CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO CÁC CẤU TRÚC MỘT CHIỀU ZnS, ZnO

Tài liệu nay giúp mọi người có kiến thức tổng quan về CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO CÁC CẤU TRÚC MỘT CHIỀU ZnS, ZnO................................................................................................................................................................

Trang 1

CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO CÁC CẤU TRÚC

PHẠM THÀNH HUY PTN NANO QUANG ĐIỆN TỬ VIỆN TIÊN TIẾN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ

Trang 2

Điều khiển bước sóng phát xạ của vật liệu bằng cách điều khiển kích

thước nano của vật liệu

Trang 3

Công nghệ bán dẫn = Công nghệ silíc

Cấu trúc vùng không trực tiếp

E g = 1.12 eV, 300K

 = 10 -6 -10 -7

Trang 4

THIẾT BỊ LẮNG ĐỌNG HÓA HỌC PHA HƠI

ÁP SUẤT THẤP ( LPCVD )

Trang 5

C¸c b-íc chÕ t¹o mµng SiO x dïng

PECVD

Trang 6

C¸c cÊu tróc linh kiÖn ®iÖn huúnh quang

Eletroluminescent MOS device

Trang 9

MỤC TIÊU

Giới thiệu về công nghệ chế tạo các cấu trúc một chiều bằng phương pháp bốc bay nhiệt

Nghiên cứu sự thay đổi các tính chất

của vật liệu ở kích thước nano

Trang 10

COL OUR LED

WHITE LED

Trang 11

PHOSPHOR-CONVERTED WHITE LED

Trang 12

ZnS vs ZnO

ZnO

Trang 13

Tunning bandgap between ZnO & ZnS by alloying

Trang 14

Laser có thể thay đổi được bước sóng

Trang 15

Các cấu trúc 1D có thành phần và độ rộng

vùng cấm thay đổi dọc theo chiều dài

Trang 17

Sơ đồ nguyên lý hệ bốc bay nhiệt

Trang 18

Các cấu trúc 1D ZnO nuôi trên đề SiO 2

Trang 19

Khảo sát hình thái cấu trúc

Vùng 1: 800-850

Trang 20

Cấu trúc một chiều ZnO

Vùng 2: 850-950

Trang 21

Results: ZnO nanoproducts

Vùng 3: 950-1000

Trang 22

Vùng 4: 1000-1080

Trang 23

Vùng 5: 1000-1080

Trang 24

KHẢO SÁT CẤU TRÚC

Trang 25

Cơ chế Hơi-Lỏng-Rắn (VLS) hình thành các cấu trúc 1D

Trang 26

Cơ chế hình thành 1D

Trang 27

Chế tạo định dạng linh kiện

Trang 28

Ví dụ: Nuôi các cấu trúc 1 chiều

ZnS

Trang 29

Nuôi 1D ZnS trên đế Si/SiO 2

Trang 31

ZnS microrods

Si/SiO 2 wafer

Trang 32

ZnS microrods

Si/SiO 2 wafer

Trang 33

Si/SiO 2 wafer

Trang 34

Si/SiO 2 wafer

Trang 35

Si/SiO 2 wafer

Trang 36

Si/SiO 2 wafer

Trang 37

Si/SiO 2 wafer

Trang 38

Si/SiO 2 wafer

Trang 40

Element Zn S O

Spot 1 52.2 0.5 47.3 Spot 2 55.2 1.4 43.4 Spot 3 55.1 2.1 42.8 Spot 4 64.7 5.2 30.1 Spot 5 58.9 4.8 36.2 Spot 6 50.1 43.6 6.2

Trang 43

700 o C 800-900 o C

Trang 44

800-900 o C

Trang 46

26 W/cm2 27.6 W/cm2

30 W/cm2 33.3 W/cm2

Trang 48

NHẬN XÉT

Trang 51

Si/SiO 2 wafer

Trang 53

Thank you!

Trang 54

28.2 28.3 28.4 28.5 28.6 28.7 28.8 28.9 0

Zone 1

Trang 55

34.2 34.4 34.6 34.8 0

Zone 3

Trang 57

57

Ex: 266 nm (laser Nd:YAG)

Trang 59

59

~ 0.5-0.7 nm

Ex: 266 nm (laser Nd:YAG)

Trang 60

300 350 400 450 500 550 600 650 700 0.0

1x10 4 2x10 4 3x10 4 4x10 4 5x10 4 6x10 4 7x10 4

spot 1 spot 2 total

Trang 61

SPOT 1 SPOT 2 SPOT 3

SPOT 4

SPOT 5

SPOT 6

Định dạng
Số trang	69
Dung lượng	20,85 MB