công nghệ vi mạch điện tử

... loại phục vụ cho công việc sản xuất tiếp theo 5.1.6 Sản xuất mask Có thể xem mask là cái khuôn để đúc vi mạch lên tấm silicon Công nghệ sản xuất mask hiện đại chủ yếu dùng tia điện tử ( EB – Electronic ... ngành công nghệ vi mạch hiện nay, các hãng sản xuất vi mạch nổi tiếng trên thế giới như Intel, TSMC hay Samsung đã nâng kích thước của wafer lên 300mm (12 inch), thậm chí lên 450mm (18 inch) Việc ... dụng để tạo ra chip, mạch tích hợp có mặt trong các thiết bị điện và điện tử hàng ngày Nó là một chuỗi nhiều bước của các bước xử lý ảnh và hóa học trong đó các mạch điện tử đang dần tạo ra trên

Ngày tải lên: 30/08/2023, 14:41

... KHOA ĐIỆN – ĐIỆN TỬ BÀI GIẢNG CÔNG NGHỆ VI MẠCH ĐIỆN TỬ HỆ: ĐẠI HỌC NGHÀNH: CNKT ĐIỆN, ĐIỆN TỬ Biên soạn: NGUYỄN THỊ THU HÀ Năm 2021 Trang 2MỤC LỤC LỜI MỞ ĐẦU 4 CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ MẠCH ... 4Giáo viên soạn LỜI MỞ ĐẦU Ngày nay công nghệ vi điện tử được xem là một nghành mũi nhọn trong lĩnh vực công nghệ cao Cùng hòa nhịp với thế giới Việt Nam cũng đang góp phần đẩy mạch nghành công ... IC ngành công nghệ vi mạch đã đạt được những thành tựu rực rỡ Sự tăng trưởng ở tốc độ chóng mặt của nghành công nghệ vi mạch là chìa khóa quan trọng bậc nhất trong cuộc cách mạng công nghệ thông

Ngày tải lên: 30/08/2023, 14:43

... lựa chọn đề tài “Nghiên cứu vi động cơ kiểu tĩnh điện dựa trên công nghệ Vi Cơ Điện tử” để thực hiện luận án 2 Đối tượng nghiên cứu Các vi động cơ quay kiểu tĩnh điện hoạt động một chiều hoặc ... hạn ANSYS  Các vi động cơ được chế tạo bằng các công nghệ MEMS tiêu chuẩn và thông dụng như công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa ... thuyết tĩnh điện nói chung và hiệu ứng viền nói riêng, ứng dụng trong thiết kế các vi động cơ quay sử dụng các bộ vi kích hoạt/chấp hành tĩnh điện răng lược  Các vi động cơ kiểu tĩnh điện ứng dụng

Ngày tải lên: 17/12/2014, 22:46

... 19vi cơ điện tử đƣợc định nghĩa nhƣ sau: “Hệ thống vi cơ điện tử - MEMS là hệ thống có kích cỡ micro tích hợp các vi cảm biến (sensors), bộ vi kích hoạt/chấp hành (actuators) và các vi mạch điện ... phần tử điện cơ, điện tử, quang học và sinh học kích cỡ micro Chúng ta có thể gặp những ứng dụng của công nghệ Vi cơ điện tử - MEMS ngày càng nhiều trong mọi lĩnh vực của cuộc sống Trong công ... hạn ANSYS - Các vi động cơ được chế tạo bằng các công nghệ MEMS tiêu chuẩn và thông dụng như công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa

Ngày tải lên: 26/12/2014, 16:35

... HỌC CÔNG NGHỆ ***** ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HỒ CHÍ MINH PTN CÔNG NGHỆ NANO ***** NGUYỄN HỮU KHÁNH NHÂN NGHIÊN CỨU MÔ PHỎNG VÀ KHẢO SÁT CẢM BIẾN ÁP SUẤT KIỂU ÁP TRỞ CHẾ TẠO TRÊN CƠ SỞ CÔNG NGHỆ ... Liệu, Trường Đai Học Công Nghệ, Đại Học Quốc Gia Hà Nội, cũng như đơn vị liên kết đào tạo là Phòng Thí Nghiệm Công Nghệ Nano, Đại Học Quốc Gia Thành Phố Hồ Chí Minh Công việc được thực hiện dưới ... góp tích cực Xin cảm ơn Quí Thầy Cô Trường Đại Học Công Nghệ, Đại Học Quốc Gia Hà Nội, Ban Giám Đốc và các thành viên phòng thí nghiệm công nghệ Nano đã vượt qua những khó khăn ban đầu đã tạo

Ngày tải lên: 16/11/2016, 21:19

... TRƯỜNG ĐẠI HỌC KỸ THUẬT CÔNG NGHIỆP BÁO CÁO TỔNG KẾT ĐỀ TÀI KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ CẤP ĐẠI HỌC THIẾT KẾ CHẾ TẠO VI ĐỘNG CƠ QUAY KIỂU ĐIỆN NHIỆT DỰA TRÊN CÔNG NGHỆ VI CƠ ĐIỆN TỬ (MEMS) Mã số: ĐH2015-TN02-07 ... TRƯỜNG ĐẠI HỌC KỸ THUẬT CÔNG NGHIỆP BÁO CÁO TỔNG KẾT ĐỀ TÀI KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ CẤP ĐẠI HỌC THIẾT KẾ CHẾ TẠO VI ĐỘNG CƠ QUAY KIỂU ĐIỆN NHIỆT DỰA TRÊN CÔNG NGHỆ VI CƠ ĐIỆN TỬ (MEMS) Mã số: ĐH2015-TN02-07 ... CÁC CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO 74 4.1.1 Công nghệ MEMS 74 4.1.2 Các công nghệ chế tạo MEMS 75 4.2 GIỚI THIỆU VỀ CÔNG NGHỆ VI CƠ KHỐI 78 4.2.1 Thiết kế mặt nạ 78 4.2.2.Thiết lập quy trình gia công

Ngày tải lên: 26/09/2018, 11:23

... TRƯỜNG ĐẠI HỌC KỸ THUẬT CÔNG NGHIỆP BÁO CÁO TÓM TẮT ĐỀ TÀI KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ CẤP ĐẠI HỌC THIẾT KẾ CHẾ TẠO VI ĐỘNG CƠ QUAY KIỂU ĐIỆN NHIỆT DỰA TRÊN CÔNG NGHỆ VI CƠ ĐIỆN TỬ (MEMS) Mã số: ĐH2015-TN02-07 ... TRƯỜNG ĐẠI HỌC KỸ THUẬT CÔNG NGHIỆP BÁO CÁO TÓM TẮT ĐỀ TÀI KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ CẤP ĐẠI HỌC THIẾT KẾ CHẾ TẠO VI ĐỘNG CƠ QUAY KIỂU ĐIỆN NHIỆT DỰA TRÊN CÔNG NGHỆ VI CƠ ĐIỆN TỬ (MEMS) Mã số: ĐH2015-TN02-07 ... mạnh mẽ của công nghệ vi cơ điện tử MEMS (Micro-electro-mechanical System) các nghiên cứu về công nghệ y sinh, vi robot đang phát triển và mang lại nhiều tiềm năng ứng dụng thực tế Các vi robot

Ngày tải lên: 26/09/2018, 11:24

... Trang 30Kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử Hình 1.14 Quy trình khắc bằng chùm điện tử Trong công nghệ mạch tích hợp cũng như công nghệ MEMS, kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử (hình 1.14) thường được dùng ... ngành công công nghiệp vi điện tử vượt qua giới hạn của công nghệ 7nm Các thiết bị quang khắc này không phổ biến trong các phòng thí nghiệm, chủ yếu được dùng trong công nghiệp sản xuất vi mạch ... và các cộng sự tại viện MESA+, trường đại học Twente, Hà Lan đã chế tạo thành công dây nano silic có chiều dài vài mm, rộng 68 nm, cao 20 nm bằng công nghệ vi cơ điện tử Công nghệ này tập trung

Ngày tải lên: 26/01/2019, 10:09

... Trang 31Kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử Hình 1.14 Quy trình khắc bằng chùm điện tử Trong công nghệ mạch tích hợp cũng như công nghệ MEMS, kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử (hình 1.14) thường được dùng ... ngành công công nghiệp vi điện tử vượt qua giới hạn của công nghệ 7nm Các thiết bị quang khắc này không phổ biến trong các phòng thí nghiệm, chủ yếu được dùng trong công nghiệp sản xuất vi mạch ... và các cộng sự tại viện MESA+, trường đại học Twente, Hà Lan đã chế tạo thành công dây nano silic có chiều dài vài mm, rộng 68 nm, cao 20 nm bằng công nghệ vi cơ điện tử Công nghệ này tập trung

Ngày tải lên: 18/02/2019, 13:23

... ngành công công nghiệp vi điện tửvượt qua giới hạn của công nghệ 7nm Các thiết bị quang khắc này không phổ biến trongcác phòng thí nghiệm, chủ yếu được dùng trong công nghiệp sản xuất vi mạch ... chế tạo dựa trên công nghệ vi cơ điện tử dựatrên các quy trình đã được đề xuất Các cấu trúc được nghiên cứu chế tạo tại Phòng thínghiệm Công nghệ Vi hệ thống và cảm biến thuộc Viện Đào tạo Quốc ... và các cộng sự tại viện MESA+, trường đại họcTwente, Hà Lan đã chế tạo thành công dây nano silic có chiều dài vài mm, rộng 68 nm, cao 20 nm bằng công nghệ vi cơ điện tử Công nghệ này tập trung

Ngày tải lên: 18/02/2019, 20:30

... Trang 31Kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử Hình 1.14 Quy trình khắc bằng chùm điện tử Trong công nghệ mạch tích hợp cũng như công nghệ MEMS, kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử (hình 1.14) thường được dùng ... ngành công công nghiệp vi điện tử vượt qua giới hạn của công nghệ 7nm Các thiết bị quang khắc này không phổ biến trong các phòng thí nghiệm, chủ yếu được dùng trong công nghiệp sản xuất vi mạch ... và các cộng sự tại viện MESA+, trường đại học Twente, Hà Lan đã chế tạo thành công dây nano silic có chiều dài vài mm, rộng 68 nm, cao 20 nm bằng công nghệ vi cơ điện tử Công nghệ này tập trung

Ngày tải lên: 20/02/2019, 23:58

... Trang 30Kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử Hình 1.14 Quy trình khắc bằng chùm điện tử Trong công nghệ mạch tích hợp cũng như công nghệ MEMS, kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử (hình 1.14) thường được dùng ... ngành công công nghiệp vi điện tử vượt qua giới hạn của công nghệ 7nm Các thiết bị quang khắc này không phổ biến trong các phòng thí nghiệm, chủ yếu được dùng trong công nghiệp sản xuất vi mạch ... và các cộng sự tại viện MESA+, trường đại học Twente, Hà Lan đã chế tạo thành công dây nano silic có chiều dài vài mm, rộng 68 nm, cao 20 nm bằng công nghệ vi cơ điện tử Công nghệ này tập trung

Ngày tải lên: 25/03/2019, 11:14

... Trang 31Kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử Hình 1.14 Quy trình khắc bằng chùm điện tử Trong công nghệ mạch tích hợp cũng như công nghệ MEMS, kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử (hình 1.14) thường được dùng ... ngành công công nghiệp vi điện tử vượt qua giới hạn của công nghệ 7nm Các thiết bị quang khắc này không phổ biến trong các phòng thí nghiệm, chủ yếu được dùng trong công nghiệp sản xuất vi mạch ... và các cộng sự tại viện MESA+, trường đại học Twente, Hà Lan đã chế tạo thành công dây nano silic có chiều dài vài mm, rộng 68 nm, cao 20 nm bằng công nghệ vi cơ điện tử Công nghệ này tập trung

Ngày tải lên: 29/03/2019, 10:01

... “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử Vì vậy, ban đầu NCS lựa chọn đề tài “Nghiên cứu và khảo sát các đặc trưng của dây nano silic chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử” Tuy nhiên, do ... chế tạo dựa trên công nghệ vi cơ điện tử dựa trên các quy trình đã được đề xuất Các cấu trúc được nghiên cứu chế tạo tại Phòng thí nghiệm Công nghệ Vi hệ thống và cảm biến thuộc Viện ITIMS, trường ... cứu trong và ngoài nước trong công nghệ chế tạo dây và cột nano silic với các ứng dụng đa dạng, cùng với kinh nghiệm làm việc trong công nghệ vi cơ điện tử tại viện ITIMS, tác giả lựa chọn hướng

Ngày tải lên: 29/03/2019, 10:01

... “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử với điều kiện công nghệ trong nước Vì vậy, NCS lựa chọn đề tài “Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử” 2 Mục ... nghiệm làm việc trong công nghệ vi cơ điện tử tại viện ITIMS được trang bị các thiết bị quang khăc và ăn mòn, NCS lựa chọn hướng chế tạo dây và cột nano silic bằng công nghệ vi cơ điện tử bằng cách ... có các phòng thí nghiệm vi điện tử và vi cơ điện tử được xây dựng và phát triển hơn hai mươi năm nay Hơn nữa, với hướng chế tạo “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử, có thể điều khiển chính

Ngày tải lên: 10/01/2020, 20:17

... “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử với điều kiện công nghệ trong nước Vì vậy, NCS lựa chọn đề tài “Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử” 2 Mục ... nghiệm làm việc trong công nghệ vi cơ điện tử tại viện ITIMS được trang bị các thiết bị quang khăc và ăn mòn, NCS lựa chọn hướng chế tạo dây và cột nano silic bằng công nghệ vi cơ điện tử bằng cách ... có các phòng thí nghiệm vi điện tử và vi cơ điện tử được xây dựng và phát triển hơn hai mươi năm nay Hơn nữa, với hướng chế tạo “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử, có thể điều khiển chính

Ngày tải lên: 18/01/2020, 16:20

... vi cơ điện tử được định nghĩa như sau: “H ệ thống vi cơ điện tử - MEMS là hệ thống có kích cỡ micro tích hợp các vi cảm biến (sensors), b ộ vi kích hoạt/chấp hành (actuators) và các vi mạch điện ... phần tử điện cơ, điện tử, quang học và sinh học kích cỡ micro Chúng ta có thể gặp những ứng dụng của công nghệ Vi cơ điện tử - MEMS ngày càng nhiều trong mọi lĩnh vực của cuộc sống Trong công ... hạn ANSYS - Các vi động cơ được chế tạo bằng các công nghệ MEMS tiêu chuẩn và thông dụng như công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa

Ngày tải lên: 22/01/2021, 13:41

... “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử với điều kiện công nghệ trong nước Vì vậy, NCS lựa chọn đề tài “Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử” 2 Mục ... có các phòng thí nghiệm vi điện tử và vi cơ điện tử được xây dựng và phát triển hơn hai mươi năm nay Hơn nữa, với hướng chế tạo “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử, có thể điều khiển chính ... khí, Kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử Hình 1.14 Quy trình khắc bằng chùm điện tử Trong công nghệ mạch tích hợp cũng như công nghệ MEMS, kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử (hình 1.14) thường được

Ngày tải lên: 19/02/2021, 15:39

... “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử với điều kiện công nghệ trong nước Vì vậy, NCS lựa chọn đề tài “Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử” 2 Mục ... có các phòng thí nghiệm vi điện tử và vi cơ điện tử được xây dựng và phát triển hơn hai mươi năm nay Hơn nữa, với hướng chế tạo “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử, có thể điều khiển chính ... khí, Kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử Hình 1.14 Quy trình khắc bằng chùm điện tử Trong công nghệ mạch tích hợp cũng như công nghệ MEMS, kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử (hình 1.14) thường được

Ngày tải lên: 20/02/2021, 11:12

... “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử với điều kiện công nghệ trong nước Vì vậy, NCS lựa chọn đề tài “Nghiên cứu công nghệ chế tạo dây và cột nano silic trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử” 2 Mục ... có các phòng thí nghiệm vi điện tử và vi cơ điện tử được xây dựng và phát triển hơn hai mươi năm nay Hơn nữa, với hướng chế tạo “trên-xuống” bằng công nghệ vi cơ điện tử, có thể điều khiển chính ... khí, Kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử Hình 1.14 Quy trình khắc bằng chùm điện tử Trong công nghệ mạch tích hợp cũng như công nghệ MEMS, kỹ thuật khắc bằng chùm điện tử (hình 1.14) thường được

Ngày tải lên: 27/02/2021, 11:02