Báo cáo đề tài phương pháp CVD, môn phương pháp thực nghiệm, lớp quang học K21

3 Lắng đọng hơi hóa học là phương pháp mà vật liệu rắn được lắng đọng từ pha hơi thông qua các phản ứng hóa học xảy ra ở gần bề mặt đế được nung nóng tạo thành màng... 4 Vật liệu rắn H

MÔN PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM

Đề tài:

Báo cáo: Nguyễn Thị Hảo

Quang học K21 22/10/2011

1

C V D

What is ….?

Lắng đọng hơi hóa học

3

Lắng đọng hơi hóa học là phương pháp mà vật

liệu rắn được lắng đọng từ pha hơi thông qua các phản ứng hóa học xảy ra ở gần bề mặt đế được nung nóng tạo thành màng

C V D

4

Vật liệu (rắn)

Hơi Hợp chất Màng

+ Tác nhân

(Precusor) Ngƣng tụ trên đế

Khí phản ứng

(Precursor)

Buồng phản ứng (reactor)

Khuyếch tán xuống đế

Hấp thụ

Phản ứng hóa học Tạo màng

SƠ ĐỒ

C V D

Bộ phận cấp nhiệt

Đế

Sản phẩm khí thải

Hơi vật liệu (Precursor)

Vùng phản ứng hóa học

Khuyếch

tán

t = 900 o C, p = 0.1 mbar – 1bar

Khuyếch tán trên bề mặt đế

Sự hình thành nguyên tử

BUỒNG PHẢN ỨNG

Đế Đế

Khí thải

Khí phản ứng (Precursor)

Bộ phận cấp nhiệt

BUỒNG PHẢN ỨNG

C V D

ĐIỀU KIỆN TRONG CVD

C V D

Nhiệt độ đế Precursor Buồng phản ứng

ĐỘ PHỦ MÀNG

C V D

Tốc độ lắng đọng tỉ lệ với góc tới

PHẢN ỨNG HÓA HỌC TRONG CVD

C V D

Phản ứng phân hủy Phản ứng khử

Phản ứng thủy phân Vận chuyển hóa học Phản ứng trùng hợp

CƠ CHẾ & QUÁ TRÌNH TRONG

CVD

C V D

Vận chuyển nhiệt Ngưng tụ

Hấp phụ

ƢU ĐIỂM

C V D

Phủ khu vực

Hệ thiết

bị đơn giản

Tạo màng hợp kim nhiều tp

Cơ chế phản ứng

phức tạp

Nhiệt độ đế cao

Cơ chế phản ứng phức tạp

Đế & thành buồng phản ứng

dễ bị ăn mòn Sản phẩm khí độc

NHƢỢC ĐIỂM

C V D

Tạo nhiều loại màng mỏng

Sợi quang

• Atmospheric pressure chemical vapor deposition

•  Lắng đọng hơi hóa học ở áp suất khí quyển

APCVD

• Low pressure chemical vapor deposition

•  Lắng đọng hơi hóa học ở áp suất thấp

LPCVD

• Metal organic chemical vapor deposition

• CVD nhiệt, precursor là hợp chất hữu cơ kim loại

MOCVD

• Plasma enhanced chemical vapor deposition

• Năng lượng của plasma để kích hoạt phản

ứng.300-500 o C

PECVD

Dòng nhiệt

Đế

Sản phẩm khí thải

Khí vào

chất phản

Quá trình ngưng tụ kim loại

Hidro Cacbon Kim loại

PRECURSOR CỦA MOCVD

C V D

CÔNG NGHIỆP MOCVD

C V D