Quang phổ Laser - Ảnh hưởng của độ dày đến cấu trúc và tính chất quang, tính chất điện của màng ZnO

ẢNH HƯỞNG CỦA ĐỘ DÀY LÊN CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT QUANG, TÍNH CHẤT ĐIỆN CỦA MÀNG ZnO HV: VÕ THỊ NGỌC THỦY... KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Sơ đồ nhiễu xạ của màng ZnO Fig... FESEM micrographs of

ẢNH HƯỞNG CỦA ĐỘ DÀY LÊN CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT QUANG, TÍNH

CHẤT ĐIỆN CỦA MÀNG ZnO

HV: VÕ THỊ NGỌC THỦY

KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN

Sơ đồ nhiễu xạ của màng ZnO

Fig 1 X-ray diffractograms of ZnO films with thickness: (i) 55 nm, (ii) 90 nm, (iii) 165

nm, (iv) 180 nm, (v) 260 nm, (vi) 300 nm, (vii) 400 nm and (viii) 600 nm.

ở đôô dày 260nm màng

ưu tiên phát triển theo hướng (002), định hướng theo trục c

Các màng là đa tinh thể

và được định hướng ngẫu nhiên (do xử lý nhiêôt và precusor khác nhau)

Fig 3 FESEM micrographs of ZnO films with thickness: (i) 55 nm, (ii) 90 nm, (iii)

Bề mặt hình học của màng ZnO

kích thước các hạt trở nên đồng đều và lớn hơn khi độ dày của màng tăng lên

Fig 2 The plot of strain e zz (%) along c-axis and FWHM of (0 0 2) peak for ZnO films with various thickness.

( ) εzz

Khi ứng suất màng nhỏ thì tính chất tinh thể của màng sẽ trỏ nên tốt hơn

cấu trúc màng tốt nhất khi màng ở đôô dày 260 nm

Tinh quang c a mang u

Tính chất quang trở nên tốt hơn khi đôô dày ở khoảng 165-300nm.

Đôô dày trên 300nm thì trạng thái kích thích trong phổ hấp thu trở nên rôông ra và biến mất hoàn toàn đối với màng dày 600nm.

Tất cả các màng mà có bờ hấp thu thẳng trong vùng UV dưới 400nm

Tinh đi n c a ê u

Tinh đi n c a ê u

trở suất tăng

Myong cùng các cộng sự cũng cho thấy rằng khi bề dày tăng, màng xốp hơn, hấp thu oxi nhiều hơn,nồng độ hạt tải giảm

và vì vậy điện trở suất tăng khi tăng bề dày

KẾT LUÂÂN

Các tính chất về cấu trúc, tính quang, tính điêôn được

thấy rằng là chúng phụ thuôôc vào bề dày của màng

 Tính chất về cấu trúc tốt hơn khi đôô dày trong khoảng 180-300nm Và định hướng theo trục c khi màng dày

260 nm

Tính quang và điêôn được cải tiến khi bề dày của màng khoảng 260nm

Tiên đoán là các tính chất về cấu trúc, quang, điêôn

sẽ trở nên tốt hơn đối với màng ZnO được chế tạo bằng phương pháp sol-gel ở đôô dày khoảng 260nm