Dưới đây là bài thuyết trình Quang học: Kính hiển vi đường hầm quét STM, bài thuyết trình giới thiệu tới các bạn những nội dung về quá trình lịch sử, nguyên tắc hoạt động, cấu tạo, ưu - nhược điểm, ứng dụng của kính hiển vi đường hầm quét STM.
Trang 1Kính hiển vi đường hầm quét
The Scanning Tunneling Microscope
HV: LÊ PHÚC QUÝ
TRẦN THỊ THỦY
M THỊ HỒNG HẠNH CBHD: TS LÊ VŨ TUẤN HÙNG
ĐẠI HỌC QUỐC GIA THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH
C KHOA HỌC TỰ NHIÊN VẬT LÝ ỨNG DỤNG
CHUYÊN NGHÀNH: QUANG HỌC
Trang 2Nội dung trình bày:
1.QÚA TRÌNH LỊCH SỬ.
2.NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG 2.CẤU TẠO CỦA STM
3.ƯU ĐiỂM - NHƯỢC ĐiỂM 4.ỨNG DỤNG
Trang 31.QÚA TRÌNH LỊCH SỬ.
Năm 1972 : Yuong là người đầu tiên sử dụng thiết bị
không tiếp xúc topogarfiner(phát triển từ năm 1965
và 1971) để đo địa hình vi mô của bề mặt kim loại.
Không tạo được ảnh
ở chế độ tunnel
rung
Russell D Young Ảnh độ phân giải thấp
Trang 4Gerd Binning v à
Heinrich Rohner Chống rung
STM
Nhận được bức ảnh đầu tiên với
độ phân giải nguyên tử
Nobel vật lý
năm 1986
Năm 1982 : IBM Zürich, Thụy Sĩ
Trang 52.NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG
Dựa vào hiệu ứng xuyên đường hầm lượng tử của electron
Trang 6Hiệu ứng xuyên hầm lượng tử của electron
Khi một vật gặp một rào thế mà nó không có đủ năng lượng đi qua rào thế thì nó luôn bị phản xạ lại.
Trong cơ học cổ điển
p
x 2
2
Năng lượng của một electron chuyển động
trong một U tiềm năng (x)
Điện tử có lực khác không khi E> U (x),
Trang 7()
Theo cơ lương tử:
Hiệu ứng xuyên hầm lượng tử của electron
Trang 8Trong đó:
d: khoảng cách giữa đầu dò và mẫuФ: chiều cao hố thế
m: khối lượng e
I giảm theo hệ số 10 khi khoảng cách tăng 1 Ao
I co giá trị từ 10pA – 1nA ( Ф cỡ vài eV,d cỡ 0,5 nm)
Khi electron vượt đường ngầm ra ngoài tạo một dòng điện nhỏ được đầu dò ghi lại sau đó chuyển về máy tính ghi nhận tín hiệu
và dựng lại bề mặt mẫu.
Hiệu ứng xuyên hầm lượng tử của electron
Trang 9Có hai cơ chế hoạt động chính
Dòng không đổi
Độ cao không đổi
Trang 10- Độ cao đầu dò thay đổi sao cho dòng xuyên ngầm là const ghi nhận sự thayđổi của đầu dò
Dòng không đổi
Trang 11- Độ cao của mẫu được giử nguyên , sự thay đổi
ở bề mặt mẫu thay đổi ghi theo dạng tín hịêu điện
Độ cao không đổi
Trang 12Kiểu quét chiều cao không đổi
Tốc độ nhanh hơn vì không điều chỉnh trục z nhưng chỉ giới hạn ở mẫu có bề mặt phẳng
Kiểu quét dòng không đổi:
Quét chậm vì bộ phận hồi
tiếp phải điều chỉnh khoảng
cách giữa đầu dò và mẫu
Trang 13Cấu tạo chính của STM gồm :
3.CẤU TẠO CỦA STM
Trang 14Đầu dò
Hình ảnh sắc nét phụ thuộc vào độ sắc nhọn của đầu dò
Tip được chế tạo bằng cắt cơ học, mài bóng và ngâm vào dung dịch khắc (kiềm)
Bán kính của tip nhỏ hơn 1000 Å
Tip thường được làm từ W (bền chắc nhưng dần bị oxy hóa) hoặc Pt/Ir (trơ hóa học trong không khí và trong dung môi).
Trang 15Bệ đặt mẫu
Trang 16Hệ chống rung
Yêu cầu bắt buộc là biên dộ dao động không mong muốn phải
nhỏ hơn 0.1 A0 đđể có thể tạo ảnh nguyên tử
•Rung động của tòa nhà, đi lại của con người, âm thanh … ảnh hưởng đến độ chính xác của STM
Hệ chống rung làm việc trong môi
trường không khí
1 Hệ chống rung thủy lực
2 Hệ chống rung bằng lò xo
Khi STM hoạt động trong
không kh í không yêu cầu độ
phân giải cao
Trang 17W-đầu dò bằng tungsten A-giá đỡ đầu dò
PP- tấm áp điện F- chân đế
D- tấm điện môi MP-tấm kim loại M- nam châm
Hệ chống rung trên đệm từ chứa Heli lỏng
Trong chân khơng cao
•Đối với STM hoạt động trong chân khơng thi hệ thống chống rung phải yêu cầu cao, khi ấy sử dụng chống rung đặc biệt
Hệ chống rung
Trang 19Hệ điều khiển truy hồi.
Nhiệm vụ giữ khoảng cách tip- mẫu không (chế độ cao không
đổi ) hoặc giữ cho dòng tunnel giữa tip-mẫu không đổi(chế độ
dòng không đổi)
Dòng tunnel được chuyển thành điện áp và so sánh với giá trị
chuẩn tạo tín hiệu vi sai, tín hiệu này lại được chuyển đổi thành điện áp để điều khiển vị trí gốm áp điện theo hướng z (để tạo hiệu chỉnh cho độ cao không đổi hoặc dòng không đổi)
Nhiệm vụ điều chỉnh vị trí gốm áp điện tín hiệu vi sai này
cũng được lưu giữ như hàm của x, y, z
Trang 20•Bộ áp điện Là trung tâm vận hành Tip của STM
Giúp mũi dò di chuyển tinh tế hơn
có 2 loại áp điện
Trang 21HOẠT ĐỘNG
Chất áp điện giãn nở dọc theo trục của nó khi điện thế đặt vào cùng chiều phân cực của chất áp điện (V +) Khi đó chất áp điện
co lại theo phương vuông góc với trục.
Ngược lại chất áp điện sẽ co lại dọc theo trục của nó khi điện thế đặt vào ngược chiều phân cưc của chất áp điện (V -) Khi đó chất áp điện giãn nở theo phương vuông góc với trục.
•Bộ áp điện
Trang 22Tiến hành đo
- Kiểm tra các thiết đặt,kết nối.
-Đo thử mẫu tiêu chuẩn để cân chỉnh máy
-Chống rung, va đập trong quá trình đo
-Chú ý sự biến đổi nhiệt độ trong quá trình đo
-Chuẩn bị đầu dò
-Chuẩn bị mẫu
Trang 23ỨNG DỤNG
1 Định hướng nguyên tử
- STM được ứng dụng như một đầu dò khoa học bề mặt nghiên cứu tínhchất bề mặt của hàng loạt các vật liệu như cấu trúc nguyên tử của GaAs(110), dựng lại cấu trúc bề mặt GE-Si(111), Si(100), platin, germani,…
- STM cũng được sử dụng để nghiên cứu sự hấp phụ như sự sắp xếp cácnguyên tử lưu huỳnh trên bề mặt Mo(001) ở áp suất khí quyển, sự hấp phụ Gatrên Si(100), B trên Si(111).
Hình cấu trúc bề mặt của Si(111) sử dụng ATM năn
1982
Trang 24Các dấu vết siêu dẫn vẫn hiện diện bên trong chất liệu bằng gốm
Trang 25ỨNG DỤNG
3 Điện hóa
- STM không chỉ thực hiện trong không khí, chân không, chất lỏng mà còn mở rộng ứng dụng cho điện hóa và nghiên cứu ăn mòn.
4 Chế tạo cấu trúc kích thước nano
- Một ứng dụng đáng kể của STM là thục hiện gia công địa phương bề mặt Ứng dụng nổi bật là khắc nano, lắng đọng kim loại, tẩm thực vật liệu bán dẫn, chế tạo vi mô và lưu trữ
số liệu.
Ảnh STM chữ “IBM” được tạo trên bề mặt Niken Nguyên tử xenon ( lõm) trên bề mặt
Ni(110)
Trang 26ỨNG DỤNG
5 Nghiên cứu vật liệu sinh học
- STM có độ phân giải cao vì vậy để nghiên cứu vật liệu sinh học là rất hấpdẫn Nhiều nghiên cứu trên phân tử AND đã hoàn thành với những thành côngđáng khích lệ Tuy nhiên đây là một nghiên cứu mới vì vậy muốn tiến xa hơnnữa đòi hỏi một sự hiểu biết sâu sắc hơn về cơ chế tương phản và dẫn điện
6 Phép đo địa hình
- STM cũng sử dụng như một công cụ đo lường
STM được ứng dụng cho việc xây dựng bản đồ
địa hình của bề mặt cách tử và bề mặt mài bóng
Xây dựng những nguyên
tử Sắt riêng lẻ trên bề măt kim loại đồng
Trang 27ƯU- NHƯỢC ĐIỂM STM
ƯU ĐIỂM
• STM là một kỹ thuật ghi ảnh hình thái học và cấu trúc (cấu trúc vật lý, cấu trúcđiện từ ) bề mặt với độ phân giải rất cao và cho ảnh chất lượng cao
• STM không đòi hỏi việc phá hủy mẫu như kính hiển vi điện tử truyền qua (thiết
bị chụp ảnh với độ phân giải tương đương)
• STM còn cho phép tạo ra các phép thao tác trên bề mặt cho quá trình chế tạo
• STM có thể hoạt động trong môi trường chân không,không khí,dầu,nước,dungdịch dẫn điện
NHƯỢC ĐIỂM
• Mẫu sử dụng trong STM phải là mẫu dẫn điện hoặc bán dẫn
• Việc đo đạc STM đòi hỏi bề mặt mẫu siêu sạch và việc chống rung là một đòi hỏilớn
• Tốc độ ghi ảnh trong STM thấp
• STM chỉ giới hạn cho cấu trúc bề mặt
• Thời gian thực hiện thí nghiệm dài
• Đầu dò có độ bền không cao
Trang 28XIN CHÂN THÀNH CẢM ƠN!!!