Vật lý màng mỏng -Đo màng điện

VẬT LÍ MÀNG MỎNG HVTH: LÊ HOÀNG NAM MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN PHƯƠNG PHÁP ĐO... PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG Phương pháp nhiễu xạ tia X  Phương pháp Stylus Phép đo hiệu ứng Hall

VẬT LÍ MÀNG MỎNG

HVTH: LÊ HOÀNG NAM

MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN

PHƯƠNG PHÁP ĐO

PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG

 Phương pháp nhiễu xạ tia X

 Phương pháp Stylus

Phép đo hiệu ứng Hall

 Phương pháp đo điện trở suất

 Phương pháp sử dụng phần mềm Scout

PHƯƠNG PHÁP NHIỄU XẠ TIA X

θ θ

λ

cos )

2 (

9

0

∆

=

b

Công thức Sherrer

 Sơ đồ khối của máy đo Stylus :

Bàn soi

LVTD

Mẫu

Điều kiện tín hiệu

Bộ nhớ máy tính Chuyển đổi A/D

PHƯƠNG PHÁP STYLUS

PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL

 Mục đích : Xác định nồng độ hạt tải và độ linh động

 Cơ sở :

Hình 4: Nguyên tắc phép đo hiệu ứng Hall

F r = q V r × B r

PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL

q E q E B= µ

y x z

E µ E B

.

y Hall

z x

E R

B j

=

x z Hall

x z

E B R

E B q n q n

Ở trạng thái cân bằng

Ta có :

XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT

Phương pháp đo điện trở vuông

.

R d

XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT

Phương pháp đo bốn mũi dò

.

s

R d

ρ =

Cách đo:

ln 2

s

U

I

π

= Công thức tổng quát

G : Số hiệu chỉnh (tùy thuộc vào hình dạng và kích

thước của mẫu)

Xác định loại phổ cần làm khớp, vẽ phổ lý thuyết của nó dựa trên các thông số đã khai báo

Sử dụng phần mềm khớp phổ Scout

cấm, điện trở suất, nồng độ hạt tải và độ linh động.

 Nguyên tắc :

Khai báo các dữ liệu: vật liệu tạo màng, các thông số quang ban đầu của vật liệu

Chọn các thông số muốn làm khớp sao cho phổ lí thuyết trùng khớp với phổ thực nghiệm nhất

Thay đổi dần các thông số để kết quả làm khớp là tốt nhất Từ đó ta xác định được các thông số của màng

CHÂN THÀNH CÁM ƠN THẦY

VÀ CÁC BẠN ĐÃ THEO DÕI