Tiêu chuẩn nay áp dụng đối với quá trình tạo các lớp phủ kim loại và các lớp phủ vô cơ bằng phương pháp điện hóa, phương pháp hóa học, phương pháp ôxy hóa anôt, phương pháp nhiệt và phương pháp mạ phun. Quy định các yêu cầu chung về an toàn đố với tất cả các giai đoạn của quá trình tạo lớp phủ.
Trang 1TIÊU CHU N VI T NAMẨ Ệ Nhóm T
Tiêu chu n nay áp d ng đ i v i quá trình t o các l p ph kim lo i vàẩ ụ ố ớ ạ ớ ủ ạ các l p ph vô c b ng phớ ủ ơ ằ ương pháp đi n hóa, phệ ương pháp hóa h c,ọ
phương pháp ôxy hóa anôt, phương pháp nhi t và phệ ương pháp m phun.ạ
Tiêu chu n này quy đ nh các yêu c u chung v an toàn đ v i t t c cácẩ ị ầ ề ố ớ ấ ả giai đo n c a quá trình t o l p ph ạ ủ ạ ớ ủ
1 QUY Đ NH CHUNGỊ
1.1 Quá trình t o các l p ph th c hi n theo yêu c u c a tiêu chu n này vàạ ớ ủ ự ệ ầ ủ ẩ TCVN 228978, đ ng th i ph i tuân theo các quy đ nh hi n hành có liên quan.ồ ờ ả ị ệ
1.2 Quá trình t o các l p ph c n đ m b o :ạ ớ ủ ầ ả ả
Bao kín các quá trình phát sinh các y u t nguy hi m, có h i ;ế ố ể ạ
C khí hóa và t đ ng hóa m c đ cao các khâu lao đ ng b ng tay ;ơ ự ộ ở ứ ộ ộ ằThay th các ch t đ c và ch t d cháy b ng các ch t ít đ c, không đ cế ấ ộ ấ ễ ằ ấ ộ ộ
và khó cháy
1.3 Các thi t b s d ng trong quá trình t o l p ph theo đúng yêu c u c aế ị ử ụ ạ ớ ủ ầ ủ TCVN 229078
2 YÊU C U Đ I V I QUÁ TRÌNH CÔNG NGHẦ Ố Ớ Ệ
2.1. Các y u t v an toàn c n th c hi n khi ;ế ố ề ầ ự ệChu n b b m t chi ti t trẩ ị ề ặ ế ước khi ph ;ủChu n b hóa ch t và dung d ch ;ẩ ị ấ ị
Ti n hành t o l p ph ;ế ạ ớ ủGia công l p ph ớ ủ
T O CÁC L P PH KIM LO IẠ Ớ Ủ Ạ
VÀ CÁC L P PH VÔ CỚ Ủ Ơ TCVN 314979 Yêu c u chung v an toànầ ề
Metal and inorganic coating Có hi u l c t ệ ự ừ
General safety requirements 1.1.1981
Trang 22.2. Khi s d ng d ng c mài ph i tuân theo QPVN 1077 “Quy ph mử ụ ụ ụ ả ạ
t m th i v k thu t an toàn các xí nghi p c khí”.ạ ờ ề ỹ ậ ệ ơ
2.3. Các bu ng phun h t và phun cát l n nồ ạ ẫ ướ ầc c n đ m b o C khí hóaả ả ơ các quá trình n p và tháo h t trên các thi t b làm s ch, cũng nh vi c đóngạ ạ ế ị ạ ư ệ
m không khí nén, cát bùn; khóa liên đ ng thi t b kh i đ ng v i thi t b ch tở ộ ế ị ở ộ ớ ế ị ấ
li u;ệ
Vi c m c a bu ng làm s ch b ng th y l c ph i liên đ ng v i s v nệ ở ử ồ ạ ằ ủ ự ả ộ ớ ự ậ hành c a b m cao áp.ủ ơ
Không cho phép s d ng cát th ch anh khô đ làm s ch chi ti t.ử ụ ạ ể ạ ế
2.4. Các máy đánh bóng, máy mài ph i có t m ch n b o v và thi t bả ấ ắ ả ệ ế ị hút c c b liên đ ng v i c c u m máy.ụ ộ ộ ớ ơ ấ ở
Không cho phép s d ng các đá mài g m nhi u đĩa mài đử ụ ồ ề ược ch t oế ạ
t các v t li u khác nhau đ đánh bóng chi ti t. Không cho phép thay ho cừ ậ ệ ể ế ặ
đi u ch nh bánh mài trong khi máy đang ch y.ề ỉ ạ
2.5. Ch đỉ ược ti n hành làm s ch và s a ch a thi t b còn ch a c nế ạ ử ữ ế ị ứ ặ dung môi h u c , sau khi đã kh hoàn toàn h i dung môi đó b ng phữ ơ ử ơ ằ ương th iổ không khí ho c h i. Khi th i c n ph i cho thi t b thông gió ho t đ ng đặ ơ ổ ầ ả ế ị ạ ộ ể ngăn ng a s ô nhi m h i dung môi h u c trong môi trừ ự ễ ơ ữ ơ ường không khí c aủ phòng làm vi c.ệ
2.6. Các gi đ ng và móc treo đ x p d chi ti t khi t y axit ph i cóỏ ự ể ế ỡ ế ẩ ả tính ch u axit. Đ gi m s thoát hydrô và khí đ c, khi t y axit các chi ti t kimị ể ả ự ộ ẩ ế
lo i đenc n ph i cho thêm vào axit m t vài ch t c ch ạ ầ ả ộ ấ ứ ế
2.7. Khi thi t b siêu âm đang làm vi c, c n có bi n pháp đ h n ch sế ị ệ ầ ệ ể ạ ế ự
ti p xúc tr c ti p c a công nhân v i ch t l ng đang s d ng, d ng c siêu âmế ự ế ủ ớ ấ ỏ ử ụ ụ ụ
và chi ti t gia công.ế
2.8. Khi pha ch dung d ch t h n h p axit ph i pha theo th t tăngế ị ừ ỗ ợ ả ứ ự
d n c a n ng đ axit. Khi pha loãng axit, ch đầ ủ ồ ộ ỉ ược rót axit vào nướ ạc l nh theo dòng nh , đ ng th i ph i khu y tr n.ỏ ồ ờ ả ấ ộ
Vi c hòa tan ki m và mu i xianua trong s n xu t hàng lo t l n c nệ ề ố ả ấ ạ ớ ầ
ph i ti n hành trên các thi t b đã đả ế ế ị ượ ơc c khí hóa
2.9. Không được đ anhydrit crômic ti p xúc v i axit axetic rể ế ớ ượu, d uầ
h a và các ch t l ng d cháy khác.ỏ ấ ỏ ễ
2.10. Các dung d ch có ch a ch t đ c ph i đị ứ ấ ộ ả ược kh đ c. Đ xác đ nhử ộ ể ị
hi u qu c a s trung hòa và kh đ c c n ph i ti n hành b ng phệ ả ủ ự ử ộ ầ ả ế ằ ương pháp phân tích
Trang 32.11. Trước khi có thêm ki m vào b ôxy hóa dung d ch đi n ly ph iề ể ị ệ ả
được làm ngu i đ n nhi t đ không qua 100ộ ế ệ ộ 0C
Trong khi đi u ch dung d ch và rót dung d ch vào b ôxy hóa, đ đề ế ị ị ể ể ề phòng dung d ch b n ra ngoài ph i s d ng các d ng c chuyên dùng (cácị ắ ả ử ụ ụ ụ thùng xách có đ c l đ hòa tan ki m, các ng d n nụ ỗ ể ề ố ẫ ước nóng đ t đ n đáyặ ế
b ).ể
2.12. Các b ph t phát hóa nhi t và ôxy hóa ph i có b đi u ch nh nhi tể ố ệ ả ộ ề ỉ ệ
đ nung c a b ộ ủ ể
2.13. Kim lo i cho thêm vào b ch a kim lo i nóng ch y đ nhúng chiạ ể ứ ạ ả ể
ti t, ph i đế ả ược làm khô và nung nóng đ n nhi t đ 70 – 80ế ệ ộ 0C
2.14. Khi x p vào ho c l y ra kh i b nh ng chi ti t có kích thế ặ ấ ỏ ể ữ ế ướ ớ c l n
và n ng trên 200kg c n ph i s d ng thi t b nâng h (c n tr c, palăng đi n).ặ ầ ả ử ụ ế ị ạ ầ ụ ệ
2.15. Vi c làm s ch các thi t b , thanh, công t c, móc treo anôt, anôtệ ạ ế ị ắ
c n ph i ti n hành b ng phầ ả ế ằ ương pháp ướt
2.16. Ph i s d ng các d ng c chuyên dùng đ l y chi ti t ra kh i b ả ử ụ ụ ụ ể ấ ế ỏ ể
3 YÊU C U Đ I V I CÁC GIAN S N XU TẦ Ố Ớ Ả Ấ
3.1. Các gian s n xu t ph i tuân theo yêu c u c a quy ph m k lu t anả ấ ả ầ ủ ạ ỹ ậ toàn trong xây d ng.ự
3.2. Trong quá trình t o các l p ph , m c đ c a các y u t nguy hi mạ ớ ủ ứ ộ ủ ế ố ể
và đ c h i trong các gian s n xu t, n i làm vi c không độ ạ ả ấ ơ ệ ược vượt quá tr sị ố cho phép trong quy đ nh v v sinh thi t k các xí nghi p công nghi p.ị ề ệ ế ế ệ ệ
3.3. Các thi t b đ chu n b dung d ch, các b ch a, máy mài, máy đánhế ị ể ẩ ị ị ể ứ bóng và thi t b khác b trí trong gian s n xu t, khi làm vi c có th i ra cácế ị ố ả ấ ệ ả
ch t nguy hi m, đ c h i c n ph i có thi t b hút c c b ấ ể ộ ạ ầ ả ế ị ụ ộ
3.4. Không cho phép n i các ng d n khí th i c a thi t b hút c c b tổ ố ẫ ả ủ ế ị ụ ộ ừ các b ch a xianua, các b kh d u m b ng các ch t dung môi h u c , cácể ứ ể ử ầ ỡ ằ ấ ữ ơ máy mài, máy đánh bóng vào cùng m t h th ng.ộ ệ ố
3.5. Các gian làm vi c và các ng d n khí c a thi t b hút c c b ph iệ ố ẫ ủ ế ị ụ ộ ả
có h th ng l c b i đ lệ ố ọ ụ ể ượng b i l l ng trong không khí và lụ ơ ử ượng b i l ngụ ắ
đ ng không th t o thành h n h p b i khi n có th tích l n h n 1% th tíchọ ể ạ ỗ ợ ụ ổ ể ớ ơ ể
c a phòng.ủ
4 YÊU C U V B TRÍ THI T B S N XU TẦ Ề Ố Ế Ị Ả Ấ
Trang 44.1. Vi c b trí thi t b trong các phân xệ ố ế ị ưởng ti n hành công vi c phế ệ ủ
ph i tuân theo QPVN 1077 “Quy ph m t m th i v k thu t an toàn các xíả ạ ạ ờ ề ỹ ậ nghi p c khí”.ệ ơ
4.2. Chi u cao c a các b n đ nh (b tĩnh) ph i đ m b o t 0,75 đ nề ủ ể ổ ị ể ả ả ả ừ ế 0,85 k t sàn thao tác.ể ừ
4.3. Các thi t siêu âm gây ra ti ng n vế ế ồ ượt quá gi i h n cho phép c nớ ạ ầ
ph i cách ly.ả
5 YÊU C U V B O QU N VÀ V N CHUY N HÓA CH TẦ Ề Ả Ả Ậ Ể Ấ
5.1. N i b o qu n hóa ch t ph i có t ho c giá đ ng và ph i đơ ả ả ấ ả ủ ặ ự ả ượ ccung c p các thi t b , ph tùng, phấ ế ị ụ ương ti n b o v cá nhân c n thi t đ sệ ả ệ ầ ế ể ử
d ng an toàn các hóa ch t.ụ ấ
5.2. Hóa ch t ph i đ ng trong các bao bì ho c thùng ch ađ m b o yêuấ ả ự ặ ứ ả ả
c u k thu t và ph i có tài li u hầ ỹ ậ ả ệ ướng d n kèm theo.ẫ
5.3. C n ph i c khí hóa vi c đ vào và rót ra các ch t ăn mòn trongầ ả ơ ệ ổ ấ xitéc, thúng ch a, các bình có dung d ch l n khác.ứ ị ớ
5.4. Vi c v n chuy n hóa ch t ph i ti n hành trong các thùng ch aệ ậ ể ấ ả ế ứ
đ m b o yêu c u k thu t. V n chuy n các chai axit, ki m l ng ph i do 2ả ả ầ ỹ ậ ậ ể ề ỏ ả công nhân ti n hành trên các xe chuyên dùng có đ ng c v i t c đ không quáế ộ ơ ớ ố ộ
5 km/gi ờ
5.5. Các ch t l ng d b t l a, d cháy ph i v n chuy n theo các đấ ỏ ễ ắ ử ễ ả ậ ể ườ ng
ng. N u trong m t ca làm vi c ch s d ng đ n 200 kg m i lo i hóa ch t
l ng này thì đỏ ược phép đ a đ n ch làm vi c b ng các thùng kín, không v ư ế ỗ ệ ằ ỡ
6 YÊU C U Đ I V I CÁN B CÔNG NHÂN VIÊNẦ Ố Ớ Ộ
6.1. Công nhân và cán b k thu t ph i độ ỹ ậ ả ượcki m tra s c kh e trể ứ ỏ ướ ckhi đào t o, ki m tra s c kh e đ nh k và đạ ể ứ ỏ ị ỳ ược hu n luy n v k thu t anấ ệ ề ỹ ậ toàn theo quy đ nh hi n hành.ị ệ
7 YÊU C U VÀ S D NG CÁC PHẦ Ử Ụ ƯƠNG TI N B O V CÁ NHÂNỆ Ả Ệ
Trang 57.1. Các phương ti n b o v cá nhân s d ng trong các quá trình t oệ ả ệ ử ụ ạ
7.5. Nh ng ngữ ười có tham gia vào công vi c chu n b , s d ng ch tệ ẩ ị ử ụ ấ
đi n ly và dung d ch đ u ph i s d ng b t nhão và thu c m b o v da.ệ ị ề ả ử ụ ộ ố ỡ ả ệ
7.6. Khi làm vi c trên các máy phun kim lo i nh t thi t ph i đeo kínhệ ạ ấ ế ả
l c m u đ ch ng tác h i c a tia t ngo i.ọ ầ ể ố ạ ủ ử ạ
8 KI M TRA VI C TH C HI N CÁC YÊU C U V AN TOÀNỂ Ệ Ự Ệ Ầ Ề
8.1. Vi c ki m tra lệ ể ượng b i và ch t đ c trong thành ph n không khíụ ấ ộ ầ
c a vùng làm vi c c n ph i đ nh k ti n hành phân tích m t cách có hủ ệ ầ ả ị ỳ ế ộ ệ
th ng.ố
8.2. Khi thay đ i b t k quy trình công ngh nào (thay th thi t b , thayổ ấ ỳ ệ ế ế ị
đ i ch đ làm vi c, đ a các thành ph n m i vào ch t đi n ly v.v ) đ u ph iổ ế ộ ệ ư ầ ớ ấ ệ ề ả
ti n hành phân tích không khí ngoài đ nh k Trong trế ị ỳ ường h p không khí c aợ ủ vùng làm vi c có ch a ch t đ c vệ ứ ấ ộ ượt quá n ng đ cho phép ph i ng ng làmồ ộ ả ừ
vi c và ti n hành các bi n pháp kh đ c.ệ ế ệ ử ộ
8.3. Vi c ki m tra m c đ n và rung ph i ti n hành theo quy đ nh hi nệ ể ứ ộ ồ ả ế ị ệ hành
8.4. Vi c ki m tra an toàn đi n c a các thi t b ph i tuân theo quy lu tệ ể ệ ủ ế ị ả ậ
hi n hành v thi t k , ch t o, v n hành và k thu t an toàn các thi t b đi n.ệ ề ế ế ế ạ ậ ỹ ậ ế ị ệ
Trang 7CÁC Y U T LÝ HÓA H C H I NGUY HI M VÀ TRONG QUÁ TRÌNH PHẾ Ố Ọ Ạ Ể Ủ
M cứn
ồrungcao
M c đứ ộnguy hi mể
c aủ
đi nápệtrong
và v tậ
li uệcao
M cứsiêuâmcao
M c b cứ ứ
x đi nạ ệ
t , Xửquangánhsángcao
Các y u t lý hóa nguyế ố
+ +++
+ +
Dung d ch natri nitricị
ho c dicrômát.ặ
N ng đ b i kim lo i ồ ộ ụ ạcao
Dung d ch phòng nóng.ị
+
+
+
Trang 84 Đánh bóng dướ ưới n c
+
+
+++
++
Đ ô nhi m h i dungộ ễ ơmôi h u c cao.ữ ơ
Đ ô nhi m h i axit ộ ễ ơsunfuric axitclohydric, axit nit ric, oxy nit caoơ ơ
Đ ô nhi m hydrôflorua ộ ễ
h i axit clohydric, axit ơsunfuric, axit nit ric, oxyt ơnit cao.ơ
+
+
+
+
+
Trang 9gi t axit tung tóe.ọ
Đ ô nhi m h i anhydricộ ễ ơcrômic axit sunfuric,
axitfôtforic, axit clohydric, các ôxy nit cao.ơ
Các gi t dung d ch ki m ọ ị ề
b n tung tóe.ắ
Đ ô nhi m h i axit, ộ ễ ơhidrô florua, hidrô cloruacao, các dung d ch ki m.ị ề
Đ ô nhi m h i axit cao.ộ ễ ơ
Axit xianhydric h p ch tợ ấxianua
H p ch t k m, amôniacợ ấ ẽ
H p ch t k mợ ấ ẽAxit fluoboric
Trang 10H p ch t thi c, đ ô ợ ấ ế ộnhi m h i axit sunfuric ễ ơcao
Đ ô nhi m h i ki m cao,ộ ễ ơ ềcác gi t ki m tung tóeọ ề
H p ch t chì, đ ô nhi mợ ấ ộ ễ
h i axit fluoboric, axitơfluocilicic
H p ch t đ ng, h p ch tợ ấ ồ ợ ấxianua, axit xianhidric
H i và các gi t ki m, ơ ọ ề
ki m tung tóeề
Đ ô nhi m h i axitộ ễ ơsunfuric, axit bôrichydydrôforic axit fluoxilicic cao, các gi t ọ
đi n lyệCác gi t đi n ly tung tóe,ọ ệ
Trang 11++++++++
+
H i axit clohydric, ơamônia
Các gi t mu i b c tung ọ ố ạtóe, h p ch t xianua, h iợ ấ ơaxit xianhidric
H i axit xianhidricơ
AmôniăcAmôniăc
H p ch t xianua axitợ ấxianhidric
H p ch t thi cợ ấ ế
H p ch t thi c ô nhi mợ ấ ế ễ
h i axit caoơ
H p ch t thi c chì, đ ôợ ấ ế ộ nhi m h i axit caoễ ơ
Các gi t mu i b c tung ọ ố ạtóe
Trang 12++
+
ki m caoề
H p ch t xianua.ợ ấ
Đ ô nhi m h i amôniac,ộ ễ ơaxit cao, các gi t đi n lyọ ệtung tóe
H p chát nikenợ
Đ ô nhi m amôniac, h iộ ễ ơaxit cao
Đ ô nhi m amôniac vàộ ễ
h i axit sunfuric caoơ
Đ ô nhi m h i axit ộ ễ ơsunfuric, axit fôtforic, axit oxalic, h i bicrômat, ơamôniac cao
Trang 13
++
+++
+++++++
++
+++
+++++++
Đ ô nhi m h i oxyt k mộ ễ ơ ẽcao
N ng đ b i k m caoồ ộ ụ ẽ
N ng đ b i silic caoồ ộ ụ
N ng đ b i nhôm và b iồ ộ ụ ụoxyt nhôm cao
N ng đ b i kim lo i caoồ ộ ụ ạ
(nt)(nt)(nt)(nt)(nt)(nt)
Đ ô nhi m h i axitộ ễ ơsunfuric cao, mu i thi c.ố ếAxit xianhidric, các h p ợ
ch t cloflatinatấ
+++
+++++++
Trang 14++
B c x ứ ạánh sáng
mu i nitricố
Đ ô nhi m h i h p ch tộ ễ ơ ợ ấcrôm, h i ki m ho cơ ề ặ
hidrôflorua cao
(nt)
Đ ô nhi m h i axit vàộ ễ ơoxyt nit cao ơ
H p ch t crôm các gi tợ ấ ọ
++
++
++
+
Trang 15h p ch t k m caoợ ấ ẽ
Đ ô nhi m h p ch t k mộ ễ ợ ấ ẽ, hydrôflorua cao, Mu iốaxit nit và axit nitruaơCác gi t d u nóng tung ọ ầtóe. Đ ô nhi m h i d uộ ễ ơ ầcao
Ký hi u quy ệ ước : “+” y u t cóế ố
““ y u t không cóế ố
PH L C 2 TCVN 314979Ụ Ụ
Các bi n pháp và phệ ương tiên c b n đ m b o an toàn lao đ ng trong quá trình ph ơ ả ả ả ộ ủ
Các bi n pháp b o đ m an toàn lao đ ngệ ả ả ộ
C khíơ S d ngử ụ B o đ m ả ả S d ng ử ụ S d ng ử ụ Đ m b o ả ả S d ng ử ụ
Trang 16ngăn ch nặ
s truy nự ề âm
th , kính b o v ,ở ả ệgăng tay d t kimệ
Trang 17Qu n áo b o h ầ ả ộlao đ ng b ng ộ ằ
v i s i bông, bao ả ợtay, bình th , ởkính b o vả ệ
Qu n áo b o h laoầ ả ộ
đ ng b ng v i s i ộ ằ ả ợbông, t p d t m ạ ề ẩcau su,găng tay cao su
Qu n áo b o h laoầ ả ộ
đ ng b ng v i s i ộ ằ ả ợbông, bao tay, kính
b o v ả ệ (nt)
Trang 18su, kính b o v ả ệ
Qu n áo b o h laoầ ả ộ
đ ng b ng v i s i ộ ằ ả ợbông, t p d t m ạ ề ẩcau su, ng cao su, ủgăng tay cao su
Qu n áo b o h laoầ ả ộ
đ ng b ng v i s i ộ ằ ả ợbông, t p d t m ạ ề ẩcau su, găng tay cao su
Qu n áo t m ch t ầ ẩ ấ
ch u axit, t p d ị ạ ề
t m cao su, ng caoẩ ủ
su, bao tay ch u axitị
Trang 19++
0
++
++
++
00
++
++
Găng tay cao su, kính b o v ả ệ
(nt) (nt)
Găng tay cao su, kính b o v ả ệ
Găng tay cao su, kính b o v ả ệ (nt)
Trang 20ủ
b o v ả ệ (nt)
Áo khoác ngoài
b ng v i ch u axit ằ ả ị
t p d t m cao su,ạ ề ẩ găng tay cao su,
ng cao su, kính
ủ
b o v ả ệ
Qu n áo dùng cho ầcông nhân trong các phân xưởng
Trang 210
0
++
+
+
+
+
+
+
++
+
+
0
00
+
+
+
+
+
+
+
+
Qu n áo b o h ầ ả ộlapođ ng b ng s iộ ằ ợ bông, bao tay
b ng s i t ng ằ ợ ổ
h p, m t n b o ợ ặ ạ ả
v ệ (nt)
Qu n áo b o h ầ ả ộlao đ ng b ng s i ộ ằ ợbông, ng, găng ủtay. kính b o v , ả ệbình th ở
Trang 22+
++
+
+
+
0++
Qu n áo b o h ầ ả ộlao đ ng b ng s i ộ ằ ợbông, ng, bao ủtay. kính b o v , ả ệbình th ở
Áo khoác ngoài
b ng v i ch u axit,ằ ả ị
t p d t m cao su,ạ ề ẩ găng tay và ng ủcao su
(nt) (nt)
Trang 23+
+
+
Qu n áo dùng cho ầcông nhân trong các phân xưởng nóng, bao tay, ngủ da
Qu n áo b o h ầ ả ộlao đ ng b ng s i ộ ằ ợbông, t p d , ng ạ ề ủcao su, găng tay cao su.
Qu n áo b ng v iầ ằ ả
ch u axit và k m, ị ềgăng tay, t p d , ạ ề
ng cao su.
ủ
Trang 24Ký hi u quy ệ ướ : "+" Nh t thi t ph i có bi n pháp đã ch d n đ đ m b o an toàn c ấ ế ả ệ ỉ ẫ ể ả ả
"0" Các bi n pháp c n làm.ệ ầ "" Bi n pháp ch d n không c n thi t ph i th c hi n.ệ ỉ ẫ ầ ế ả ự ệ