Bài giảng chương 6 môn kĩ thuật đo lường không điện. Đầy đủ lí thuyết, phù hợp với môn học của sinh viên kĩ thuật. Được biên soạn cẩn thận, có chuyên môn sâu, nhiều trích dẫn dùng bằng tiếng anh chuyên ngành đem lại cảm giác học mới cho sinh viên.
Trang 1Vibration, Shock & Acceleration Measurement
Instructor: Nguyễn Ngọc Văn
Hà Nội, 05/2013
Introdution
Độ dịch chuyển (displacement), vận tốc (velocity) và gia tốc (acceleration)
là các thông số của chuyển động
Có thể xác định được các thông số của chuyển động như vị trí (position),
vận tốc, gia tốc, độ giật (jerk) từ một thông số biết trước Ví dụ, có thể xác
định gia tốc bằng cách lấy đạo hàm của vận tốc theo thời gian hoặc lấy
tích phần của độ giật (jerk) Tương tự, có thể thu được vận tốc bằng cách
lấy đạo hàm của độ dịch chuyển hoặc tích phân của gia tốc.
Gia tốc là một thông số quan trọng trong phép đo chuyển động tuyệt đối,
độ rung (vibration) và va đập (shock) Có nhiều loại gia tốc kế khác nhau
với nhiều dải đo được sử dụng trong các lĩnh vực:
Trang 2Các ứng dụng thương mại: xe ô tô, tàu thủy, các thiết bị gia dụng, thể thao
…
Các ứng dụng công nghiệp: Robotics, điều khiển máy móc, kiểm tra độ
rung, các thiết bị đo đạc
Các ứng dụng có độ tin cậy cao: quân sự, công nghiệp hàng không và vũ
trụ, khảo sát địa chấn, đo độ nghiêng, va đập, rung
Một đơn vị của gia tốc rung chính là gia tốc trọng trường (g = 9,8 m/s 2
hay 32,3 ft/sec 2 ).
Theo phương pháp đo, có thể chia gia tốc kế làm 2 loại:
Đo trực tiếp bằng các gia tốc kế chuyên dùng
Đo gián tiếp bằng cách đo tốc độ rồi lấy đạo hàm theo thời gian
Khả năng ứng dụng của những phương pháp này tùy thuộc dạng chuyển
động (chuyển động thẳng – rectilinear; chuyển động góc – angular hoặc
chuyển động theo đường cong – curvilinear motion).
Đối với chuyển động thẳng hoặc cong, người ta thường sử dụng
phương pháp trực tiếp để đo gia tốc Tuy nhiên, gia tốc góc thì lại
thường được đo bằng phương pháp gián tiếp.
Tầm quan trọng của việc đo độ rung:
Giới hạn độ rung, tránh gây tiếng ồn có hại cho sức khỏe
Tránh gây mài mòn, hư hại cho thiết bị, công trình
Giúp người quản lý có kế hoạch bảo dưỡng, phòng ngừa hỏng hóc
thiết bị
Trang 3 Với kích thước nhỏ gọn, trọng lượng nhẹ, bền với môi trường công
nghiệp, gia tốc kế có thể là loại sensor tích cực (active) hoặc thụ động
(passive) Gia tốc kế loại tích cực (ví dụ gia tốc kế áp điện) cho tín hiệu
ra mà không cần nguồn cấp bên ngoài, trong khi loại bị động thì cần
phải được cấp nguồn (tính chất điện của sensor thay đổi).
Việc lựa chọn gia tốc kế là loại tích cực hay thu động rất quan trọng
trong ứng dụng cụ thể, các sensor tích cực không thể đo được ở chế độ
tĩnh hoặc chế độ một chiều Để đo gia tốc tĩnh, cần phải dùng sensor thụ
động
Nhìn chung, gia tốc kế được quan tâm hơn các sensor đo độ dịch
chuyển hoặc tốc độ rung vì những lý do sau:
Dải tần hoạt động rất rộng
Lực phá hủy kết cấu hoặc thiết bị thường liên quan trực tiếp đến gia tốc
rung thay vì tốc độ hoặc li độ rung
Có thể đo rung động hoặc va đập trong thời gian ngắn dễ dàng hơn so với
việc đo tốc độ hoặc độ dịch chuyển
Độ dịch chuyển cũng như tốc độ rung có thể xác định tương đối đơn giản
nhờ lấy tích phân gia tốc Trong các mạch điện tử, mạch tích phân thường
được dùng phổ biến hơn mạch vi phân
Trang 4 Một số loại gia tốc kế:
1 Seismic (Inertial)
2 Piezoelectric
3 Piezoresistive and strain gages
4 Electromechanical
5 Capacitive and electrostatic
6 Micro- and nanosensors
7 Velocity sensors
8 Noncontact proximity sensors
9 Mechanical switches
10 Optical sensors
Acceleration as a Phenomenon & dynamic characteristics
Gia tốc thẳng (hình a) - Rectilinear acceleration:
2 0
/ lim
t
d ds dt
a
Gia tốc góc (hình b) - Angular acceleration:
2 0
/ lim
t
d d dt
a
Gia tốc trong chuyển động cong (hình c) - Curvilinear acceleration:
dv d x d y d z
a i j k Với i, j, k là cácvector đơn vị
Trang 5Accelerometer operation principle
Hoạt động của gia tốc kế có thể được mô tả bằng thiết bị đo gia tốc một bậc tự
do bao gồm một vật nặng, lò xo và một bộ giảm chấn (damper) Trong trường
hợp hệ nhiều bậc tự do (multi-degrees-of-freedom systems), có thể áp dụng biểu
thức mô tả chuyển động cong kết hợp với sử dụng nhiều bộ chuyển đổi để tạo ra
các sensor chuyển đổi một trục (uniaxial), hai trục (biaxial) hoặc ba trục
(triaxial).
Nếu hệ một bậc tự do đáp ứng tuyến tính theo thời gian với quy luật bất
biến, có thể mô tả chuyển động của vật trong hệ khối quán tính – lò xo
bằng một phương trình vi phân bậc 2:
2
2
d x dx
dt dt
Trong đó f(t) là lực tác động theo thời gian, m là khối lượng của khối quán
tính, c là hệ số ma sát nhớt và k là hệ số đàn hồi của lò xo
Phần đế của gia tốc kế được gắn với chuyển động cần khảo sát Khi
phần đế chuyển động, khối quán tính cũng dao động Nếu kể tới ảnh
hưởng chuyển động của phần đế thì biểu thức trên trở thành:
1
dt dt dt
Trang 6Trong đó z = x2– x1là chuyển động tương đối giữa khối quán tính và phần
đế, x1là li độ chuyển động của phần đế, x2là li độ chuyển động của khối
quán tính và θ là góc hợp bởi trục của sensor và phương của trọng lực
Áp dụng nguyên lý xếp chồng (superposition principle) và biến đối
Laplace, ta được:
1
X s
cs k
F s ms
/ n 2 / n 1
F s s s
Trong đó s là toán tử Laplace, K = 1/k là độ nhạy tĩnh (static sensitivity)
/
là tần số riêng (rad/s) - undamped critical frequency
c/ 2 km
là hệ số tắt dần - damping ratio
Vibration & shock
Độ rung (vibration) có thể được thể hiện dưới dạng độ dịch chuyển
(displacement), tốc độ (velocity) hay gia tốc (acceleration) Chuyển
động rung có thể tuân theo quy luật biết trước, có thể ngẫu nhiên.
Trong các thiết bị chuyển động quay, sự hao mòn các bộ phận cơ
thường gây ra rung động Có thể kiểm tra tuổi thọ của các bộ phận cơ
khí bằng thiết bị đo độ rung Dải tần số rung trong các thiết bị như máy
nén, turbine và các máy điện quay thường nằm trong khoảng từ 10 ÷
2000 Hz hoặc cao nhất cũng chỉ từ 1 ÷ 20000 Hz Biên độ rung phụ
thuộc vào cấu trúc của bộ phận quay Đối với các máy điện quay vận
hành êm, biên độ rung chỉ khoảng 0,01 g Với các hộp số tốc độ cao
biên độ rung có thể lên đến 100 g ở tần số 5000 Hz hoặc cao hơn Khi
va đập, biên độ rung có thể đạt tới 100000 g.
Nếu thiết bị đo (tốc độ hoặc gia tốc) được gá lên bề mặt của đối tượng
đo thì giá trị đọc là độ rung tuyệt đối của đối tượng so với 1 điểm cố
định trong không gian.
Trang 7 Nếu khối lượng của đối tượng quay (và do đó, tần số cộng hưởng) bị
ảnh hưởng do việc gắn thiết bị đo lên đối tượng thì có thể khoan một lỗ
xuyên qua housing của ổ đỡ Một đầu đo tiệm cận không tiếp xúc có thể
phát hiện chuyển động tương đối giữa trục và ổ đỡ Hạn chế của
phương pháp này là nếu trục và ổ đỡ đều rung do các bu lông liên kết
(tie-down bolts) bị lỏng thì cảm biến tiệm cận không thể phát hiện được.
Mạch điện tử của thiết bị đo có thể là loại tích hợp hoặc tách rời Nếu
thiết kế mạch điện tử tích hợp thì giá thành thấp hơn, ít bị ảnh hưởng
bởi nhiễu hơn nhưng bị hạn chế bởi nhiệt độ làm việc và khả năng chịu
rung Ưu điểm chính của các sensor tích cực là không cần nguồn kích
thích nhưng nhược điểm chính là chúng là không phù hợp để đo gia tốc
không đổi, ví dụ như đo gia tốc trong các máy li tâm (centrifuge).
Periodic Vibrations
Đối với chuyển động rung có quy luật, chuyển động của đối tượng được
lặp lại và có thể được mô tả bởi hàm điều hòa:
psin
x t X t
Trong đó x(t) là độ dịch chuyển theo thời gian
ω = 2πft là tần số góc
Xplà biên độ chuyển động so với điểm tham chiếu
Tốc độ rung và gia tốc rung tương ứng là:
dx pcos psin / 2
2
2
dv d x
Như vậy, tốc độ rung nhanh pha hơn li độ một góc 90 0 nhưng chậm
pha hơn gia tốc rung một góc 90 0
Trang 8 Trong tự nhiên, chuyển động rung có thể là loại tuần hoàn nhưng không
nhất thiết là dạng điều hòa Tuy nhiên, một hàm tuần hoàn có thể được
phân tích thành tổng các hàm điều hòa theo phân tích Fourier:
nsin n n
Số số hạng trong phân tích Fourier trên càng lớn thì độ chính xác càng
cao Những số hạng này tạo thành phổ tần (frequency spectrum)
Chuyển động rung có thể được mô tả trên miền thời gian (time domain)
hoặc trên miền tần số (frequency domain).
Stationary Random Vibrations
Chuyển động rung loại ngẫu nhiên, dừng (tại chỗ):
Chuyển động rung ngẫu nhiên là loại thường gặp trong tự nhiên gồm các
chu kỳ chuyển động không theo quy luật và không lặp lại tuyệt đối chính
xác Theo lý thuyết, để mô tả chuyển động rung, cần những thông tin về
chuyển động trong khoảng thời gian vô hạn Tuy nhiên, có thể sử dụng lý
thuyết xác suất thống kê để phân tích thông qua các thời điểm trích mẫu
Có thể sử dụng các công cụ toán học như phân bố xác suất (probability
distributions), mật độ xác suất (probability densities), phổ tần (frequency
spectra), tương quan chéo (cross-correlations), tự tương quan
(auto-correlation), biến đổi Fourier số (digital Fourier transforms – DFTs), biến
đổi Fourier nhanh (fast Fourier transforms – FFTs), phân tích phổ tự động
(auto-spectral-analysis), giá trị căn quân phương (root-mean-square
values) và digital filter analysis
Trang 9Nonstationary Random Vibrations
Chuyển động rung loại ngẫu nhiên, không dừng.
Trong trường hợp này, tính chất thống kê của chuyển động rung thay đổi
theo thời gian Các phương pháp như tính trung bình theo thời gian và các
kỹ thuật thống kê có thể được sử dụng
Transients and Shocks
Những chuyển động rung xảy ra đột ngột trong thời gian ngắn (transient)
có thể xem là dạng va đập và có thể miêu tả dưới dạng lực, gia tốc, tốc độ
hoặc li độ rung Trong trường hợp va đập ngẫu nhiên, có thể sử dụng
phương pháp thống kê và biến đổi Fourier FFTs để phân tích
Seismic (inertial) sensors
Vỏ sensor được gắn vào nguồn gây rung Khi hệ thống rung, khối quán tính có
xu hướng duy trì vị trí cũ của nó và chuyển động rung có thể phân tích qua độ
dịch chuyển tương đối giữa khối lượng rung và vỏ sensor.
Bằng cách lựa chọn hợp lý khối lượng rung, lò xo, bộ giảm chấn, thiết bị có thể
sử dụng để đo gia tốc rung hoặc li độ rung Nhìn chung, một khối quán tính lớn
kết hợp với một lò xo mềm là thích hợp để đo độ dịch chuyển trong khi một khối
quán tính nhỏ kết hợp với lò xo có độ cứng cao thường sử dụng để đo gia tốc.
Trang 10 Tuy nhiên, thiết bị đo dạng này thường sử dụng để đo rung chấn ở mức
độ thấp trên mặt đất hoặc công trình kiến trúc.
Để mô tả đáp ứng của một gia tốc kế quán tính (seismic accelerometer),
từ định luật 2 Newton có thể thiết lập được biểu thức:
2
dt dt dt
Trong đó x1là độ dịch chuyển của vỏ sensor, x2là độ dịch chuyển của
khối lượng rung, c là hằng số vận tốc, θ là góc hợp bởi trục sensor và
trọng lực và k là độ cứng của lò xo Biến đổi biểu thức trên ta được:
1
dt dt dt
Trong đó z = x2- x1là độ dịch chuyển tương đối giữa khối lượng rung và đế
Biểu thức trên được thiết lập với giả định rằng lực cản của bộ giảm chấn
chỉ tỷ lệ với vận tốc.
Nếu x 1 biến đổi theo quy luật hình sin
thì:
x t X t
2 1
2
2
2
sin
cos sin
d x
dt
d z dz
dt dt
Với: a1mX012
Trang 11Trong đó là tần số riêng (natural frequency) của khối quán
tính
Và
2
cos sin
sin cos
n
n
z
mg z
/
/ 2 hay c/cc
1 1
arctan c / km
1 / n
Nghiệm của phương trình vi phân trên có dạng:
Piezoelectric Sensors
Sensor áp điện là cảm biến
tích cực (self-generating), rất
lý tưởng để đo rung động và
va đập Với tín hiệu ra lớn và
kích thước tương đối nhỏ gọn,
có thể đo được rung chấn với
tần số rất cao nên sensor áp
điện rất phù hợp trong những
ứng dụng cao tần và đo va
đập (shock).
Phần tử nhạy cảm (sensing element) được kẹp giữa vỏ thiết bị và khối
quán tính (thường là vônfram) Do khối quán tính có khối lượng không đổi,
lực tác dụng vào phần tử cảm biến chỉ tỷ lệ bậc nhất với gia tốc (F = ma).
Piezoelectric sensor.
Trang 12 Nếu phần tử cảm biến là tinh thể thạch anh hoặc muối
chì-zirconate-titanate (PZT), điện tích sinh ra tỷ lệ với lực tác dụng và do đó tỷ lệ với
gia tốc(nếu là PZT thì điện tích sinh ra gấp thạch anh khoảng 150 lần).
Điện lượng q sinh ra được xác định bởi:
q = d ij F = d ij ma
Với dijlà hệ số áp điện của vật liệu
Hàm truyền của hệ thống có thể được mô tả gần đúng bằng hàm bậc 3:
0
q
K s
e s
Với Kqlà hằng số áp điện có liên quan đến điện tích
τ là hằng số thời gian và s là toán tử Laplace Cần chú ý rằng bản thân
tinh thể áp điện không có hằng số thời gian mà hằng số thời gian được
xác định khi gia tốc kế được nối với mạch đo
Đáp ứng thấp tần chính xác cần τ lớn Có thể đạt được điều này bằng
cách sử dụng mạch khuếch đại điện áp với trở kháng cao Ở tần số rất
thấp, nhiệt độ có thể ảnh hưởng nghiêm trọng đên đặc tính vận hành.
Trong các gia tốc kế áp điện, 2 loại cơ bản thường được sử dụng: loại
nén (compression-type accelerometers) và loại biến dạng cắt
(shear-stress accelerometer).
Trong gia tốc kế loại nén, tinh thể áp điện chịu biến dạng nén bởi tải trọng
đặt trước (preload), chuyển động rung sẽ làm thay đổi ứng suất nén tác dụng
lên phần tử áp điện
Với loại shear-stress, chuyển động rung làm biến dạng cắt tinh thể áp điện
Gia tốc kế loại nén có độ nhạy lớn hơn Khi phần vỏ là bộ phận không
thể tách rời của hệ khối quán tính - lò xo, nó có thể gây sai lệch tín hiệu
ra nếu được kích thích ở tần số riêng.
Trang 13 Gia tốc kế áp điện có dải đo rộng Một gia tốc kế đo va đập có
thể có độ nhạy 0,004 pC /g và tần số riêng lên tới 250000 Hz
với kích thước chỉ khoảng 3×3 mm 2 và khối lượng khoảng 0,5g
kể cả cáp Chúng có dải nhiệt độ làm việc rộng và một số loại
được thiết kể để có thể chịu được môi trường phóng xạ cao
trong các lò phản ứng hạt nhân Tuy nhiên, các gia tốc kế áp
điện có độ nhạy ngang trục (cross-axis sensitivity) lớn hơn các
loại khác khoảng 2 ÷ 4 % Một vài trường hợp, có thể giảm độ
nhạy ngang trục trong quá trình lắp đặt bằng cách lựa chọn
hướng hợp lý.
Tín hiệu ra của phần tử áp điện bị ảnh hưởng khi nhiệt độ thay đổi, Tuy
nhiên, thạch anh và các loại vật liệu gốm áp điện mới, có độ nhạy nhiệt
thấp hơn các vật liệu cũ như barium titanate hoặc PZT.
Trong môi trường nhiễu điện, thì cần phải bọc chống nhiễu cho phần tử
áp điện.
The main components of a piezoelectric accelerometer are the body, the sensing element,
and the seismic mass (Courtesy of Kistler Instrument Co.)
Trang 14 Một số sensor gia tốc áp điện có kích thước và trọng lượng rất nhỏ
(khoảng 1g), hoặc được thiết kế để làm việc ở nhiệt độ cao với khả năng
đo gia tốc và độ rung ở tần số lên tới 30000 Hz và biên độ tới 100000g
Các phần tử áp điện PZT thường sử dụng lò xo có độ cứng cao và khối
quán tính nhỏ, vì vậy chúng có kích thước nhỏ và phù hợp để đo độ rung
ở tần số cao.
Gia tốc kế có thể được gá bằng cơ khí, được dán, hoặc liên kết từ tính
với bề mặt rung Các gia tốc kế có khối lượng nhẹ thường được dán vào
bề mặt bằng keo Nếu bề mặt rung có cấu trúc đặc biệt, người ta sử
dụng miếng lót (mounting pad) để tạo bề mặt gá bằng phẳng và cách ly
với đất.
Với bề mặt bằng vật liệu sắt từ, có thể sử dụng liên kết bằng từ tính
nhằm mục đích kiểm tra nhanh độ rung nhưng với tần số tối đa chỉ là
1000 Hz Các tấm gá ba trục (triaxial mounting pad) cũng có thể được
sử dụng khi phân tích rung chấn trong hệ ba trục trực giao.
Khi gia tốc kế làm việc, sự dịch chuyển hoặc ứng suất căng tác dụng lên
cáp tín hiệu có thể gây ma sát tĩnh điện (triboelectric) Các ứng suất
hoặc biến dạng do dãn nở nhiệt của vỏ bảo vệ hoặc do các ngoại lực
không mong muốn tác động có thể truyền áp lực vào phần tử áp điện và
gây sai số Ngoài ra, do tín hiệu ra rất nhỏ, cáp tín hiệu cần được chống
nhiễu Nếu vỏ bọc chống nhiễu không liên tục, điện dung tản ở chỗ tiếp
giáp có thể gây ra nhiễu tĩnh điện (electrostatic noise), vì vậy vỏ bọc
chống nhiễu cần phải liên tục, không đứt gẫy Chỉ nối đất ở 1 điểm để
tránh tạo thành mạch vòng (ground loop) Nhiễu từ trường có thể giảm
thiểu bằng cách dùng cáp xoắn kép và không đặt cạnh dây động lực.