12 BẢN MÔ TẢ SÁNG CHẾ THUỘC BẰNG ĐỘC QUYỀN SÁNG CHẾ19 Cộng hòa xã hội chủ nghĩa Việt Nam VN2.. Mai Anh Tuấn VN Số 10, ngõ 269, đường Uy Nỗ, tổ 20, thị trấn Đông Anh, huyện Đông Anh, thàn
Trang 1(12) BẢN MÔ TẢ SÁNG CHẾ THUỘC BẰNG ĐỘC QUYỀN SÁNG CHẾ(19) Cộng hòa xã hội chủ nghĩa Việt Nam (VN)
2 Mai Anh Tuấn (VN)
Số 10, ngõ 269, đường Uy Nỗ, tổ 20, thị trấn Đông Anh, huyện Đông Anh, thành phố
một phương pháp đồng phún xạ phản ứng tương đối cao cấp tại đó các giá trị tỉ lệ x và y có
thể điều khiển được Sáng chế đưa ra cấu trúc một bôlômet kích thước micro cấu trúc đa lớp treo sử dụng vật liệu nhiệt điện trở ABxOy Các bôlômet này được sắp xếp theo dạng
ma trận M hàng N cột nhằm chế tạo cảm biến ảnh hồng ngoại nhiệt Các cảm biến này được chế tạo bằng quy trình công nghệ kết hợp giữa phủ màng và tạo hình, tích hợp toàn
bộ trên một đế phẳng có chứa các vi mạch điều khiển việc đọc giá trị nhiệt điện trở của từng bôlômet trong ma trận
Trang 2-2-27631
Trang 3-3-27631
Trang 4-4-27631
Trang 5-5-27631
Trang 6-6-27631
Trang 7-7-27631
Trang 8-8-27631
Trang 9-9-27631
Trang 10-10-27631
Trang 11-11-27631
Trang 12-12-27631
Trang 13-13-27631
Trang 14-14-27631
Trang 15-15-27631
Trang 16-16-27631
Trang 17-17-27631
Trang 18-18-27631
Trang 19-19-27631
Trang 20-20-27631
Trang 21-21-27631
Trang 22-22-27631
Trang 23-23-27631
Trang 24-24-27631
Trang 25-25-27631
Trang 26-26-27631
Trang 27-27-27631
Trang 28-28-27631
Trang 29-29-27631
Trang 30-30-27631
Trang 31-31-27631
Trang 32-32-27631
Trang 33-33-27631
Trang 34-34-27631
Trang 35-35-27631
Trang 36-36-27631
Trang 37-37-27631
Trang 38-38-27631
Trang 39-39-27631
Trang 40-40-27631