Chế tạo và nghiên cứu màng SnO2 và SnO2 pha tạp : Đề tài NCKH. QT.03.08

Nguy6n Thanh Binh L Muc tieu va noi dung l.L Muc tieu - Che tao mang Sn02, Sn02: F, SnOs: Sb bang phuang phap phun tinh dien - Khao sat tfnh chat quang, huynh quang va dien cua cac man

DAI HOC QUOC GIA HA NOI

TRUONG DAI H O C K H O A H O C Tl/NHIEN

TEN DE TAI:

CHE TAG VA NGHIEN CUU MANG

SnOi VA Sn02 PHA TAP

01 /

54-f-HA NOI - 2004

QT03-08

Che tao va nghien curu mang Sn02 va SnOj pha tap

Ma so QT-03~08

Chu tri de tai: TS Le Thi Thanh Binh

Cac can bo tham gia: Ths Le Duy Khanh

CN Nguy6n Thanh Binh

L Muc tieu va noi dung

l.L Muc tieu

- Che tao mang Sn02, Sn02: F, SnOs: Sb bang phuang phap phun tinh dien

- Khao sat tfnh chat quang, huynh quang va dien cua cac mang

- Trong qua trinh trien khai nghien cim ket hop dao tao sinh vien dai hoc va hoc vien cao hoc

L2.Noi dung

- Tao duac cac mang Sn02, Sn02: F, Sn02: Sb vai cac nong do tap khae nhau

- Khao sat su phu thuoc tfnh chat vat ly ciia mang vao di^u kien tao mSu

- Khao sat sir phu thuoc tfnh chat huynh quang va kfch thfch huynh quang vao nhiet do do

2 Ket qua chinh

- 01 luan van thac si

- 02 khoa luan tot nghiep Dai hoc

- 02 bao cao khoa hoc

3 Tinh hinh kinh phi de tai

- Kinh phf duac cap: 10.000.000 VND

- Kinh phf duac cap den 12 - 2003 da thanh toan xong: 10.000.000 VND

Khoa quan ly

(Ky va ghi ro ho ten)

Chu tri de tai (Ky va ghi ro ho ten)

07nA^

chu tri de tai

PHO HlEU TRJONG

T3 xyia/w cJl(a,'fUy

BRIEF REPORT OF PROJECT

The preparation of Sn02 and doping SnOj films

and the research on their properties

The code number: QT - 03 - 08

The coordinator: Dr Le Thi Thanh Binh

The participants of the project: MSc Le Duy Khanh

BSc Nguyen Thanh Binh

1 Purpose and contents of the work

l.L Purpose

- To prepare the Sn02, Sn02: F and Sn02: Sb films by BSD

- To research on the optical, photoluminescence and electrical properties of the received films

- To train master and bachelor students

Phan chfnh bao cao

MUC LUC

Bao cao torn tit 1

Brief report of project 3

Muc luc 4 Mddau 5 Noi dung chfnh 6

PhSn 1 Tdng quan ve tinh hinh nghien ciiu vat lieu SnOs 6

Phfe2, Ky thuat thue nghiem 9

Phan 3 Ket qua nghien cuu 11

Ket luan 29 Tai lieu tham khao 30

diu tao ra duac mot loai san pham Sn02 vai cac tfnh cha't vat ly mong muon

Tren ca sa thiet bi san co a bo mon, chiing toi da trien khai de tai che tao mang Sn02 va Sn02: F, Sn02: Sb bang phuang phap phun tinh dien, vai muc dfch nghien ciiu anh huang cua che do tao mang len cac tfnh cha't vat ly nhu tfnh chat hap thu, tfnh cha't huynh quang va tfnh chat dien ciia mang

NOI DUNG CHINH

1.1 Cau true tinh the cua Sn02 [1, 2, 3]

SnOa la ban dan loai n, thuoc nhom A^^B'^\ co ca'u triic tii giac (rutile) vcd cac hang so mang a = 4,734 A, c = 3,185, ti so ^ = 0,673 A va tham so noi

u = 0.307 Trong m6i o mang co chiia 6 nguyen tir: 2 nguyen tu Sn va 4 nguyen

quanh gan nhat

Hinh 1 Mo hinh ca'u triic tinh the Sn02 Trong cac nghien ciiu ve tfnh cha't tinh the cua Sn02, tir pho X-ray gia tri hang so mang nhan duac co the thay doi chut ft khi pha tap vao Dieu do thucmg duac giai thfch bai kha nang dien ke cua cac ion tap chat trong mang tinh the

Trong nhirng nam gan day, ngoai xu huong tao ra cac mang Sn02 trong suot

va CO do dan dien cao, cac nha khoa hoc dang tfch cue tao ra vat lieu Sn02 co

ca'u triic nano vai muc dfch nghien ciiu khai thac cac tfnh cha't dieu ki ciia loai vat lieu nay phuc vu cho cong nghe linh kien nano [4, 5, 6]

1.2 Tinh chat hap thu cua Sn02

Vat lieu Sn02 hap thu manh a mien tir ngoai, ba hap thu a lan can 4 eV

thucmg quan sat duac rat r5 trong cac pho truyen qua va pho hap thu ciia cac mang Sn02 Mang Sn02 cho anh sang vung kha kien truyen qua rat tot Do truyen qua ciia mang Sn02 phu thuoc ra't nhieu vao phuang phap che tao, do day cua mang va loai tap cha't cung nhu n6ng do tap chat dua vao mang Bang phuang phap CVD cac tac gia [7] da tao dugc mang Sn02 vai do truyen qua 45% - 99% trong mien kha kien va tfnh duac gia tri E^, = 4 eV tir pho hap thu Bang phuang phap Sol-Gel cac tac gia [8] da khao sat do truyen qua ciia cac mang theo so 16p tao nen mang Do truyen qua trung binh cua cac mang nay vao ca 80%

Cac tap cha't Sb va F thuang duac sir dung de nang cao do dan dien cho cac mang Sn02 Tuy nhien nong do tap cha't cang tang thi do truyen qua cang giam

va chi dat khoang 42% den 64% a bu6c song 800 nm [9,10]

Su phu thuoc cua do truyen qua vao nhiet do de cung duac cac tac gia [9] quan tam, ho da chi ra neu cimg nong do Sb, nhiet do de cang cao thi do truyen qua cang giam nhung dp dan dien lai cang tang Doi v6i m6i phuang phap che tao mang thi co the tim ra duac mot che dp toi uu de cac mang Sn02 thoa man

duac ca hai yeu cau do la do truyen qua cao va dp dan dien lan

1.3 Tinh chat huynh quang

Cac nghien ciiu huynh quang ciia Sn02 khong nhieu vi Sn02 khong phai la vat lieu phat quang manh 0 nhiet dp phong, huynh quang cua cac mang Sn02

CO cac dinh 393 nm, 439 nm, 486 nm, 496 nm [11] va 500 nm [6] Ta't ca cac dinh nay deu co nguon goc tir sai hong VQ , mot loai sai hong luon ton tai trong mang, duac hinh thanh trong qua trinh tao mang Dinh huynh quang a 3,14 eV (394,8 nm) khong thay doi theo nhiet dp do [12] duac giai thfch bang anh huang ciia cac yeu to sai hong mang nhu V^,, Vg^ hoac anh huang ciia kfch thuac nano cac hat tinh the trong mang Trong mot nghien cuu khae [13], huynh quang cua Sn02 tren de InSb a 10 K thay ddi vi trf dinh tir 2.8 eV den 3,3 eV khi dp day mang thay doi tir 1750 A den 1990 A, ket qua nay dupe giai thich tren qui luat giam nang luang viing cam do hien tuong giam cac sai hong

mang khi d6 day mang tang len Cac tac gia [14] da nghien ciru tfnh chat huynh quang a nhiet dp 6 K ciia cac mang Sn02 che tao bang phuang phap CVD Cac ket qua nghien ciiu cho tha'y cucfng dp va vi tri cac dinh 3,38 eV, 3,33 eV, 3,1

eV va 2,4 eV thay doi theo nhiet dp de Theo cac tac gia nay nguyen nhan hinh thanh dai pho 2,4 eV la su ton tai cac niit khuyet oxy, con dai pho 3,1 eV lien quan den sai hong mang Cucmg dp cac dinh pho 3,33 eV va 3,38 eV giam manh khi nhiet dp de tang tir 425 "C len 500 "C Ca che huynh quang ling vdi dinh 3,33 eV la chuyen dai dien tir tir viing dan den acceptor va ling vai dinh 3,38 eV la chuyen dai cap donor - acceptor

1.4 Tinh chat dien

Sn02 la vat lieu co tfnh dan dien tot, dupe ling dung rat nhieu vao viec che tao cac dien cue Khi pha tap Sb hoac F vao thi tfnh cha't dien ciia mang Sn02:

Sb va Sn02: F thay doi va phu thuoc ra't nhieu vao cac cong nghe tao mang, nong dp tap cha't dua vao, che dp tao mang Dp day mang tang len thi dien tra ciia mang giam va dat den mot gia tri gi6i han Dien tra ciia mang giam theo nong dp tap Sb va dat mot gia tri cue tieu Khi nhiet dp de trong qua trinh tao mang thay doi thi dien tra ciia mang ciing thay doi Ham so bieu di6n sir phu thuoc ciia dien tra vao nhiet dp de se qua mot gia tri cue tieu

PHAN 2 KY THUAT THlTC NGHIEM

2.1 Tao mang b^ng phuang phap phun tinh dien

Cac mang Sn02 va Sn02: F, Sn02: Sb dupe che tao bang phuang phap phun tinh dien, sa d6 he phun tinh dien dupe mo phong tren hinh 2

Van dieu chinh

Hinh 2 Sa do he phun tinh dien

Dung dich diing de tao mang dupe dua vao xylanh, qua ong truyen den dau kim phun Kim phun lam bang thep khong gi, dupe noi vdi cue duang (+) ciia ngu6n cao ap 18 kV Diem co dien the bang 0 ciia nguon cao ap (v6 may) dupe noi vai be mat cua nguon nhiet dupe lam bang thep khong gi Tren be mat nay

CO gan mot he thong ga mSu de giu cac de lamen trong qua trinh phun mang

De dupe dot nong bang mot nguon nhiet dien Nhiet dp ciia ngu6n dupe giu on dinh bang bp khong che nhiet dp Khi nhiet dp de dat tai gia tri dinh truac va dupe giiJ on dinh, nguon cao the se dupe bat len Duoi tac dung cua dien truong sinh ra bai nguon 18 kV, dung dich dupe phun len de lamen da duac dot nong Khoang each giua de va dau kim phun co the dieu chinh de chpn dupe che do toi iru cho viec tao mang

Dung dich diing de phun dupe tao tir cac hoa chat SnCU SH^O va NH4F vai cac dung moi la con tuyet doi, a xit HCl va nuac ca't

Diing SnCl4 5H2O hoa trong H2O va c6n co cho them HCl se tao dupe dung dich khong tap de phun mang Sn02 Muon co mang Sn02: Sb, can phai tao

xac dinh se nhan duoc dung dich d^ phun mang Sn02: Sb Ty le Sb/ Sn02 dupe

tinh theo nong dp phSn tram nguyen tir rj{at.Vo)

Tuang tu nhu vay, muon co mang Sn02: F, cSn pha them dung dich NH4 F vao dung dich khong tap theo ty le xac dinh de nhan duac dung dich chira tap

cha't F Ty le F/ Sn02 cung dupe tfnh theo nong do phan tram nguyen tir

r](at.%)

Cac mang Sn02 , Sn02: F va Sn02: Sb deu dupe tao tren de lamen cua Diic Truac khi phun mang len, de duac lam sach bang may rung sieu am a Trung tam KHVL

2.2 Cac thiet bi dung de nghien curu cac tinh chat vat ly cua mang

Hinh thai be mat ciia cac mang Sn02 va SnOj: F, Sn02: Sb da dupe khao sat bang kfnh hien vi dien tir quet JSM 5401 LV Ca'u triic tinh the ciia cac mang dupe khao sat bang thiet bi nhilu xa tia X D5005 - Siemens Pho huynh quang

va kfch thfch huynh quang cua cac mang dupe do tren he huynh quang Spectro Fluometer FL 3 -22 Cac thiet bi tren deu thuoc Trung tam Khoa hpc Vat lieu Tfnh chat ha'p thu va truyen qua ciia cac mang dupe nghien cim bang thiet bi

UV VIS 3101 tai Trung tam nghien ciiu cong nghe moi tru6ng va phat trien ben vung Dien tra ciia cac mang dupe do bang phuang phap 4 mui do tren he do dupe xay dung tai bp mon Vat ly Dai cuang

PHAN 3 KET QUA NGHIEN ClfU

3.1 Pho nhi^u xa tia X

Pho nhidu xa tia X cua cac mang Sn02 , Sn02: Sb , Sn02: F dupe bieu di6n

tren cac hinh 3, 4, 5

VNlJ-HN-SiEMENS D5005 - Mau Sn02 - Tphut - Td = 410C

VAtyy^^^^iy/^'^ j W y w y ^ ^ ' ^ ^ * ^

Uif nMt-DaCiotg-unQStOl-TxttE-Tpt.rw-rvv m j D M

Tli\.Hi60-caimim.r^-^toi-'noftini-*iL i ^<as

2-Theta - Scale

9artiiiiD'-ei4«i)n]'-G«»DJn]'-S«f>n*:iJii-T«(> zso'C mcatt-Kwot CI-CKJCM DO(D(ui;ini

Hinh 3 Pho nhidu xa tia X ciia mang Sn02 -7 phiit - 410 "C

VNIJ-HN-SIEMENS D5005 - Mau 5n02 5b(3%J - K27-3 - 5phui - Td = 41 OC

H^Wfv^^f Vv^^^V'V w

2-Theta - Scale

Hinh 4 Pho nhieu xa tia X ciia mang SnO^: Sb 3 at.% -5 phiii - 410 "C

2-Theta - Scale

lJ><-'iwn-c»*i(i,(vi-si02-ait*''(is-ni.is*aK

(KEIB) - A I O B C I - C n m toasut H U M

Hinh 5 Pho nhieu xa tia X ciia mang Sn02: F 3 at.% - 8 phut - 350 'C

Tijf cac hinh 3, 4 va 5 cac dinh nhieu xa da duac xac dinh ung v6i cac mat nhu sau:

+ Dinh 1 a vi trf goc 20 = 26" +(5,5/7)^ ihig vdi mat (110) + Dinh 2 a vi tri goc 29 = 33" +(5/7)", ling vai mat (101) + Dinh 3 a vi tri goc 29 = 37" +(5/7)", ling vdi mat (200) Cac dinh nay cua miu kha trimg v6i dinh pho nhieu xa ciia mSu chuan Sn02, cac mat co kha nang cho nhieu xa ling v6i cac dinh nhieu xa tren pho la: (Oil), (110), (121), (020), (130), (031)

Tir phuang trinh nhieu xa Vulf-Bragg: 2d^^^Sind^^^ = kX (A= 1,54056 A la

bude song ciia tia X) (J day la nhieu xa b^c mot nen k =1 suy ra:

^hki = /l/25/A26(,ki = 077028ISine^^y

vai cau triic tir giac thi J^ki thoa man bieu thue:

(1)

lid- = (li- + k^)/a^ + /-/c- (2)

Tir dinh thir nhat (110) suy ra:

d = 0,77028/SmI3,4" = 3J255 A

thay d vao (2) suy ra: a = d^l = 4,703 A

Tir dinh thir hai (101) suy ra:

d = 0,77028/Sinl6,8&^ = 2,656 A

thay d vao (2): c^ = a^d^/(a^ - d^)

taduac: c - 3,169 k

Thay cac gia tri cua a va c vao bieu thiic (2), ta thay cac dinh con lai thoa

man Dieu nay chung to r^ng SnOj co cau true tii giac v6i hang so mang la a =

4,703 A va c = 3,169 A, so vai ket qua da neu a phan tong quan a = 4,734 A, c =

3,185 A ket qua tinh toan a tren la kha phii hap

3.2 Anh be mat SEM

Hinh 6 Anh be mat cua mang Sn02: Sb Hinh 7 Anh be mat ciia mang Sn02: F

3 at.% -15phut - 410 "C 2 at.% -15phut - 410 "C

Anh be mat ciia mSu duac xac dinh b^ng kinh hien vi dien tir quet

J8M-5410 LV Hinh 6 la anh be mat ciia mang Sn02: Sb - 3 at.% - phun trong 15 phut,

va hinh 7 la anh be mat cua mang Sn02: F - 2 at.% - phun trong 15 phiit ta co the

tha'y cac hat phan b6 kha dong deu, kich thudc trung binh cua cac hat vao ca 0,5

va bie'u dien tren hinh 10

12000

10000

8000

^ 6000H 2" 4000

2000

0

8 10 12 14 16 18

2 4 6

Thai gian phun (phut)

Hinh 10 Su phu thuoc do day mang SnO; vao thai gian phun

3.3 Tinh chat huynh quang

3.3.1 Pho huynh quang cua SnOjC Sb

Tren hinh 11 la pho huynh quang cua mang Sn02: Sb 4 at.%-7 phut - 410 ^C dugc do trong khoang nhiet do tir 14 K den 320 K, ta thay xuat hien cac dinh tai cac vi tri 370 nm, 394 nm, 450 nm, 525 nm Dinh tai vi tri 370 nm kha ro, cac dinh con lai khong thue su ro Cuang do cac dinh giam va vi tri cac dinh dich ve phia song dai (tuy sir dich vi tri dinh la khong nhieu) khi nhiet do tang

Co the cho r^ng cac dinh tai cac vi tri 370 nm a 14 K tuong ling vdi vi tri

380 nm (3,263 eV) a nhiet do phong va dinh 525 nm (2,362 eV) la do cac nut khuyet oxy tao ra miic nang lugng donor nong trong viing cam cua Sn02 hoac t6 hgp cac sai hong mang Cac tac gia [12] da dua ra gia thiet ve ban chat cua dai phd 394 nm (3,146 eV) lien quan den sir hinh thanh cac dam hat nano tinh the SnOj

Vi cac mang Sn02 dugc pha tap Sb nen co the cho rling tap chat Sb co dong gop vao cac qua trinh tai hgp birc xa, chiing co the giir vai tro donor trong chuyen dai donor - acceptor Tuy nhien de khing dinh chfnh xac ca che' tai hgp ciia tung chuyen miic buc xa can co them cac phep do bo trg khae

3.3.2 Pho huynh quang cua Sn02: F

Tren hinh 12 la cac pho huynh quang ciia mang Sn02: F dugc kfch thfch a buac song 330 nm va do trong mien nhiet do tir 13 K den 300 K Tai tat ca cac nhiet do mang deu phat huynh quang a dai cue tfm Dinh thir nhat a 369,3 nm (3,36 eV) xu^'t hien rat r5 trong khoang nhiet do thap han 30 K Trong khi do dinh thir hai a 391,3 nm (3,17 eV) chi xuat hien nhu mot vai pho Khi tang nhiet do dinh 369,3 nm chay dan ve phia song dai den 374,1 nm (3,3leV) a nhiet do 102 K Con dinh 391,3 nm chay den 398 nm (3,11 eV) a 300 K Dong thai vai hien tugng

dich dinh, tuang quan cuang do cua hai dinh mien cue tfm nay thay doi: Khi nhiet

do tang dinh thir nhat tat nhanh han dinh thii hai, a 251 K chi con quan sat dugc a dinh thii hai D^ giai thfch hien tugng huynh quang nay chiing toi cho r^ng ca che tai hgp cua hai dinh nay la tai hgp cap donor - acceptor vai donor la tam tap chat

va acceptor la nut khuyet Sn (VsJ hoac mot ion tap khong khong che dugc trong

qua trinh tao mang

ioy

4x10^-

102K 1I5K 175K „_ 20IK 251K 275K 300K

3.3.3 Pho kich thich huynh quang cua SnOj: Sb

Cac mSu SnOj: Sb da dugc khao sat phd kfch thfch huynh quang tai bude song biic xa 390 nm Phd kfch thfch huynh quang theo nhiet do tren hinh 14 da ehi

ra hai dinh tai cac vi trf l^n c^n bu6c song 320 nm va 334 nm, cac vi trf nay kha phil hgp vdi cac bu6c song da diing de kfch thfch ciia pho huynh quang nhu phan tren da neu Hinh 14 cung chi ra cho ta tha'y cuang do ciia cac dinh trong pho kfch thfch giam khi nhiet do tang vi trf cac dinh gan nhu khong thay ddi

280 290 300 310 320 330 340 350 360 370

Birorc song (nm) Hinh 14 Phd kfch thfch theo nhiet do ciia mang Sn02: Sb (4 at.% - 7phut - 410 ^C) tai buac song 390 nm

Nhu vay nhung chuyen miic hap thu biic xa vdi cac buac song 320 nm (3,87 eV) va 334 nm (3,71 eV) da dong gop lan cho sir hinh thanh trang thai kfch thfch

de cac dien tir co the tai hgp biic xa huynh quang vai dinh -390 nm (3,179 eV) Vi trf dinh kfch thfch huynh quang khong thay ddi theo nhiet do ggi y cho ta gia thiet

ve sir chuyen mirc hap thu cua cac dien tir tir cac tam acceptor trung hoa len viing dan Cac tam nay co the la niit khuyet thiec Vs„ hoac tap khong khong che dugc trong qua trinh tao mang [15]

3.3.4 Pho kich thich huynh quang cua Sn02: F

338,5

1.2x10 n 1.0x10"

Phd kfch thfch huynh quang ciia cac mang Sn02: F tai buac song tuong ling

vdi cac dinh biic xa huynh quang da dugc khao sat theo nhiet dp Hinh 15 va 16

bieu dien cac phd kfch thfch huynh quang dac trung Ket qua cho thay trong cac

phd kfch thfch huynh quang luon t6n tai cac dinh 338,5 nm (hv, = 3,66 eV) va cac

vai phd vao ca 324 nm (hvj = 3,83 eV), 353 nm (hv^ = 3,51 eV) Nhu vay chiing to

tat ca cac tai hgp huynh quang doi vdi mang Sn02: F deu co the dugc hinh thanh

khi qua trinh hap thu cac phonon co nang lugng hv,, hv^, hv^ tao ra cac hat tai dien

tu do de chiing tham gia vao qua trinh tai hgp bire xa Theo chiing toi do la cac

chuyen miie ciia dien tir tir cac miic acceptor trung hoa len viing din, tao ra cac hat

tai dien tu do, chiing se bi hk vao cac tam nong V,,"*" hoac tam tap flo thay the oxy

va tir do tai hgp vai cac ion am tren cac miic acceptor de biic xa ra nang lugng

huynh quang tuang ling

338,7

O

00

8x10' 7x10'-6x10^-5x10^-4x10' 3x10' 2x10' IxlO'

Tren hinh 17 la do thi su phu thuoc ciia in theo — Do thi co dang la mot

ham tuyen tfnh Nhu veiy cudng do tfch phan dinh phd I phu thugc vao nhiet do T

theo dung quy luat sau

exp

kT

(3)

Tir do doc ciia do thi hinh 17 ta tfnh dugc nang lugng kfch hoat E = 12,8

meV Ket qua tuang tir thu dugc neu trong cong thiic (3) gia tri cudng do dinh

huynh quang tuang ddi dugc sir dung de tfnh Trong trudng hgp nay nang lugng

kfch hoat E = 11,5 meV

Nhu v^y nang lugng kfch hoat nhiet ciia donor trong chuyen ddi birc xa bude

sdng 372 nm cd the danh gia bang gia tri trung binh ciia hai gia tri tren E =12,1± 0,7 meV

Hinh 17: Sir phu thuoc cudng do dinh vao nhiet do cua Sn02: Sb

4 at.% -7phut - 410 "C kfch thfch tai bude song 310 nm

3.4 Tinh chat hap thu va truyen qua

3.4.1 Phd truyen qua

Phd truyen qua cua mang Sn02 khong pha tap dugc chi ra tren hinh 18 Cd the nhan tha'y do truyen qua ciia mang la kha Idn (khoang 90% d khoang bude sdng 600 nm -^900 nm) Gia tri nay cd the so sanh vdi cac ket qua da cong bo ciia cac tac gia [7,8] nhu da neu trong phan tdng quan ve tfnh chat hap thu cua Sn02

100

90

80 70- 60-

Hinh 19: Phd tmyen qua cua SnO^: Sb 1 at.% -3 phut - 410 "C

Tren hinh 19 la phd truyen qua ciia mang SnOs: Sb 1 at.% phun trong 3 phiit

d nhiet do de 410 "C Phd truyen qua nay cho thay khi pha tap Sb vao thi do truyen qua cua mang giam, ngudng hap thu khong quan sat dugc mot each ro net nhu phd truyen qua cua mang Sn02 khong pha tap Dieu nay phu hgp vdi hien tugng mang ddi sang mau nau vang khi mang cd pha tap Sb Cung nhu cac ket qua cong bo trong cac tai lieu [16,17,18] do truyen qua ciia cac mang Sn02: Sb giam theo su

tang ndng do tap va dp day ciia mang Tuy nhien chiing toi khong khao sat dugc

viing phd truyen qua d mien hdng ngoai xa de so sanh su thay ddi ciia cue dai phd

Iruycn qua theo ndng do tap chit

10phut-nhietdode410"C Tren hinh 20 la phd truyen qua cua mang SnOs: F 4 at.% trong 10 phiit d nhiet do de 410 "C So sanh vdi phd truyen qua cua mang Sn02: Sb ta thay do truyen qua cua mang SnOs: F la Idn hon rat nhieu Quan sat bang mdt thudng, ta thay mang Sn02: F trong suot Dieu dd dugc the hien d gia tri do truyen qua ciia mang trong mien kha kien la vao co 85% tuong duong vdi ket qua dat dugc ciia tai lieu [19]

He sd truyen qua va hap thu ciia cac mang phu thuoc vao do day ciia mang Tren hinh 21 la sir phu thugc cua he sd truyen qua vao do day ciia mang Sn02 : Sb

tai cac bude sdng X = 500 nm va X = 800 nm Sir phu thugc ciia he sd truyen qua T

vao do dSy mang (d) tuan theo qui luat Bouger - Lambert:

T = exp(- ad) (4)

TiJr su phu thuoc nay he sd hap thu tai cac bude sdng X = 500 nm va ^ = 800

Hinh 21 Do thi sir phu thuoc ciia he sd

truyen qua vao do day ciia mang Sn02: Sb

l:X, = 500nm 2; A, = 800nm

400 500 600 700

Bude song (nm)

Hinh 22 Phd hap thu cua mang Sn02: Sb

Tren hinh 22 la cac phd hap thu ciia mang Sn02: Sb cac phd nay deu cd dinh d viing cue tim Ban chat ciia cac dinh nay lien quan den sir hap thu be mat bdi vi nang lugng ciia cac dinh nay luon cao han nang lugng viing cam cua Sn02:

Sb Nghien ciiu ky hon ve nang lugng cac dinh nay cho thay vi tri dinh hap thu Ehi phu thugc vao do day ciia mang (hinh 23)