SnO2 có dạng bột trắng , không tan trong nước. Tỷ trọng ở 300 K là 6.95gm3 Hệ số dẫn nở nhiệt : 0.02 oC1. SnO2 là chất bán dẫn loại n, có độ rộng vùng cấm Eg = 3,6 4,3 eV. SnO2 có khả năng bền hóa học , bền cơ học rất cao, nó chỉ bị ăn mòn bởi kiềm đậm đặc.
Trang 1Báo cáo môn Vật liệu quang điện tiên tiến
Đề tài: Ứng dụng SnO2 trong pin mặt trời màng mỏng
TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
-Viện Vật Lý Kỹ
Thuật -1
Trang 3TỔNG QUAN VỀ SnO2
Cơ bản về thiếc đioxit (SnO2)
Cấu trúc tinh thể SnO2
Tiềm năng và ứng dụng
3
Trang 4Cơ bản về thiếc đioxit (SnO2)
• SnO2 có dạng bột trắng , không tan trong nước.
• Tỷ trọng ở 300 K là 6.95g/m3
• Hệ số dẫn nở nhiệt : 0.02 oC-1
• SnO2 là chất bán dẫn loại n, có độ rộng vùng cấm
Eg = 3,6 -4,3 eV
• SnO2 có khả năng bền hóa học , bền cơ học rất cao,
nó chỉ bị ăn mòn bởi kiềm đậm đặc
Tính chất vật lý
4
Trang 5• Trong mạng tinh thể SnO2 tồn tại nhiều sai hỏng,
do sự hiện diện của các nút khuyết oxi tạo điều
kiện cho 2 điên tử trong nguyên tử Sn thành điện
tử tự do, từ đó hình thành hai mức donor cách
đáy vùng dẫn lần lượt là 0,03eV và 0,15eV, đạt
trạng thái oxi hóa tại nhiệt độ 200o C và 400o C
• Độ linh động trong oxit SnO2 ở nhiệt độ 500K và
300K lần lượt là 80 và 200 cm2 /V.s
5
Trang 6• SnO2 là tinh thể phân cực bất đẳng hướng, có cấu trúc
rutile tương tự như một số oxit khác (TiO2, GeO2, )
• Mỗi ô đơn vị tetragonal chứa 2 nguyên tử Sn và 4 nguyên
tử oxy Bao quanh nguyên tử Sn có 6 nguyên tử O Các
nguyên tử O tạo thành hình bát diện với tâm là nguyên tử
Sn Liên kết giữa các nguyên tử là liên kết ion mạnh.
• Thông số mạng a=b=4,7384 Ao và c=3,1871 Ao Tỉ số c/a
=0,6726.
Cấu trúc tinh thể SnO2
6
Trang 7• Trong cấu trúc đơn tinh thể SnO2, mặt (110)
có năng lượng bề mặt nhỏ hơn so với các
mặt (100) ,(101) , (001), do đó sẽ ưu tiên
mọc theo mặt (110)
• Phân tích cấu trúc vật liệu SnO2 sẽ dùng
phương pháp nhiễu xạ tia X
• Trên hình bên cho ta thấy xuất hiện đỉnh
phổ với cường độ mạnh nhất ở góc quét 2θ
7
Trang 8Tiềm năng ứng dụng
• SnO2 được ứng dụng rộng rãi trong đời sống hiện nay
Lớp mỏng SnO2 phủ lên cửa kính máy bay có tác dụng gia nhiệt cửa kính và làm tan băng,
bốc hơi sương mù
Làm điện cực trong suốt trong đèn phát quang và đèn hình máy tính, pin mặt trời.
Làm chất phủ bảo vệ chống ăn mòn trên các đồ thủy tinh
Được sử dụng làm chất mờ đục trong công nghệ gốm
Dùng làm dò khí…v.v
• Ở đây bài thuyết trình chủ yếu tập trung về :
Ứng dụng SnO2 trong pin mặt trời màng mỏng.
8
Trang 9SnO2 trong pin mặt trời màng mỏng:
Đặc điểm màng SnO2
- Màng có cấu trúc tính thể định hướng ưu tiên các
mặt (110), (101), (211)
- Là màng mỏng trong suốt có tính truyền qua, dẫn
điện tốt, độ bền hóa học, độ bền cơ học cao
Ứng dụng làm anot trong pin mặt trời
mảng mỏng
9
Trang 10TÓM TẮT – GiỚI THIỆU
10
Trang 11Tóm Tắt
• Các điện cực trong thiếc dioxide (SnO2) trên kính được khắc sâu thêm trong HCl pha loãng: dung dịch Cr để có độ mài
mòn bề mặt lớn hơn và đặc tính tán xạ ánh sáng tốt hơn cho các ứng dụng pin mặt trời màng mỏng Các thông số quy trình về tỷ lệ hỗn hợp HCl/Cr, nhiệt độ khắc và thời gian khắc đã được kiểm tra Sau quá trình khắc, đo độ mài mòn bề mặt, truyền mờ và độ che phủ của kính SnO2 Nó đã được tìm thấy rằng tốc độ ăn mòn đã được tăng lên với các bổ sung trong quá trình khắc của Cr và nhiệt độ khắc Các tham số khắc chế bề mặt tối ưu là 0,15% trọng lượng Cr trong 49% HCl, nhiệt độ 90°C, và thời gian 30 giây Hơn nữa, các pin mặt trời màng mỏng silic có cấu trúc p-i-n được chế tạo trên kính SnO2 kết cấu bằng cách sử dụng hóa chất nóng trong dây nóng
11
Trang 1212
Trang 13• Đối với điện cực trong suốt, yêu cầu của bộ phim TCO là độ phủ thấp để giảm thiểu tổn thất hiện tại, độ tiếp xúc thấp với các lớp bán dẫn, và sự truyền ánh sáng tới lớn
• Để sử dụng hoàn toàn ánh sáng tới, một kỹ thuật quan trọng của cái gọi là ánh sáng đã được phát triển bằng cách sử dụng TCO với kết cấu bề mặt thích hợp Chỉ ra rằng một thiết kế đặc biệt của các màng TCO đóng một vai trò quan trọng trong việc tăng cường hoạt động của các pin mặt trời màng mỏng TCO kết cấu bề mặt có thể phân tán ánh sáng rất nhiều và tăng độ dài đường dẫn quang học hiệu quả trong các lớp hoạt động Do đó, điều này sẽ cải thiện cả độ hấp thụ quang học và mật độ dòng điện trong các pin mặt trời màng mỏng Sau đó, các chất TCO kết cấu ngẫu nhiên khác nhau đã được đề xuất để làm tăng sự tán xạ ánh sáng
13
Trang 14• Phần lớn các màng mỏng Si dựa trên thủy tinh được chuẩn bị trên kính SnO2 (SnO2: F) pha tạp bằng flo do bề mặt thô ráp của chúng Hơn nữa, ZnO trực tiếp lắng đọng hoặc kết cấu là một phương pháp hấp dẫn khác để chế tạo chất nền TCO thô Bằng cách sử dụng ZnO được tạo cấu trúc, hiệu suất lượng tử của các pin mặt trời màng mỏng trên toàn bộ dải phổ có thể tăng lên.Có thể đạt được sự cải thiện hơn nữa trong việc giảm các tổn thất hấp thụ hấp thụ của chất mang
tự do trong hồng ngoại / hồng ngoại và sự hấp thụ xung quanh cạnh quang học ZnO trong vùng xanh dương / UV
Sơ đồ sơ đồ các hiệu ứng tán xạ ánh sáng trong kính TCO mịn 14
Trang 15• SnO2, một trong những loại pin TCO phổ biến nhất, thường được chuẩn bị bằng cách tích tụ hơi hóa học áp suất khí quyển với bề mặt có kết cấu nguyên bản Một phương pháp để tạo ra một mô hình hoặc để loại bỏ các lớp SnO2 bằng cách khắc ướt Nguyên liệu của phương pháp này bao gồm 3 lít 50% HCl và 20 g crôm kim loại (Cr) Hỗn hợp được làm nóng đến 90°C với sự khuấy liên tục để hòa tan Cr Trình tự phản ứng tổng thể của phương pháp khắc.
• Dưới đây chúng tôi chọn kính SnO2 được sản xuất hàng loạt như chất nền thường được sử dụng cho các ứng dụng quang điện tích hợp xây dựng Sau đó việc kết cấu hóa học ướt được thực hiện bằng cách sử dụng dung dịch HCl pha loãng: Cr để đạt được độ nhám bề mặt lớn hơn và các tính chất tán xạ ánh sáng tốt hơn cho các ứng dụng pin mặt trời màng mỏng
15
Trang 16THỰC NGHIỆM
16
Trang 18 Dung dịch HCl pha loãng 49%
Nhiệt độ mài mòn từ 27-100oC
Thời gian khắc (tetch) tăng từ 1-300s
Các ảnh hưởng của điều kiện khắc lên sự biểu diễn quang điện của phim SnO2 đã được nghiên cứu chi tiết
18
Trang 19Quy trình chế tạo
Một chất kiềm chống ăn mòn được sàng lọc
trên bề mặt của đĩa
Dung môi để chống lại sự ăn mòn
Dung dịch bao gồm 3 lít 49%HCl và 20g Cr
Sấy khô
Làm nóng đến 90oC và khuấy trong 4 phút
Rửa và sấy
19
Trang 20Các chuỗi phản ứng tổng thể của hoạt động khắc như sau
Cro -> Cr++ trong dung dịch axit nóng
Cr++ -> Cr+++ bởi quá trình oxy hóa khi bề mặt tiếp xúc với không khí
20
Trang 21 Giới thiệu về công nghệ hấp thụ hóa học đường dây nóng (HWCVD)
• Công nghệ mới để chứa các vật liệu ở nhiệt độ thấp mà không sử dụng plasma để phân hủy khí nguồn
• Dựa vào một sợi filament nóng để phân hủy các loại khí (không bắn
phá ion như trong PECVD)
• Lợi ích:
Giảm chi phí sản xuất
Nhiệt độ thấp hơn lắng đọng
Tăng trưởng nhanh và có thể kiểm soát được
Kiểm soát hình thái bề mặt trong quá trình tăng trưởng
=> HWCVD đại diện cho một sự thay thế PECVD
2.Lắng đọng cấu trúc Si p-i-n
21
Trang 22• Việc lắng đọng film trên bề mặt ở nhiệt độ phòng:
o Thứ nhất, quá trình lắng đọng có giới hạn có thể được sử dụng (vì nhiệt độ nền
thấp làm tăng cơ chế như vậy)
o Thứ hai, các chất nền nhạy với nhiệt độ có thể được tráng mà không gặp khó
khăn
o Cuối cùng, có thể đạt được nhiệt độ sợi dây cao hơn đáng kể với mức tiêu hao
điện năng thấp, cho phép khai thác nhiều hơn các hóa chất CVD.
22
Trang 23Các thông số chính của lắng đọng film Si bao gồm:
• Nhiệt độ dây: 1700oC
• Nhiệt độ nền: 300oC
• Áp suất làm việc: 100 mTorr
• Chất phụ gia với tốc độ dòng chảy tương ứng
Trang 243.Hình thành điện cực ngược
• Sau khi đặt cấu trúc p-i-n, lớp Ag dày 500 nm và lớp Al dày 1 μm đã được trồng theo tuần tự như điện cực lưng bằng cách bốc hơi tia electron và sau đó ủ ở
500°C để đạt được một tiếp xúc ohmic
Các pin mặt trời màng Si được chế tạo với cấu trúc lớp Si / SnO2 / p-i-n Si / Ag-Al kết hợp với kích thước tế bào là 5x5 mm2
24
Trang 25KẾT QUẢ - KẾT LUẬN
25
Trang 26• Tỉ lệ Cr 0.15-0.45 cho kết quả khắc ổn định và
cao
• Qúa trình ăn mòn xảy ra từ 60°C trở lên
• Phản ứng ăn mòn xảy ra nhanh khi tăng nhiệt
độ, khi tăng nhiệt độ từ 60°C đến 100°C , vận
Trang 27• 1-120 giây, độ nhám RMS của SnO2 trước tiên
tăng lên và sau đó giảm
• Giá trị RMS cao nhất là 286,3 nm đã thu được
bằng cách sử dụng mẫu A trong 30 giây
• Khoảng thời gian từ 120-300s giá trị RMS tăng
lên Nguyên nhân do sự phá hủy bề mặt do thời
gian ăn mòn quá dài
27
Trang 30• Hình 5 (c) và 6 (c), một số lỗ nhỏ xuất hiện trong hạt SnO2 khi đã tăng lên 120 giây.
• Đối với mẫu khắc 300 giây, kích thước của lỗ được tăng lên đến vài trăm nm như thể hiện trong hình 5 (d)
Trang 31Để kiểm tra độ tối ưu, dùng cách màng a-Si (500nm) lắng đọng trên SnO2 khắc và không khắc.
• Khả năng hấp thụ ánh sáng của màng được cải thiện rõ rệt với màng Si trên đến SnO2 đã khắc.
• Đặc biệt, với mẫu A được khắc trong 30s có khoảng hấp thụ sáng cao hơn các mẫu khác với bước sóng từ 400-800nm.
31
Trang 33So sánh pin mặt trời p-i-n chế tạo bằng HWCVD trên kính gốc và trên đế SnO2 với lớp hấp thụ nội tại
500nm :
33
Hiệu suất của pin mặt trời được tăng lên từ 4,04 đến 4,39% với thời gian khắc 0s đến 30s.
Trang 3434
Trang 35Kết luận
• Bề mặt SnO2 khắc thành công bằng kỹ thuật ăn mòn axit.
• Với kính SnO2 đã khắc, hiệu suất PMT đạt 4,39%
• Lượng Cr pha tạp, nhiệt độ, thời gian ăn mòn ảnh hưởng đến chất lượng bề mặt SnO2
Trang 36Tư liệu tham khảo
1. Texture-Etched SnO2 Glasses Applied to Silicon Thin-Film Solar Cells
2. B Stannowski, J K Rath, and R E I Schropp, “Thin-film transistors deposited by hot-wire chemical vapor deposition,” Thin
Solid Films, vol 430, no 1-2, pp 220–225, 2003
3. S K Soni, A Phatak, and R O Dusane, “High deposition rate device quality a-Si:H films at low substrate temperature by
HWCVD technique,” Solar Energy Materials and Solar Cells, vol 94, no 9, pp 1512–1515, 2010
4. B Schroeder, “Status report: solar cell related research and development using amorphous and microcrystalline silicon
deposited by HW(Cat)CVD,” Thin Solid Films, vol 430, no 1-2, pp 1–6, 2003
5. J Müller, B Rech, J Springer, and M Vanecek, “TCO and light trapping in silicon thin film solar cells,” Solar Energy, vol 77, no
6, pp 917–930, 2004….v.v
36
Trang 37Cảm ơn cô và các bạn đã chú ý lắng nghe
37