nhiều thao tác đối với vật
có kích thước nanô
• Thực vậy, ta xét một hòn bi
nhựa cỡ micromet nằm
trên một tấm thủy tinh
• Giả sử chùm tia laze song song kích thước cũng cỡ micromet
chiếu vào hòn bi
Trang 23Do chiết suất của hòn bi nhựa lớn hơn 1 nên tia laze chiếu vào hòn bi nhựa bị khúc xạ
Nếu ta xem tia laze là chùm hạt photon thì khi chiếu xuống viên bi, tia laze bị khúc xạ sang bên phải có nghĩa là các hạt photon đang có vectơ động lượng hướng thẳng từ trên
xuống dưới thì sau va chạm với viên bi nhựa, vectơ động lượng của photon có thêm thành phần hướng sang bên
phải
Theo định luật bảo toàn động lượng, hòn bi có thêm vectơ động lượng bằng và ngược lại, tức là hướng về bên trái.
Trang 24 Tia laze là chùm photon rất mạnh nên hòn bi nhựa chịu
một lực đáng kể, bị lệch sang trái tức là bị đẩy vào giữa
chùm tia
Lập luận tương tự nếu hòn bi lệch một phần ra ngoài chùm tia về phía bên trái, tia laze lại đẩy hòn bi về phía bên phải Kết quả là hòn bi luôn ở giữa chùm tia, lái chùm tia laze đến đâu hòn bi chuyển động theo chùm tia laze đến đấy
Đây là một cách điều khiển chuyển động trên mặt phẳng rất tinh vi và nhẹ nhàng (vì chỉ dùng photon)
Trang 25 Ngoài chức năng điều khiển dịch chuyển thao tác trên các vật nanô, người ta đã gắn các hòn bi nhựa vào hai đầu của chuỗi xoắn kép ADN và dùng tia laze như trên để mở ra, tách đo từng mối nối A-T, G-C.
Trang 26III Mỏ lết nanô
Mỏ lết nanô là gì ?
Dùng chùm tia laze kiểu
Laguerre Gaussian nghĩa là chùm tia phân bố cường độ ngoài mạnh trong yếu chiếu vào hòn bi nhựa, hòn bi vừa
bị đẩy vào giữa chùm tia
vừa bị xoay tròn Đó là cái
mỏ lết laze.
Trang 27Mỏ lết nanô
Nếu thực hiện tiêu tụ chùm tia như vẽ bên, hòn bi
không những bị xoay mà còn bị giữ ở chỗ thắt của chùm tia Đó là cái mỏ lết vừa giữ,vừa xoay.
Trang 28 Ngày nay, các nhà khoa học đã chế tạo ra một loại công cụ mới phục vụ cho việc thao tác trên các hạt nanô Đó là kẹp nhiệt.
Trang 29KHẮC HÌNH NANO KIỂU NHÚNG NGÒI BÚT
(DPN-DIP PEN NANOLITHOGRAPHY)
SVTH : HUỲNH MINH HUYÊN MSSV : 09301023
Trang 30Kỹ thuật khắc hình được nâng lên ở trình độ cao khi phát triển công nghệ vi điện tử
Ở công nghệ này, trên bề
Trang 32 Về sau mật độ tích hợp cao, kích thước linh
kiện nhỏ đến cỡ micromet, phải dùng các tia
có bước sóng λ nhỏ hơn của ánh sáng
kiện kích thước nhỏ hơn, từ 100nm đến 1nm nên phải dùng những phép khắc hình tinh vi hơn quang khắc, thí dụ như khắc hình dùng tử ngoại, khắc hình tia X , tia điện tử…
Trang 33 Những trường hợp tinh vi đến mức nguyên tử phải dùng các phép khắc hình dùng bộ quét ở hiển vi quét đầu dò điều khiển mũi nhọn vẽ theo các hình mong muốn và trong lúc đó dùng điện trường ở mũi nhọn tác dụng điện thế để lấy đi hoặc thêm vào các nguyên tử.
Trang 34 Những cách khắc hình nói trên thực sự không thể đưa vào sản xuất rộng rãi vì lâu và tốn kém.
Vì vậy công nghệ nano đang phát triển những cách khắc hình mới về mặt nguyên lý
một cách khắc hình mới.
Trang 35 Trước hết là hãy làm quen với khái niệm tự lắp ráp hay tự sắp xếp qua một thí dụ cụ thể
Alkanethiol là phân tử có đầu to tròn và đuôi dài Đầu là nhóm thiol, nhóm sulfua hữu cơ dạng như hình cầu, đuôi là nhóm hyđrôcacbon dài khoảng 1-4nm.
Trang 36Lấy một lá có mạ phủ trên
bề mặt một lớp vàng nhúng vào dung dịch chứa các
phân tử alkanethiol
Lưu huỳnh có ái lực lớn đối
với vàng nên các đầu thiol
quay bám vào vàng, đuôi
hydrocacbon quay lên trên
Trang 37 Do tương tác, do hình dạng, theo xu hướng năng lượng tự do cực tiểu, các đầu thiol tự xắp trật tự ngay hàng thẳng lối khít nhau và các đuôi hydrocacbon cũng nằm song song nhau Trên lá vàng có một lớp đơn tinh thể phân tử alkanethiol hình thành do chúng tự lắp ráp
ráp hình thành ở đế
Trang 38 Từ đơn tinh thể alkanethiol có thể chế tạo ra một linh kiện nào đó tương tự như dùng đơn tinh thể silic để làm transistor, mạch vi điện tử.
tử tự lắp ráp hình thành đơn tinh thể ở chỗ đó.
bằng ngòi bút nhúng.
Trang 39 Người ta lấy đế có phủ lớp vàng và dùng ngòi bút là mũi nhọn nhúng mực là dung dịch alkanethiol Theo cách dịch chuyển bằng bộ quét áp điện người ta cho ngòi bút nhúng mực (mũi nhọn) vẽ hình mong muốn lên bề mặt phủ vàng, bút vẽ đến đâu, chỗ đó có lớp mực dung dịch đến đó Khi khô, ta có được lớp đơn tinh thể alkanethiol ở những nơi ngòi bút đã vẽ.
Trang 40Dip pen nanolithography
Trang 41 Có thể thực hiện nhanh hơn, rẻ hơn theo cách khắc hình mềm.
lồi lên trên bề mặt kiểu như con dấu nhưng bằng vật liệu hơi “mềm” Dùng khuôn con dấu này để in lên đế vàng với mực là dung dịch alkanethiol.
Trang 42 Như vậy kỹ thuật ngày
Kỹ thuật ngày nay cũng cho phép điều khiển
để hàng triệu triệu nguyên tử phân tử phát huy nội lực tự mình lắp ráp lại để hình thành cấu trúc mong muốn.
Trang 43CẢM ƠN THẦY CÔ VÀ CÁC BẠN
ĐÃ QUAN TÂM THEO DÕI