Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems

3 982 20

1 / 3 trang

THÔNG TIN TÀI LIỆU

Thông tin cơ bản

Tiêu đề	Nghiên Cứu Chế Tạo Sensor Gia Tốc Kiểu Tụ Trên Cơ Sở Công Nghệ Mems
Tác giả	Vũ Ngục Hung, Nguyễn Pha Thuy
Người hướng dẫn	Viện Đào Tạo Quốc Tế Về Khoa Học Vật Liệu (ITIMS)
Trường học	Trường Đại Học Bỏch Khoa Hà Nội
Chuyên ngành	Khoa Học Vật Liệu
Thể loại	Luận văn
Thành phố	Hà Nội

Định dạng
Số trang	3
Dung lượng	171,77 KB

Các công cụ chuyển đổi và chỉnh sửa cho tài liệu này

Nội dung

Seror gia tốc vi cơ điện tử(Mems) rất được quan tâm nghiên cứu vởi khả năng ứng dụng to lớn của chúng trong điều khiễn các hệ thống chuyển động như người máy, ô tô...Seror gia tốc Mems thường ho

Ngày đăng: 19/11/2012, 10:29

Xem thêm

Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems

HÌNH ẢNH LIÊN QUAN

Hình học cho phép. - Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems — nh học cho phép (Trang 1)

Hình 1: Sơ đồ nguyên lý cấu trúc sensor gia tốc kiểu tụ. - Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems — nh 1: Sơ đồ nguyên lý cấu trúc sensor gia tốc kiểu tụ (Trang 1)

Hình 4: Quy trình chế tạo sensor gia tốc kiểu tụ. - Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems — nh 4: Quy trình chế tạo sensor gia tốc kiểu tụ (Trang 2)

Hình 3: Mode dao động pháp tuyến của sensor gia tốc - Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems — nh 3: Mode dao động pháp tuyến của sensor gia tốc (Trang 2)

Hình 5: Kết nối mạng đo mực nước từ xa - Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems — nh 5: Kết nối mạng đo mực nước từ xa (Trang 3)