Mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất mems màng vuông tâm cứng dưới tải áp suất

Cùng với sự phát triển của công nghệ, MEMS không chỉ bó hẹp trong các loại cảm biến cơ mà còn được ứng dụng trong rất nhiều cảm biến khác như cảm biến nhiệt, cảm biến từ, cảm biến quang,

được đỉnh cao Ngày nay, trên một đế Silic, công nghệ vi điện tử có thể chế tạo được một tổ hợp linh kiện thay thế cho 1 mạch linh kiện cổ điển, trong đó

đặc biệt phải kể đến công nghệ chế tạo vi cơ điện tử MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) - là công nghệ chế tạo tích hợp linh kiện cơ và linh kiện

điện Công nghệ này cho phép ta chế tạo ra những linh kiện cực kì nhỏ gọn mà vẫn đáp ứng được những yêu cầu khắt khe về chức năng Cụ thể MEMS chính

là sự kết hợp của các yếu tố cơ, cảm biến, bộ kích hoạt và các yếu tố điện trên một phiến Silic bằng công nghệ vi chế tạo

Công nghệ MEMS có nhiều ứng dụng trong thực tế, một trong những ứng dụng quan trọng là chế tạo các cảm biến áp suất Hiện nay cảm biến áp suất đang được quan tâm nghiên cứu rất nhiều, đặc biệt theo hướng mô phỏng các đặc trưng

Là một sinh viên ngành vật lý, có mong muốn có thêm nhiều hiểu biết

về các ngành khoa học mới- đặc biệt là hiểu biết về công nghệ MEMS và những ứng dụng MEMS trong thực tế, và cũng nhận thấy rằng đây là một công nghệ có tiềm năng rất lớn đối với sự phát triển của nhân loại, em rất muốn đi sâu vào nghiên cứu về công nghệ mới này Được sự hướng dẫn của thầy Đinh Văn Dũng, cũng như sự ủng hộ của các thầy cô trong khoa Vật lý,

em đã quyết định lựa chọn và nghiên cứu đề tài: “Mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất mems màng vuông tâm cứng dưới tải áp suất”

dựa trên phần mềm mô phỏng ANSYS

II Mục đích nghiên cứu

Nghiên cứu mô phỏng đặc trưng đáp ứng về cơ của cảm biến áp MEMS màng vuông tâm cứng dưới tải áp suất

III Đối tượng nghiên cứu

Đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất MEMS màng vuông tâm cứng dưới tải áp suất

IV Nhiệm vụ nghiên cứu

- Nghiên cứu sơ sở lý luận:

+ Tìm hiểu về cấu trúc, nguyên lí hoạt động của cảm biến áp suất MEMS

+ Tìm hiểu phần mềm ANSYS và ứng dụng trong công nghệ MEMS

- Đi xây dựng chương trình mô phỏng với:

+ Cấu trúc chung của một bài toán mô phỏng trong ANSYS

+ Đưa ra các thông số đầu vào

- Đưa ra kết quả mô phỏng và thảo luận Bao gồm:

+ Phân bố độ lệch màng duới tải áp suất

V Phạm vi nghiên cứu

Đề tài nghiên cứu mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất MEMS màng vuông tâm cứng dựa trên cấu trúc, nguyên lý hoạt động của cảm biến áp suất MEMS và hệ phần mềm mô phỏng ANSYS

chương 1 Cảm biến áp suất MEMS và phần mềm mô phỏng ANSYS

1.1 Cảm biến áp suất MEMS

1.1.1 Vài nét về cảm biến áp suất MEMS

Ngày nay với sự phát triển như vũ bão của khoa học công nghệ nhiều ngành khoa học mới ra đời mang lại biến đổi sâu sắc cả về mặt công nghệ lẫn xã hội Vào cuối những năn 50 của thế kỷ XX một cuộc cách mạng hoá về công nghệ Micro đã diễn ra và hứa hẹn một tương lai cho tất cả các ngành công nghiệp, MEMS cũng ra đời khi đó MEMS (Micro - Electro - Mechanical - System) là công nghệ tạo ra các linh kiện tích hợp thành phần cơ

và thành phần điện tử có kích thước từ vài m đến vài mm Khi mới ra đời công nghệ vi cơ được ứng dụng để chế tạo các đầu đo áp suất và biến dạng thay thế cho các đầu đo cơ truyền thống Cùng với sự phát triển của công nghệ, MEMS không chỉ bó hẹp trong các loại cảm biến cơ mà còn được ứng dụng trong rất nhiều cảm biến khác như cảm biến nhiệt, cảm biến từ, cảm biến quang, cảm biến hoá, cảm biến sinh học Không chỉ dừng lại ở lĩnh vực cảm biến, các linh kiện MEMS còn được ứng dụng rộng rãi trong các hệ chấp hành, các hệ điều khiển tự động

Nhắc đến công nghệ vi cơ MEMS phải kể đến cảm biến áp suất là một trong những thành tựu tiêu biểu, với nhiều ứng dụng rất quan trọng là đo áp suất trong những phạm vi khác nhau trên những vị trí cực kỳ phức tạp như trên máy bay, trên tàu vũ trụ hay trong các nồi hơi và hệ thống nén khí v.v Ngày nay cảm biến áp suất MEMS đang đóng một vai trò rất lớn trong các ngành công nghiệp cũng như trong đời sống hàng ngày Người ta không thể không

kể đến cảm biến áp suất khi nhắc đến MEMS hay ngược lại không thể không

kể đến MEMS khi nói về cảm biến áp suất

1.1.2 Cảm biến áp suất MEMS màng vuông và các vấn đề còn tồn tại 1.1.2.1 Cảm biến áp suất MEMS màng vuông

Đã có nhiều kỹ thuật để đo áp suất Thông thường áp suất cần đo được chuyển đổi thành sự thay đổi chiều dài, chiều rộng của mẫu vật liệu phần tử

đàn hồi Sự thay đổi kích cỡ này được "cảm nhận" bởi cấu tử nhạy Ví dụ như

đầu đo áp điện trở hay sự thay đổi điện dung

Ta có sơ đồ nguyên lý hoạt động của cảm biến áp suất như sau :

Một cảm biến áp suất vi cơ Silic dựa trên hiệu ứng áp trở và công nghệ MEMS bao gồm: Một màng phẳng đàn hồi và các cấu tử nhạy (áp điện trở)

đặt trên màng để "cảm nhận" biến dạng cơ của màng Bằng cách cấy các áp

điện trở nhạy cơ trên phần tử đàn hồi (màng phẳng) có thể chuyển đổi tín hiệu cơ (uốn cong) thành tín hiệu điện lối ra (dòng điện, hiệu điện thế) qua sự biến

đổi giá trị của các áp điện trở đó

Thông thường việc chuyển đổi này được thực hiện dưới dạng hiệu điện thế chênh lệch thu được qua một cầu điện trở Wheatstone Với 2 phần: Phần cấu trúc cơ và phần cấu trúc điện cấu thành nên cảm biến áp suất

Cụ thể ta có các mô hình cấu trúc cơ và cấu trúc điện của cảm biến áp suất như sau:

- Phần cơ học (cấu trúc nhạy tín hiệu)

Áp suất

đầu vào

Phần tử đàn hồi

Cấu tử nhạy cơ

Tín hiệu điện

đầu ra Biến dạng cơ

H1 Mô hình cấu trúc cơ của cảm biến áp suất

Phần cơ của cảm biến áp suất bao gồm một màng Silic vuông, mỏng cỡ vài đến vài chục m có biên gắn cố định với Silic cứng (giá) Dưới tác dụng của một tín hiệu đầu vào dạng cơ học mà cụ thể ở đây là sự chênh lệch áp suất giữa hai bề mặt màng phần tử nhạy tín hiệu sẽ dễ dàng bị uốn cong (H.1) Sự uốn cong của phần tử nhạy phụ thuộc định lượng vào độ chênh lệch áp suất

- Phần điện tử:

H2 a, Mô hình cấu trúc điện

b, Mô hình cầu điện trở Wheatstone

Phần điện tử của cảm biến áp suất là một cấu trúc điện thích hợp được tích hợp trên phần tử nhạy để cảm nhận sự uốn cong của phần tử nhạy khi có chênh lệch áp suất và chuyển đổi sự uốn cong đó thành tín hiệu điện lối ra Một cấu trúc điện như vậy bao gồm: một mạch cầu với 4 điện trở được bố trí như trên hình H 2 b, gồm 2 điện trở song song và 2 điện trở vuông góc cạnh màng Các điện trở này sẽ thay đổi giá trị khi màng Silic bị uốn cong Nhiệm

vụ đặt ra là tìm ra quy tắc thiết kế tối ưu cho các áp điện trở này

(a)

(b)

được cấp cho cầu qua các đỉnh 1 và 3 Thế hiệu lối ra được lấy trên 2 và 4 Các

điện trở R1, R2, R3, R4 được tạo ra bằng phương pháp cấy tạp chất trên phần

tử nhạy Vì giá trị tĩnh của các điện trở là như nhau nên khi phần tử nhạy chưa biến dạng, cầu điện trở là cân bằng và thế hiệu lối ra bằng 0 Khi phần tử nhạy

bị uốn cong, các áp điện trở thay đổi giá trị làm cầu mất cân bằng Do cách bố trí các điện trở, sự biến đổi của R1 và R3 là ngược chiều với R2 và R4 Nếu R1 và R3 tăng thì R2 và R4 giảm và ngược lại Điện thế của điểm 2 sẽ tăng trong khi điện thế của điểm 4 sẽ giảm

Theo hiệu ứng áp trở sự thay đổi giá trị phụ thuộc một cách định lượng vào sự biến dạng vật liệu, tức là phụ thuộc một cách định lượng vào tác dụng cơ học Đo thế hiệu lối ra hoàn toàn có thể xác định được tác dụng cơ học đặt lên phần tử nhạy

Ta có thể mô tả cảm biến áp suất MEMS màng vuông một cách toán học như sau:

x

y

Do tính đối xứng của màng vuông ta đặt hệ trục toạ độ có các trục Ox,

Oy song song cạnh màng Gốc O tại tâm màng (H4)

w D x

2 4 4

4

2

Với D là độ cứng cong và được định nghĩa như sau:

) 1 (

Khi bị uốn cong trên màng sẽ xuất hiện ứng suất, gồm 3 thành phần ứng suất thẳng góc x, y, z dọc theo 3 trục toạ độ và 3 thành phần ứng suất trượt xy, yz, xz [1]

Trong đó đối với cấu trúc màng đang xét các thành phần quan trọng của ứng suất là x, y và ứng suất trượt xy

1 (

w x

w Eh

1 (

w y

w Eh





xy=hGxy

y x

1.1.2.2 Cảm biến áp suất MEMS màng vuông với các vấn đề còn tồn tại

Với 1 cảm biến áp suất MEMS màng vuông được thiết kế và hoạt động như đã trình bày ở trên, còn tồn tại 1 số vấn đề như sau: Khi có sự chênh lệch

áp suất p giữa 2 mặt màng Silic, phần tử nhạy sẽ thay đổi trạng thái dưới dạng uốn cong Tuy nhiên trong quá trình đó, trên bề mặt màng độ uốn cong sẽ là không đồng đều Tại những vị trí khác nhau độ uốn cong sẽ là khác nhau Có những vị trí mà tại đó độ uốn cong là cực đại và ngược lại có những vị trí độ uốn cong là cực tiểu Cụ thể tại vị trí trung điểm của cạnh màng, độ cong màng là cực đại Chính vì lý do trên mà khi ta đặt một cấu trúc điện thích hợp trên phần tử nhạy để cảm nhận sự uốn cong đó và chuyển đổi nó thành tín hiệu điện lối ra, thì do có sự không đồng đều của uốn cong trên bề mặt màng Silic, mà tín hiệu đầu ra thu được sẽ là không tuyến tính

Đây chính là vấn đề còn tồn tại đối với các vi cảm biến áp suất màng vuông

1.1.3 Đề xuất mới của cảm biến áp suất MEMS dạng màng vuông

Cấu trúc mới của cảm biến gồm:

+ Màng Silic vuông có độ dài các cạnh là 1 mm và dày 40m

+ Tâm cứng có hình dạng và kích thước như trên hình vẽ (Sơ đồ - phần trắng) và dày 20m

+ Cấu trúc điện thích hợp đặt trên màng để chuyển đổi tín hiệu cơ của màng thành tín hiệu điện lối ra Đó là các áp điện trở

Cảm biến áp suất MEMS màng vuông mới vẫn hoạt động dựa trên nguyên lý của cảm biến áp suất MEMS màng vuông dạng phẳng thông thường: Đó là khi có chênh lệch áp suất màng bị uốn cong, các áp trở cấy trên màng thay đổi mạnh về giá trị Nếu 2 điện trở đặt song song cạnh màng tăng giá trị thì 2 điện trở vuông góc sẽ giảm giá trị và ngược lại, trên lối ra của cầu

điện trở sẽ xuất hiện thế hiệu lối ra khác 0 Độ lớn của thế hiệu lối ra phụ thuộc vào độ biến thiên giá trị áp điện trở trên màng cảm biến, mà độ biến thiên áp điện trở phụ thuộc độ uốn cong, tức là phụ thuộc chênh lệch áp suất Thông qua việc chuẩn cảm biến và đo độ lớn thế hiệu lối ra có thể xác định

được độ chênh lệch áp suất giữa 2 mặt cảm biến:

2 4

2 3

1

1 (

R R

R R

do sự uốn cong không đồng đều của màng Silic khi có tác dụng cơ học vào màng Đặt thêm 1 tâm cứng với hình dạng và kích thước như trên vào màng Silic vuông thông thường, có tác dụng làm giảm bớt sự chênh lệch về ứng suất (hay chính là độ uốn cong) trên bề mặt của phần tử đàn hồi làm cho sự uốn cong trên khắp bề mặt màng là đồng đều với nhau hơn.Và khi ta đặt 1 cấu trúc

điện thích hợp lên phần tử đàn hồi đó Tín hiệu điện lối ra mà ta thu được sẽ tuyến tính hơn Cấu trúc mới của cảm biến áp suất màng Silic vuông này đã

khắc phục được nhược điểm của cảm biến áp suất MEMS vuông thông thường

1.2 Phần mềm ANSYS và ứng dụng trong mô phỏng cảm biến

1.2.1 Giới thiệu về ANSYS

ANSYS là 1 chương trình tính toán dựa trên phương pháp phần tử hữu hạn dùng cho mục đích chung tổng hợp với chương trình có chứa trên 100.000 dòng lệnh ANSYS có khả năng giải các bài toán tĩnh, động học, truyền nhiệt, dòg chảy và trường điện từ ANSYS là chương trình phân tích tính toán dựa trên phần tử hữu hạn (FEA- Finte Element Analisis) hàng đầu trong hơn 35 năm qua Phiên bản hiện tại là ANSYS 9.0 Multiphysis không những cho phép giải các bài toán kỹ thuật phục vụ công nghiệp mà còn cho phép giải các bài toán trong lĩnh vực MEMS phù hợp với kích thước Micromet ANSYS không những giải được những bài toán kỹ thuật đơn trường mà còn cho phép giải các bài toán đa trường: Phân tích nhiệt - ứng suất, phân tích điện - cơ, phân tích chất lỏng - cơ, phân tích điện - nhiệt Ngoài ra chương trình còn cho phép sử dụng cả giao diện đồ hoạ và câu lệnh trong môi trường Window và Linux đã giúp phần mềm này trở nên dễ sử dụng hơn

Ngoài chương trình ANSYS, hiện tại còn có các phần mềm sử dụng phương pháp phần tử hữu hạn khác như: FEMLAB, SUGAR, MEMPRO Đối với phần mềm FEMLAB, SUGAR có thể cho phép chạy liên kết với môi trường Matlab, MEMPRO là chương trình được viết cho lĩnh vực MEMS, nó

có thể sử dụng môi trường ANSYS để phân tích các bài toán

Phần mềm ANSYS là một trong những phần mềm mô phỏng số dùng phần tử hữu hạn đã giúp rút ngắn thời gian và khoảng cách cho việc giải và mô phỏng các bài toán khoa học kỹ thuật Ngày nay phương pháp phần tử hữu hạn

ra đời, phát triển càng trở nên ưu việt nhờ sự phát triển mạnh mẽ của công nghệ thông tin

Với mục tiêu của hầu hết các bài toán khoa học kỹ thuật là xác định các

đại lượng vật lý chưa biết nào đó gọi là các biến sơ cấp Nó thoả mãn 1 hay hệ

phương trình vi phân cho trước trong 1 miền xác định với các điều kiện biên cho trước

Ta có thể mô tả bài toán bằng sơ đồ như sau:

Việc tìm lời giải từ phương trình vi phân với các điều kiện ràng buộc đã cho bằng phép tính tích phân trực tiếp (dạng mạnh) trở nên khó khăn Để khắc phục vấn đề này, 1 công thức biến phân xuất hiện (dạng yếu) với nhiều phương pháp biến phân ra đời (phép xấp xỉ gần đúng hay phương pháp số) [2] Phương pháp phần tử hữu hạn mà ANSYS sử dụng chính là 1 mẫu ứng dụng của nguyên lý biến phân Cụ thể các bài toán vật lý trong lĩnh vực cơ học vật rắn và đàn hồi thường được mô tả bằng các phương trình vi phân đạo hàm riêng Và 1 trong các lời giải điển hình cho loại bài toán này là cực tiểu hoá 1 hàm nào đó, liên quan đến tích phân, thông qua 1 lớp hàm được xác định bởi bài toán Hàm này được xây dựng nhờ phép tích phân phần tử hữu hạn FEA Phương pháp này được gọi là phương pháp phần tử hữu hạn FEM Với tư tưởng của phương pháp này là rời rạc hoá cấu trúc

Kết luận : Với cấu trúc và phương pháp phần tử hữu hạn mang hiệu quả cao như vậy mà ANSYS đã và đang trở thành một gói phần mềm phân tích phần tử hữu hạn hoàn chỉnh, dùng để mô phỏng, tính toán và thiết kế công nghệ đã và đang được sử dụng trên toàn thế giới trong hầu hết các lĩnh vực của

kỹ thuật

Bài toán khoa học-kỹ thuật

PT Vi phân + Điều kiện biên Tích phân trực tiếp Xấp xỉ gần đúng

1.2.2 ứng dụng của ANSYS trong mô phỏng cảm biến

Với những tính năng ưu việt của mình ANSYS ngày càng được sử dụng rộng rãi trong khoa học kỹ thuật, đặc biệt là trong các công nghệ mới như công nghệ mô phỏng và thiết kế các vi cảm biến Ngày nay với xu hướng nghiên cứu tìm tòi để mô phỏng các loại cảm biến, từ đó tìm ra quy tắc thiết

kế tối ưu nhất Cùng với sự giúp đỡ đắc lực của công nghệ thông tin, công việc này đã trở nên đơn giản rất nhiều

Với cảm biến áp suất MEMS nói riêng ANSYS giúp chúng ta mô phỏng cấu trúc cơ, cấu trúc điện của cảm biến Hơn nữa là mô phỏng cơ tính của cảm biến dưới tác dụng của tải cơ học đặt vào ANSYS sử dụng cả giao diện đồ hoạ nên việc mô phỏng này trở nên rất tinh vi và chính xác, mang lại hiệu quả cao cho người sử dụng

1.2.2.1 Khả năng ứng dụng

1.2.2.1.1 Mô phỏng cấu trúc cơ

H7 Mô hình cấu trúc cơ của cảm biến áp suất

Là 1 màng phẳng Silic (phần tử đàn hồi) dễ dàng bị uốn cong khi có chênh lệch áp suất

ANSYS mô phỏng cấu trúc cơ của cảm biến áp suất với mục đích tìm hiểu về nguyên lý cấu tạo và hoạt động của cảm biến Hơn nữa ANSYS giúp chúng ta mô phỏng được sự uốn cong của màng Silic khi có chênh lệch áp suất (do sử

dụng cả giao diện đồ hoạ) và từ đó tìm ra vị trí có ứng suất (độ uốn cong) lớn nhất để đặt các áp điện trở Sao cho tín hiệu lối ra thu được là tuyến tính nhất

Từ đó tìm ra quy tắc thiết kế phần cơ sao cho tối ưu nhất

1.2.2.1.2 Mô phỏng cấu trúc điện

H8 Mô hình cầu điện trở và mô hình PTHH

Với 1 cấu trúc điện thích hợp được tích hợp trên phần tử đàn hồi để cảm nhận sự uốn cong và chuyển đổi tín hiệu cơ (sự uốn cong) đầu vào thành tín hiệu điện lối ra Và điện áp lối ra được tính bằng

2 4

2 3

1

1 (

R R

R R

1.2.2.2 áp dụng vào nghiên cứu mô phỏng cơ tính của cảm biến

Như đã trình bày ở trên, cấu trúc cơ của cảm biến áp suất là 1 màng Silic mỏng, đàn hồi, dễ dàng uốn cong khi có chênh lệch áp suất ANSYS giúp chúng ta mô phỏng sự uốn cong đó

Mục đích của việc mô phỏng này là:

+ Xác định ứng xử của màng Silic khi có tải cơ học (áp suất ) đặt vào

+ Tìm ra vị trí thích hợp để đặt cấu tử nhạy (các áp điện trở) sao cho tín hiệu lối ra là tuyến tính nhất

+ Định hướng ngưỡng áp suất tối đa màng có thể chịu được cho các loại màng có kích thước khác nhau

Với ANSYS để mô phỏng cơ tính của màng đàn hồi như trên, các dữ liệu cần có là:

+ Thông số vật liệu Silic đơn tinh thể

Mođun Young

Hệ số Poisson Mođun trượt + Thông số kích thước màng

Kích thước

Điều kiện biên

Điều kiện tải + Kiểu phần tử: Vỏ đàn hồi hay phần tử khối

+ Kiểu chia lưới

ANSYS không sử dụng mô hình hình học trong lời giải của mô hình

mà nó cần những phần tử hữu hạn

Kết luận: Chương trình chuyên dụng ANSYS chuyên cho các thiết kế cấu trúc và thiết kế MEMS, với các Mođun giải phương trình vi phân trong các bài toán ứng dụng đã được lập sẵn nên việc lập trình trở nên đơn giản, chỉ bao gồm việc đưa các thông số đầu vào để tạo ra khối vật liệu cho bài toán Và việc mô phỏng trở nên dễ dàng hơn rất nhiều

Khai báo các thuộc tính vật liệu: E,

Nu, K

Đặt tải: tải tập trung, tải bề mặt, tải vật thể, tải quán tính (Inertia

Khai thác:

- Kết quả thông thường: /POST1

- Kết quả theo thời gian:

Tạo mô hình tính (Preprocessor )

Tạo mô hình hình học: thể tích, diện tích, Tạo mô hình PTHH: chia lưới như thế nào?

Tính toán (Solution)

Giải

Xử lý kết quả

(Postprocessor)

Kiểm tra, đánh giá kết quả:

- Vị trí ứng suất cực đại ở đâu?

- Giá trị ứng suất có vượt quá giới hạn

Chương 2 Xây dựng chương trình mô phỏng

2.1 Cấu trúc chung của bài toán mô phỏng trong ANSYS

Sơ đồ trên cho ta cái nhìn tổng quát cấu trúc cơ bản của 1 bài toán trong ANSYS gồm 3 phần chính: tạo mô hình tính (preprocessor), tính toán (solution) va xử lí kết quả (postprocessor) Ngoài 3 bước chính trên, quá trình phân tích bài toán trong ANSYS còn phải kể đến quá trình chuẩn bị (preference) chính là quá trình định huống cho bài toán Chúng ta cần định

hướng xem bài toán phải dùng kiểu phân tích nào (kết cấu nhiệt hay từ) mô hình hoá như thế nào, dùng kiểu phần tử nào[2] Hiểu được các bước này trong ANSYS sẽ giúp ta dễ dàng hơn trong việc giải bài toán của mình Vấn đề đặt

ra là làm sao để thể hiện những ý tưởng này trong ANSYS

2.1.1 Tạo mô hình tính (Preprocessor)

Trong phần này ta phải tạo ra mô hình hình học rồi tạo ra mô hình phần

tử hữu hạn tức là tạo ra các nút và phần tử Đầu tiên ta phải chọn kiểu trong thư viện phần tử (điều này phụ thuộc vào kích thước, hình dạng, kết cấu, dạng tải trọng tác dụng, độ chính xác cần tính) Các tính chất vật liệu, hằng số được nhập vào cho thích hợp với từng loại phần tử Lúc này:

2.2 Các thông số đầu vào của bài toán mô phỏng

Thông số đầu vào của bài toán mô phỏng cơ tính cảm biến áp suất MEMS màng vuông bao gồm: Tính chất vật liệu Silic, thông số kích thước màng, vùng tải áp suất, kiểu phần tử, kiểu chia lưới v.v…

2.2.1 Tính chất vật liệu Silic

Với Silic đơn tinh thể, hướng [110], trên phiến Silic (100) các thông số vật liệu gồm [2]:

+ Mođun Young E = 1,698.1012 dyn/cm2

Điện trở

Chiều dài: trục x: l1 = 100m trục y: l2=50m Chiều rộng w = 10m Khoảng cách từ mép màng đến đầu điện trở: kc=10m Cách y: kc1=20m

Cách x: m=50m + Điều kiện biên: 4 biên cố định

2.2.3 Vùng tải áp suất:

Từ 0 đến 10 atm

2.3.1.2 áp đặt điều kiện biên và tải tác dụng

Chia lưới mô hình, đặt các điều kiện biên và áp suất tác dụng lên màng Các kết quả mô phỏng phân bố ứng suất, biến dạng, chuyển vị lớn nhất sẽ thu

được dễ dàng dưới các áp suất khác nhau

Các phân bố sẽ cho biết vị trí nào trên màng có ứng suất lớn nhất từ đó

sẽ tối ưu hoá cách sắp xếp các điện trở nhạy (áp điện trở) Tại điểm mà ở đó ứng suất kéo lớn nhất tiến đến giá trị ứng suất phá huỷ vật liệu thì giá trị áp suất đặt vào là giới hạn trên của tầm đo đối với màng đang xét

2.3.1.3 Xử lý kết quả và thảo luận