Dự án chế tạo cửa thông minh

Tên dự án dự thiCHẾ TẠO CỬA SỔ THÔNG MINH TỰ ĐIỀU CHỈNH ĐỘ TRUYỀN QUA ÁNH SÁNG TRÊN CƠ SỞ HIỆU ỨNG ĐIỆN SẮC Lĩnh vực dự thi VẬT LÍ – KHOA HỌC VẬT LIỆU... Hình 1: Mô hình cấu tạo tấm kính

Tên dự án dự thi

CHẾ TẠO CỬA SỔ THÔNG MINH TỰ ĐIỀU CHỈNH ĐỘ TRUYỀN QUA

ÁNH SÁNG TRÊN CƠ SỞ HIỆU ỨNG ĐIỆN SẮC

Lĩnh vực dự thi

VẬT LÍ – KHOA HỌC VẬT LIỆU

MỤC LỤC

2 Mục lục 2

3 Lời cảm ơn 3

4 Tóm tắt nội dung dự án 4

5 Tổng quan về vấn đề nghiên cứu, lí do chọn dự án và điểm mới, sáng tạo của dự án 5

6 Quá trình nghiên cứu và kết quả của dự án 12

7 Kết luận 25

8 Tài liệu tham khảo 26

4 TÓM TẮT NỘI DUNG DỰ ÁN.

Với sự phát triển của kinh tế, nhu cầu của con người ngày càng cao tỷ lệ thuậnvới việc tiêu dùng năng lượng, trong đó năng lượng dùng để chiếu sáng đóng gópmột phần đáng kể Tại nhiều nơi, đặc biệt là các văn phòng, công xưởng, kể cả vàoban ngày người ta vẫn dùng đèn điện để chiếu sáng Đây là sự lãng phí rất lớn, cầnthay đổi để tiết kiệm năng lượng, xây dựng nên các toà nhà xanh phù hợp hơn vớimôi trường của chúng ta

Một tòa nhà, công xưởng có mái hoặc cửa sổ (sau đây gọi chung là cửa sổ) cóthể thay đổi độ trong suốt để điều chỉnh lượng ánh sáng mặt trời chiếu vào phòngmột cách tự động sao cho trong phòng luôn được chiếu sáng thích hợp với nhu cầucủa những người trong phòng đến nay vẫn chỉ có trong chí tưởng tượng của chúng

ta Tuy nhiên, qua tìm hiểu và nghiên cứu, nhóm đã tìm thấy nhiều hiệu ứng vật lýtrong đó có hiệu ứng điện sắc có thể biến tòa như như thế thành hiện thực Hiệu ứngnày không những làm thay đổi độ truyền qua của cửa kính mà còn tiêu tốn rất ít điệnnăng để tạo ra sự thay đổi này

Hiệu ứng điện sắc dựa trên phương trình điện hóa thuận nghịch, có thể đượcđiều khiển bằng điện trường ngoài Nếu phản ứng được thúc đẩy theo chiều thuậnthì độ trong suốt của vật liệu tăng và ngược lại Chúng ta không cần tiêu tốn nănglượng để giữ nguyên độ trong suốt mà chỉ tiêu tốn năng lượng khi cần điều chỉnh

Hình 1: Mô hình cấu tạo tấm kính điện sắc

Trong dự án này nhóm đã tiến hành các nghiên cứu, thử nghiệm sau:

 Nghiên cứu quá trình lắng đọng của von-fram oxit lên bề mặt thủy tinh và điện cực trong suốt ITO bằng phương pháp bốc bay trong chân không,

 khảo sát sự kết tinh, hình thái bề mặt Và tính chất điện sắc của màng mỏng tạo

được



 Ghép các thành phần trên lại tạo thành kính điện sắc cấu trúc Hình 1

để tạo ra một kính thông minh hoàn chỉnh Thử nghiệm sự thay đổi mầu sắc của kính

 Xây dựng mô hình nhà sử dụng các tấm kính điện sắc được chế tạo.



 Viết các phần mềm để điều khiển quá trình điện sắc một các tự động.



5. TỔNG QUAN VỀ VẪN ĐỀ NGHIÊN CỨU, LÍ DO CHỌN DỰ ÁN

VÀ ĐIỂM MỚI, SÁNG TẠO CỦA DỰ ÁN

Trong mục này, chúng tôi trình bầy một số tính chất điển hình của WO3 liênquan đến nội dung nghiên cứu và tình hình nghiên cứu vật liệu này để có cái nhìnthổng quan về thực trạng và triển vọng nghiên cứu tiếp theo

5.1 TỔNG QUAN VÈ VẤN ĐỀ NGHIÊN CỨU

F), không tan trong nước, và tan ít trong HF, do đó đây là một vật liệu khá bền cho các ứng dụng

có xu hướng hình thành các pha bất hợp thức, tức là các màng tồn tại vị trí

khuyết oxy và biểu diễn dưới dạng WO3-y (y là hệ số khuyết oxy) Do đó hợp thứcnày mang cấu trúc bát diện chung cạnh như WO2 [1, 2].

Hình 3: A) cấu trúc của WO3 và B) WO2

Sự sắp xếp này dẫn đến sự thay đổi góc liên kết độ dài liên kết Vì vậy trongtinh thể xuất hiện những sai hỏng và hình thành những kênh ngầm với thiết diện lụcgiác hay ngũ giác, tạo ra khoảng trống cho các ion kích thước nhỏ (Na+,Li+…) xâmnhập và bắt giữ trong màng dẫn đến hiệu ứng điện sắc [1, 2]

Pha Dạng cấu trúc tinh thể

Nhiệt độ (0C)

Bảng 1: Một số pha cấu trúc của W03[2]

Vật liệu khối WO3 có dạng cấu trúc tinh thể khá phức tạp, các cấu trúc này phụthuộc nhiều vào quy trình chế tạo và nhiệt độ ủ được minh họa bảng 2

b Một số dạng hợp thức của oxit Vonfram

Các hợp thức khác của Vonfram hình thành có xu hướng tuân theo trật tự chuỗi :WmO3m-1 và WmO3m-2 (m=1,2,3…) ngoại trừ 2 pha: W18O49 và W40O116 Khi đó,

khảo sát sự thay đổi màu theo tỉ lệ nguyên tử Oxy và Vonfram, kết quả được thểhiện như ở hình 4 [3]:

Hình 4: Thang màu tỉ lệ O/W Đối với vật liệu màng, sự thay đổi màu không dễ thay đổi như vật liệu khối do

độ dày màng nhỏ dẫn đến khả năng hấp thụ quang nhỏ Màng WOx nếu được chếtạo bằng phương pháp phún xạ thì khi hợp thức của màng x < 2,5 , màng có ánh kim

và phản xạ gần như kim loại, khi x > 2,6 màng cho ánh sáng truyền qua rất tốt, nếuhợp thức 2,5 < x <2,6 thì màng có màu xanh da trời [2]

Hình 5: Giản đồ cấu trúc vùng năng lượng của WO3 (bên phải) và

WO3-x (bên trái) [3,4]

Trong cấu trúc mạng lý tưởng góc liên kết W-O-W là 1800 Tuy nhiên màng chếtạo có hợp thức chưa tốt, tồn tại cả hai pha WO3 và WO2 Do đó hợp thức nàyđược qui về WO3-y Trong màng xuất hiện các vị trí khuyết Oxy Khi đó, vật liệuhình thành nên cấu trúc bát diện chung cạnh Điều này dẫn đến sự thay đổi độ dài vàgóc liên kết [1, 2, 5]

Vùng hóa trị bao gồm các vùng ứng với quĩ đạo 2s và 2p của O, vùng dẫn ứngquỹ đạo 5d của W Với WO3-x, các điện tử ở vùng hóa trị được lấp đầy, nhưng cácđiện tử ở vùng dẫn còn thiếu Do đó mức Fecmi nằm ở vùng t2g của obitan W5d [5].Green cho rằng chính các điện tử tự do này hấp thụ mạnh ánh sáng ở vùng hồngngoại và ánh sáng đỏ gây nên màu xanh của vật liệu Với WO3, vùng hóa trị có tất cả24e được lấp đầy hoàn toàn còn vùng dẫn trống hoàn toàn Do đó chúng có màuvàng nhạt hoặc không màu Độ rộng vùng cấm nằm trong khoảng (2,6 – 3,25eV) [4].Khi có ion ( như H+) xâm nhập thì nguyên tử H liên kết với O làm thay đổi hợp thức

lượng của WO3 được minh họa trong hình 5

5.1.3 TÍNH CHẤT ĐIỆN SẮC CỦA WO3

Tính chất quang đặc trưng nhất của màng WO3 là tính chất điện sắc Khi màngchưa được tiêm ion và điện tử, màng WO3 có độ truyền qua cao trong vùng khả kiến

điện tử được hỗ trợ bởi điện trường nên tính chất này gợi là tính chất điện sắc

Màng WO3 khi mới chế tạo có màu vàng nhạt, độ truyền qua trong vùng khảkiến cỡ 90% Khi đặt điện trường phân cực âm lên điện cực làm việc WO3, các iontrong chất điện ly được hút vào trong màng, đồng thời để bù trừ điện tích, điện tử từđiện cực trong suốt cũng được tiêm vào Quá trình tiêm các ion và điện tử vào trongmàng WO3 được thể hiện qua phương trình sau [1, 2, 6-9]:

xM+ + xe- + WO3 = MxWO3

thấy, có màu xanh thẫm, độ truyền qua thấp Sự thay đổi tính chất quang này đượckhảo sát bằng cách xác định độ truyền qua, phản xạ trong vùng nhìn thấy và vùnghồng ngoại

Độ truyền qua và phản xạ còn phụ thuộc vào nồng độ các ion được tiêm vàomàng Đặc biệt, độ truyền qua phụ thuộc vào hiệu điện thế phân cực được thể hiệnqua hình sau 6 [1]:

Hình 6: Sự phụ thuộc của độ truyền qua khi thay đổi hiệu điện thế.

Hình 6 là phổ truyền qua khi thay đổi hiệu điện thế Kết quả chỉ ra rằng khi tagiảm dần hiệu điện thế đặt vào mẫu trong một môi trường chất điện ly thì độ truyềnqua của màng giảm dần một cách tương ứng, hiện tượng này thường được gọi là sựnhuộm màu của màng

tiêm vào màng thì những ion này nằm ở vị trí trung tâm perovskit Nhưng đối với chất

thành nhóm OH có khoảng cách bằng dOH và được mô tả như hình 7 [1, 3]

Hình 7 là sự mô tả ion Li+ và H+ khi xâm nhập vào trong mạng tinh thể Các

ion trong chất điện ly xâm nhập vào trong màng thông qua các kênh ngầm kéo theo

sự xâm nhập của điện tử để cân bằng điện tích và gây ra quá trình nhuộm màu [5].

Để giải thích cho quá trình này, người dùng hai cơ chế gồm sự thay đổi cấu trúcvùng năng lượng (đã trình bày trên) và cơ chế chuyển điện tích vùng hóa trị [1, 3]

Cơ chế chuyển điện tích vùng hóa trị với các chuyển mức polaron:

palaron nhỏ

Khi hấp thụ các photon có bước sóng trong vùng nhìn thấy các điện tử dichuyển vào trong mạng tinh thể đi từ nguyên tử này sang nguyên tử khác Đây chính

là quá trình nhuộm màu [2]

Hình 8: Mô tả quá trình sự hấp thụ photon ánh sáng và làm dịch

chuyển điện tử gây ra sự trao đổi hóa trị giữa hai nguyên tử WA và WB

Hình 8 là quá trình hấp thụ photon và sự dịch chuyển điện tử của hai nguyên tử

W nằm gần nhau Khi đảo cực nguồn điện xảy ra quá trình oxy hóa Khi đó W4+,

W5+ bị oxy hóa thành W6+ Đây chính là quá trình tẩy màu Khi đó màng trở lại trạng thái trong suốt ban đầu

5.1.4 TÌNH HÌNH NGHIÊN CỨU HIỆN HIỆN NAY VỀ VẬT LIỆU NÀY

Vật liệu WO3 có tính thay đổi màu sắc đã được phát hiện vào đầu thế kỷ 19.Vào năm 1815, nhà khoa học Thụy Điển Jakob Berzelius đã cho dòng khí hydro quavật liệu khối WO3 nung nóng Sau thí nghiệm, ông thấy nó có màu vàng hoặc xanh.Năm 1824, Wohler cũng thu được kết quả màu vàng trong khối WO3 khi cho hơi Na

đi qua Sự quan tâm về vật liệu này được dấy lên vào năm 1837, khi Wohler khámphá ra ánh kim rực rỡ của LiWO3 Ông cho rằng điều này là do hợp kim kim loại vàđặt ra thuật ngữ “ Tungsten bronzes” (hợp chất Vonfram dạng đồng)

Nửa đầu thế kỷ 20 đã có nhiều thí nghiệm nhằm mô tả cấu trúc, tính chất củaWO3 để tìm ra ứng dụng thiết thực của nó Vào những năm 1950, 1960 hai nhàkhoa học Mott và Sienko đã khám phá ra chuyển pha dẫn điện – cách điện cũng nhưtính siêu dẫn ở nhiệt độ thấp của Vonfram dạng đồng

Năm 1969, Deb đã chỉ ra sự nhuộm màu của oxit Vonfram nguyên nhân là dotrong màng hình thành các tâm màu vì màng oxit Vonfram có khả năng tích trữ ion.Hiện nay, màng WO3 được nhiều phòng thí nghiệm trên thế giới quan tâmnghiên cứu không chỉ vì tính điện sắc của nó mà còn có cả tính quang sắc và tínhlưu trữ ion Chính những điều này mở ra vô vàn những ứng dụng của vật liệu nàynhư: cửa sổ thông minh, đầu dò khí, màn hình hiển thị…

Ở Việt Nam, màng WO3 cũng được các nhà khoa học quan tâm, nghiên cứumột cách sâu rộng Cụ thể: Năm 1988, hướng nghiên cứu tính điện sắc do nhóm TS.Nguyễn Năng Định, TS.Vũ Thị Bích, Phạm Duy Long chế tạo màng oxit

Vonfram bằng phương pháp “ electron beam” với môi trường chất điện ly là

LiClO4/PC với nồng độ 1M Năm 1995, hướng nghiên cứu tính khí sắc nhằm phát hiện khí độc do nhóm nghiên cứu PGS.Nguyễn Văn Nhã, PGS.Nguyễn Thị Bảo Ngọc, PGS.Nguyễn Văn Hùng, TS.Nguyễn Văn Minh triển khai và ứng dụng làm sensor khí Năm 2000, linh kiện điện sắc được nhóm TS.Phạm Duy Long so sánh khả năng quang hóa của màng WO3 được chế tạo bằng các phương pháp khác nhau.Linh kiện điện sắc oxit Vonfram cũng được nhóm PGS.Vũ Thị Bích chế tạo thành công với dung dịch chất điện ly rắn là polymethyl methacrylat (PMMA) và

5.2 LÍ DO NGHIÊN CỨU

Xuất phát từ sự tìm hiểu, phân tích tổng quan và ý tưởng về một sản phẩm hữudụng, dự án đặt mục tiêu nghiên cứu chế tạo màng mỏng WO3 và chế tạo cửa sổđiều khiển ánh sáng thông minh trên cơ sở tính chất điện sắc của màng WO3 đểđiều khiển các nguồn sáng tự nhiên tạo ra sự phù hợp cho con người trong các hoàncảnh khác nhau, giảm thiểu ô nhiễm ánh sáng đối với môi trường Qua đó tiết kiệmđiện năng và góp phần chống sự biến đổi khí hậu

6. QUÁ TRÌNH NGHIÊN CỨU VÀ KẾT QUẢ CỦA DỰ

ÁN 6.1 PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU

Phương pháp nghiên cứu của chúng tôi xuyên suốt đề tài là: kết hợp các nghiên cứu cơ bản trên màng WO3 với nghiên cứu ứng dụng chế tạo cửa sổ thông minh dựa trên hiệu ứng điện sắc của màng và từng bước phát triển sản phẩm.

Để thực hiện được các mục đích và kế hoạch đề ra đó chúng tôi đã tiến hànhchế tạo các màng mỏng WO3 bằng phương pháp bốc bay nhiệt chân không trên hệUnivex 300 tại Trung tâm Khoa học Vật liệu Khảo sát các tính chất của vật liệu thuđược Sau đó thiết kế mô hình cửa sổ và lắp ghép thử nghiệm cửa sổ tự điều chỉnhcường độ ánh sáng

6.1.1 CHẾ TẠO MÀNG WO3 BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY NHIỆT TRÊN HỆ UNIVEX 300

6.1.1.a CẤU TẠO HỆ UNIVEX 300

Hình 9: Cấu tạo hệ bốc bay nhiệt

Cấu tạo của hệ bốc bay nhiệt về cơ bản bao gồm 3 bộ phận chính: Chuông chânkhông, bơm chân không và hệ thống điều khiển Trong đó chuông chân không baogồm: giá gắn mẫu, lò đốt (sợi đốt) nóng hay thuyền điện trở, cảm biến đo chiều dày

và đĩa gắn đế

6.1.1.b NGUYÊN LÍ HOẠT ĐỘNG CỦA HỆ BỐC BAY NHIỆT

Chuông chân không được làm sạch, sau đó bơm chân không được khởi động đểhút chân không của chuông đến áp xuất cỡ 10-6 – 10-5 torr Tiếp đến thuyền điện trởchứa vật liệu cần bay hơi được đốt nóng, nhiệt lượng của nó đủ lớn để bay hơi vậtliệu trên đó, vật liệu bay hơi sẽ được ngưng tụ trên đế (đế có thể nung nóng hoặckhông tùy mục đích sử dụng) Đó chính là cách tạo màng mỏng bằng phương phápbốc bay nhiệt chân không

6.1.1.c HÓA CHÂT VÀ MỘT SỐ THIẾT BỊ HỖ TRỢ THỰC NGHIỆM

Trong quá trình nghiên cứu và chế tạo thử nghiệm, chúng tôi đã sử dụng những vậtliệu, hóa chất và các thiết bị sau: Đế thủy tinh (SiO2) vô định hình kích thước 1,5

x 2 (cm), đế ITO kích thước 6 x 6 (cm) (xuất

(xuất xứ Đức), nước cất, ethanol, iso-propanol

sấy mẫu, lò nung mẫu

xứ pháp) vật liệu khối WO3 99,9% (xuất xứ Đức), máy rung siêu âm, lò

6.1.1d QUY TRÌNH CHẾ TẠO MÀNG WO3

Quy trình chế tạo màng mỏng WO3 trên hệ bốc bay nhiệt chân không univex

300 được thực hiện theo các bước sau đây:

Bước 1 : Rửa sạch đế và làm sạch buồng chân không.

Đế thủy tinh bằng cách rung siêu âm đế lần lượt với nước cất và ethanol Mỗicông đoạn rung trong khoảng 10 phút Tiếp đó ta tráng đế qua iso – propanol nhằmđẩy hết nước trên bề mặt đế và làm đế nhanh khô Sau đó, ta sấy đế khô Trong quátrình sấy đế ta làm sạch buồng bốc bay bằng máy hút bụi

Bước 2: Lắp đế và hút chân không

Lắp đế thủy tinh vào đĩa gắn đế trong buồng bốc bay Bỏ mẫu WO3 dạng viênvào thuyền nhiệt (chú ý: Mẫu WO3 cho vào phải thừa cho mỗi lần bắn và có kíchthước phù hợp với thuyền) Tiếp đến lắp vỏ buồng nhiệt

Hút chân không buồng bốc bay: Đầu tiên ta bật bơm sơ cấp (chạy khoảng 30phút) Trong lúc này, ta sấy đế một lần nữa bằng cách gia nhiệt cho đế khoảng

1000C rồi tắt công tắc để đế tự nguội (làm sạch hơi nước có thể bám vào đế trongquá trình lắp đế) Khi áp suất buồng đạt cỡ 4.10-2 torr, ta bật bơm turbo (chú ý phảibật máy làm mát bơm turbo) Khi áp suất đạt cỡ 7 x 10-4 torr, là đạt yêu cầu

Bước 3:Tạo mẫu và đem ủ nhiệt sản phẩm.

Bật công tắc nguồn cấp điện vào thuyền Ta có thể điều chỉnh cường độ dòngđiện cấp cho thuyền tùy thuộc vào vật liệu ta cần bốc bay Đối với WO3 cường độ

dòng điện cấp vào là I = 30A hoặc I = 35A Để thay đổi độ dày màng, sử dụng đồng

hồ theo dõi thời gian tạo màng Sau đó tắt lần lượt công tắc dòng, bơm turbo (chú ýkhông tắt máy làm mát bơm turbo) nhưng vẫn để bơm sơ cấp chạy Khi áp suấttrong buồng đạt cỡ 4 x 10-2 torr mới tắt bơm sơ cấp và để buồng tự nâng áp suất sovới áp suất khí quyển Khi áp suất trong buồng xấp xỉ áp suất khí quyển, ta có thể

mở buồng , lấy mẫu ra, bảo quản mẫu tránh bụi và hơi nước

Đem mẫu ủ trong không khí với các nhiệt độ khác nhau, thời gian ủ mẫu trong5h Để mẫu nguội tự nhiên và bảo quản mẫu tránh bui, ẩm

6.1.1.e CÁC PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH TÍNH CHẤT CỦA

tử AFM, và hệ khảo sát bề mặt Dektak 150

Để khảo sát tính chất truyền qua của màng chúng tôi sử dụng hệ đo UV-Vis.Các thiết bị đều đặt tại Trung tâm Khoa học Vật liệu, Khoa vật lý, Trường đại họcKhoa học tự nhiên ĐHQG HN

6.2 THIẾT KẾ VÀ CHẾ TẠO CỬA KÍNH THÔNG MINH TỰ ĐIỀU

CHỈNH CƯỜNG ĐỘ ÁNH SNÁG TRUYỀN QUA.

6.2.1 MÔ HÌNH CỬA KÍNH THÔNG MINH

Mô hình nguyên lý của cửa kính thông minh được chỉ ra như hình vẽ dưới đây:

Thể tích cửa sổ thiết kế là 6 cm x 6 cm x 0,5 cm (0,5 cm là độ dầy của lớp điệnly), diện tích mặt cửa sổ là 36 cm2

Lớp dẫn điện trong suốt được chúng tôi sử dụng là ITO với điện trở là 240ohm/1vuông

Lớp điện sắc là màng WO3 độ dầy 230 nm

Lớp điện ly là dung dịch axit acetic 1M, nồng độ này là nồng độ an toàn vì nóchính là nồng độ được định nghĩa là giấm (C% <6%)

Với thiết kế như trên ngoài chức năng điều chỉnh cường độ ánh sáng truyền qua,cửa sổ này còn có tác dụng cách âm tốt, cách nhiệt tốt

6.2.2 QUY TRÌNH CHẾ TẠO CỦA KÍNH THÔNG MINH

Cửa kính thông minh được chế tạo theo quy trình bao gồm các bước sau:

Bước 1: Chế tạo màng trên đế ITO diện tích 6cm x 6cm theo như mục 4.1.4 Bước2 : Sử dụng tấm ITO có diện tích tương tự, hoặc sử dụng thanh bút chì

chiều dài 6,5 cm gắn vào giữa bề mặt tấm kính còn lại để tạo điện cực đối

Bước 3 : Ghép 2 tấm kính vào nhau một tấm có đế ITO như mô tả bước 2 và

một tấm có màng WO3 đã chế tạo ở bước 1, hai tấm kính được lắp ghép cách nhau0.5cm, dùng epoxy để hàn lại kín, chỉ để một lỗ nhỏ để đổ dung dịch điên li làCH3COOH

Bước 4: Đổ dung dịch điện ly và hàn kín, hàn các dây dẫn từ các điện cực để

nối vào bộ điều khiển

6.3 KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN

6.3.1 CẤU TRÚC VÀ NHÌNH THÁI CỦA MÀNG

Vật liệu WO3 sử dụng để chế tạo mẫu là dạng viên WO3, chúng tôi tiến hànhchế tạo màng WO3 trên đế thủy tinh trước để khảo sát quá trình lắng đọng của màngsau đó sẽ lắng đọng lên đế ITO, điều kiện chế tạo với cường độ dòng điện I = 30A,

áp suất p = 7.10-4 torr và các thời gian bốc bay mẫu khác nhau Mẫu hình thành với

độ dày khác nhau Sau đó, chúng tôi ủ các mẫu này với nhiệt độ khác nhau trong 5h.Với các nhiệt độ này, mẫu hình thành các pha có cấu trúc tinh thể khác nhau Điềunày dẫn đến các tính chất của màng tạo thành sẽ khác nhau Chúng tôi tiến hànhkhảo sát cấu trúc và hình thái của màng bằng Phổ nhiễu xạ tia X, ảnh AFM, ảnhSEM, Phổ EDX