Chế tạo và nghiên cứu các tính chất của một số màng áp điện

Tong quan cac van de nghien cuu Can trinh bay nhu mot bao cao khoa hpc, neu bat nhung van de da nghien cuu, nhiing phuang phap da ap dung cho cac nghien cuu truac, chi ro de tai quan tam

DAI HOC QUOC GIA HA NOI

DETAI

CHE TAO VA NGHIEN ClTU CAC TINH CHAT

CUA MOT s o MANG AP DIEN

Ma so: QC.08.09 Chii nhiem de tai: TS Pham Due Th^ng

DAI HOC QUOC GIA HA N 6 I Tf?UNGTAM THONG TIN THU VIEN

0O06Q0OOGZ3

Ha Ngi, nam 2010

MUC LUC

Trang

1 Bang giai thich cac chir viet tat 1

2 Danh sach nhung ngu-oi tham gia thyc hien de tai 2

3 Danh muc cac bang so lieu 3

4 Danh muc cac hinh 3

5 Tom tdt nhu-ng ket qua nghien cuu chinh cua de tai 4

6 Bao cao tong ket 6

6.1 Dat van de 6

6.2 Tong quan cac van de nghien cuu 7

6.2.1 Hieu ung ap dien va vat lieu cau true perovskite 7

6.2.2 Tinh chat dien va sat dien cua BaTiOs 8

6.2.3 Mot so I'rng dung 9

6.3 Muc tieu va noi dung nghien cuu cua de tai 9

Phan I CAC PHLTONG PHAP CHE TAO MAU 10

1.1 Bot BaTi03 kich thuoc nanomet 10

1.2 Vat lieu BaTiOs dang kh6i 10

1.3 Mang vat lieu BaTiOs 10

PHAN II CAC PHU'ONG PHAP KHAO SAT CAC TINH CHAT 12

III 1 He BaTi03 dang hot va kh6i 14

III.2 Vat lieu BaTi03 dang mang 22

III.3 Mo hinh hoa mot so tinh chat cua vat lieu cau true ABO3 25

III.4 He bang tu Finemet 25

KET LUAN CHUNG 26

6.4 Dia diem, thoi gian va phuo"ng phap nghien cuu 27

6.5 Ket qua nghien cuu 27

6.6 Thao luan 28 6.7 Ket luan va kien nghi 29

6.8 Tai lieu tham khao 29

7 Phuluc 30

1 BANG GIAI THICK CAC CUlf VIET TAT

1.1 Thiet bi, phucng phap thuc nghiem

XRD X-ray diffractometer

SEM Scanning electron microscopy

BTO Barium titanate BaTi03

DRAM Dynamic random access memory FeRAM Ferroelectric random access memory NVRAM Non-volatile random access memory

MLC Multilayer ceramic capacitor

MEMS Micro electromechanical systems

1.2 Cac ki hieu khac

Do phan circ dien (|iC/cm^)

Do phan cue dien du (|j.C/cm^)

Nhiet do Curie cua chat sat dien CC)

Nhiet dp phan ung Thai gian phan ung

2 UAJ>H SACH iMiUiNO i>Gl/6fI THAM GIA THUC HIEN DE TAI (hoc ham,

hoc vi, ca quan cong tac)

- Chu nhiem:

Pham Due Thang, Tien sy

Khoa Vat ly ky thuat va Cong nghe nano, truong Dai hoc Cong nghe, Dai hoc Quoc gia HaNpi

- Nhung nguai thuc hien:

Nguyen Huu Due

Do Thi Huong Giang

Tran Mau Danh

Nguyen Thang Long

Co* quan cong tac

Dai hpc Quoc gia Ha Npi

DH Cong nghe, DHQGHN DHCN - DHQG HN DHCN - DHQG HN DHCN - DHQG HN DHCN - DHQG HN

3 DANH M U C CAC BANG SO LIEU

Bang I Sir phu thupc cua ciu true va hang so mang tinh the cua BTO vao thai gian tpu Bang 2 Sir phu thupc cua cau true va hang so mang tinh the cua BTO vao nhiet dp Tp^

4 DANH MUC CAC HINH

Hinh 1 Hieu ung ap dien dual tac dung cua ung suat ngoai

Hinh 2 6 dan vj ciia cau true tinh the perovskite BaTtOs

Hinh 3 Sir phu thupc cua cau true tinh the cua vat lieu BaTi03 vao nhiet dp

Hinh 4 So do nguyen ly cua phuang phap "bar-coating"

Hinh 5 Thiit bi XRD D8 Advance Bruker AXS

Hinh 6 Th\k bi do LCR PM3550 Tegam

Hinh 7 Thiet bi do Radiant Precision LCIO

Hinh 8 Gian do nhieu xa tia X cua mau bpt BTO theo tpj khac nhau

Hinh 9 Anh SEM cac mau BTO dupe tong hgp theo thai gian tp^f khac nhau

Hinh 10 Su phu thupe kich thuac hat BTO theo thai gian tpLjkhac nhau

Hinh 11 Sir phu thupc cua hang so dien moi vao thai gian tpijkhac nhau

Hinh 12 Duong cong dien tre cua mau BTO che tao aTpu = 150 "^C

Hinh 13 Dong do theo thai gian do cua BTO vai tpij=7 gia, TpLr= 150°C (a) va tp^^^lO

gia,Tp,= 150°C(b)

Hinh 14 Gian do nhieu xa tia X cua mau bpt BTO theo nhiet dp Tpu khac nhau

Hinh 15 Anh SEM cac mau BTO dupe tong hgp theo nhiet dp Tpu khac nhau

Hinh 16 Su phu thupe kich thuac hat BTO theo nhiet dp Tpu khac nhau

Hinh 17 Sir phu thupe cua hang so dien moi vao nhiet dp Tpu khac nhau

Hinh 18 Duong cong dien tre ciia mau BTO che tao trongtpu = 7 gia

Hinh 19 Anh cac mau mang BTO-epoxy vai eae ham lugng khac nhau

Hinh 20 Gian 66 nhieu xa tia X cua cac mang BTO-epoxy vai cac ham lugng khac

nhau

Hinh 21 Anh SEM cua mang BTO-epoxy vai 10% BTO

Hinh 22 Hang so dien moi cua cac mang BaTiOs-epoxy vai cac ham lupng khac nhau Hinh 23 Anh SEM cua bang tir Finemet

- Study on some properties of Finemet ribbon

b Publications:

- Pham Due Thang Ho Thi Anh Hat nano sat dien BaFiOj: che tao \ a nghien cuu mot so tinh chat dac tru'ng, Tuyen tap Hoi nghi Vat ly chat ran va Khoa hoc \at lieu toan quoc Ian thu 6 Da Nang 8-10/11/2009

- Pham Due Thang, Nguyen Ba Doan, Mo phong mot so tinli chat cua \at lieu multiferroic BiMnOs bang phuang phap gan dung truang trung binli Tuyen tap Hoi nghj Vat ly chat ran va Khoa hoc vat lieu toan quoc Ian thu 6

Da Nang 8-10/11/2009

- Pham Due Thang, Hoang Hai Duong and Nguyen Hoang Nghi Magnetic

and sensitive magneloelastic properties of Finemet nanostructured ribbon

Journal of Physics: Conference Series 187 (2009) 012062

5.2 Technological products/practical application

5,3i, Training

a Number of undergraduate students involved in the project: 02

b Number of postgraduate students in\"ol\ed in the project: 01,

c Number *.")f graduate theses: 02

- r' graduate thesis: Stud}' on fabrication of peroxskiie ferroelecinc powders Siudeni name: Ho Thi Anh

Baich: QHO005-I CQ-V

M:i|t't" ilcid rninor fieki; Engineering [ih;'^ics Nanotcchnol'>u\

- 2' ' uraduaie lliesis- Modehng bL)nie pr.'pcrue.-> of nuiliilcrruu: BlMn(J-,

Student name: Nguyen Ba Doan

- Improvements of academic degrees for some members participated in the project

6 BAO CAO TONG KET

6.1 Dat van de (Neu ro tinh cap thiet cua de tai hoae cac npi dung nghien cuu cua de tai)

Trong so cac vat lieu ap dien-sat dien, Barium titanate BaTi03 la vat lieu c6

hang so dien moi Ian, c6 the dao dong tu 1000 den 2000 a nhiet dp 25°C va c6 the

len den gia tri 10 a gan nhiet dp Curie (nhiet dp Curie cua BaTi03 la Tc = I20°C) BaTi03 da va dang dugc cac nha khoa hoc tren the giai quan tam nghien cuu do kha nang co the ung dung trong cac nganh cong nghiep dien va dien tu Mot so ung dung dang ehu y cua vat lieu BaTi03 nhu dung lam tu dien cho bp nha may tinh NVRAM, DRAM va sau nay la FeRAM, che tao tu dien gom da lap MLC, [1 va cac tai lieu trich dan] Hat BaTiOs a kich ca nanomet co the dugc phan tan trong nen polymer de che tao cac cam bien nhiet hoae khi

Nghien cuu che tao cac vat lieu ap dien-sat dien cau true miero-nano noi ehung cung nhu BaTi03 noi rieng luon la mot van de ly thu Tuy nhien hien nay tai Viet Nam cac nghien cuu ve vat lieu nay thuang chi tap trung a cac vat lieu dang khoi va gan day la dang bpt Co nhieu phuang phap de tong hgp BaTi03: doi vai vat lieu a dang khoi va bpt co the ke den cac phuang phap nhu phan ung pha ran, sol-gel, thuy phan nhiet, dong ket tua, [2-5] Tuy phuang phap phan ung pha ran

de thuc hien nhung co nhuge diem la kich thuac hat khong dong deu, Ian ban micromet va thuong chua nhieu tap chat nhu cacbonat, silieat Cac tap chat khong mong muon nay se lam giam cac tinh chat vat ly va dp ben cua vat lieu Trong so cac phuang phap boa hpc, phuang phap thuy phan nhiet co nhieu iru diem nha vao kha nang de kiem soat thanh phan vat lieu qua viee thay doi ty le ban dau Ba:Ti, san pham bot c6 dp dong nhat ve ca thanh phan va cau true, cac hat BaTi03 thu dugc c6 kich thuac nho ban micromet

Doi vai vat lieu dang mang, cac phuang phap Vat ly thuang chiem uu the, vi

du boc bay bang laser xung, phun xa, LTU diem cua eae ky thuat nay la cho phep tao dugc eae mang mong vai dp day tir vai ehue den vai tram nm cung nhu cho phep tao cac mang to hgp dang nhieu lap Nhung nhuge diem do la cac trang thiet

bi sir dung ciang nhu chi phi van hanh nhin chung kha ton kem Doi vai cac truang hgp tao mang day ca vai ehue den 100 j^m, phuang phap "bar-coating" thuang dugc su dung do thiet bi dan gian va de van hanh Tuy nhien mot diem can luu y la vat lieu ban dau sir dung trong phuang phap nay phai co thanh phan phu hgp nhu thanh phan danh dinh cua mang can che tao

6.2 Tong quan cac van de nghien cuu (Can trinh bay nhu mot bao cao khoa hpc, neu

bat nhung van de da nghien cuu, nhiing phuang phap da ap dung cho cac nghien cuu truac,

chi ro de tai quan tam nghien cuu va giai quyet nhung van de gi, nham dong gop gi)

6.2.1 Hieu irng ap dien va vat lieu cau true perovskite

Hieu ung ap dien (piezoelectric effect) dugc phat hien vao nam 1880 bai

Jacques va Pierre Curie, la hien tugng khi mot vat lieu chiu tac dung cua ung suat

keo hoae nen se xuat hien sir phan cue dien cam ung (xem hinh I) Nguge lai, vat

lieu CO the bi bien dang dai ra hoae ngan lai khi dat trong dien truang ngoai tuy

thupc vao chieu giiia dien truang ngoai va veeta phan cue dien cua vat lieu Trong

hien tugng nay, tren hai mat doi dien cua vat lieu se xuat hien mot hieu dien the ti le

vai ung suat tac dung vao [1]:

U ~ g 3 3 a (1) vai g33 la he so ap dien (piezoelectric coefficient) dac trung cho timg vat lieu va cr la

ung suat tac dung (cr> 0 neu la ung suat keo, a < 0 neu la ung suat nen)

N e n Ci;4j&

(a) (b) (c)

Hinh LHieu I'mg dp dien dual tac dung cua img suat ngoai

Hieu ung ap dien dugc quan sat thay tren nhieu vat lieu tinh the nhu thach anh,

NaKC4H406 (potassium sodium tartrate), cac muoi Rochelle, Tuy nhien hieu ung

tren cac vat lieu nay nhin ehung la nho Vai eae vat lieu gom co cau true tinh the

perovskite thi hieu ung ap dien Ian ban nhieu N h a dac tinh nay nen cac vat lieu

g5m ap dien da dugc nghien cuu manh me va dua vao ung diing rpng rai trong

nhi8u ITnh virc nhu cong nghe dien va dien tu (mang rung, tu dien, cam bien, )

Perovskite la ten gpi chung cua cac vat lieu gom co cau true tinh the giong canxi

titanate CaTiOs Cong thuc phan tu chung cua eae hgp chat perovskite la ABO3 vai

A va B la cac ion duang (cation) co ban kinh khac nhau 0 vi tri cua ion Oxy

(anion), co the la mot so nguyen to khac, nhung pho bien nhat van la oxy (xem hinh

2 cho BaTi03) Tuy theo loai nguyen to a vi tri B ma eo the phan thanh nhieu ho

khac nhau, vi du nhu ho manganite, hp eobaltite,

o^

Ba

O

02-Hinh 2 O dan vi cua cau true tinh the perovskite BaTiOj

6.2.2 Tinh chat dien va sat dien cua BaTiOj

Tinh the cau true perovskite chi ton tai a trang thai ly tucmg trong mot so dieu kien nhat dinh Trong tu nhien, tai dieu kien binh thuang, cac tinh the gom perovskite co the co sir xe dich ve mat cau true, khien 6 ca sa eua no khong eon thupe he mang lap phuang niia Vi du vai BaTi03 ban kinh cua cation A nho, khong lap day kich thuac trong giiia cac khoi 8 mat lap bai anion O, dan den cation

A khong CO dugc lien ket ben vung vai 12 anion O Trong truang hgp nay, mang tinh the se bi keo dan theo mot phuang de cation A co the lien ket vung vai cac anion O Cu the, 6 ca so se bien dang tu hinh lap phucmg thanh tu giae, ti so c/a thay doi (e = 0.403 nm, a = 0.398 nm) Ngoai ra, khoi tam mat lap bai 8 anion O cQng bi xe dich xuong khoang 0.009 nm so vai cac mat cua hinh hop tir giae, cation

B nam trong khoi 8 mat tren bi xe dich len, tao nen su phan bo bat doi xung giua tam cua he anion va tam cua he cation Chinh dieu nay dan den dp phan cue tu phat cua tinh the BaTi03

Mot dac diem ly thu khac cua BaTi03 la cau true tinh the cua no phu thupe rat manh vao nhiet dp, dan tai viee mot so tinh chat nhu dp phan cue tu phat, hang so dien moi, ciang phu thupe rat manh vao nhiet dp Cu the, tinh the BaTi03 co the

CO cau true thupe 4 he mang khac nhau tuy thupe vao nhiet dp Tren nhiet dp Tc, BaTiOj CO cau true lap phuang dac trung bai nhom doi xung Pm3m (a = 0,402 nm) Trong khoang tu 130*^0 den 0°C, BaTi03 co cau true tu giae vai nhom doi xung P4mm va ti so c/a > 1 Khi do cac ion O^" va Ti'*'^ bi xe dich len va xuong doc theo true e ciia tinh the dan den sir hinh thanh dp phan cue tu phat theo huang [001] Tu O^C den -90^C, BaTi03 co cau true true giao thupc va dp phan cue tu phat dugc hinh thanh theo huang [110] Dual -90*^0, BaTi03 co cau true hinh thoi vai dp phan cue tu phat dugc hinh thanh theo huang [111] (xem hinh 3)

Hinh 3 Su phu thupc cua elu true tinh thi eua vat lieu BaTiOs vao nhiet dp [1]

6.2.3 Mot so UTig dung

Vai eae tinh chat phong phu nhu tinh sat dien va hien tugng tre, vat lieu ap dien CO kha nang ung dung trong nhieu ITnh virc eua eupc song Ngay nay, ung dung rpng rai nhat cua vat lieu nay la trong cac he vi ca dien tu MEMS Trong eae he thong nay, vat lieu thuang dugc sir dung nhu mot bp bien doi nang lugng

(transducer) de ehuyen doi qua lai giuB nang lugng dien va nang lugng ca Trong

tuang lai, mot trong nhung ung dung tiem nang eua vat lieu sat dien la eae thiet bi luu tru dir lieu nhu bp nha FeRAM hoae cac dla cung sir dung vat lieu ghi dien

6.3 Muc tieu va noi dung nghien cihi cua de tai

Viee mo rpng nang lire nghien cuu nham tiep can vai cac thanh qua tren the giai ve ITnh vue vat lieu ap dien-sat dien, lam chii cong nghe che tao, thu nghiem kha nang ung dung cua cac vat lieu la rat can thiet Trong de tai nay ehung toi du dinh su dung phuang phap thuy phan nhiet de che tao vat lieu BaTi03 dang hat c6

kich thuac nanomet, dang khoi va euoi cung a dang mang Cac nghien cuu ve cau

true tinh the, cau true vi mo va cac tinh chat dien cua cac vat lieu che tao cung se dugc tien hanh

Trong phan tiep theo nay chung toi se trinh bay nhiing npi dung nghien cuu chinh trong de tai nhu sau:

- Phan I Cac phuang phap che tao vat lieu

- Phan II Cac phuang phap khao sat cac tinh chat

- Phan III Ket qua va thao luan

Phan I CAC P H U O N G PHAP CHE TAO M A U

1.1 Bot BaTi03 kich thuoc nanomet

Trong cac phuang phap dieu che BaTi03 thi cac phuang phap tong hgp trong dung dich co nhieu uu diem nhu:

+ phan img dugc thuc hien trong dung dich nen cac phan tu ciia cac tien chat dugc phan tan tot tao kha nang tiep xiic tot giua cac chat phan ii'ng do do phuang phap nay doi hoi nhiet dp phan img thap ban nhieu so vai cac phuang phap co dien

-*- de dang kiem soat dugc cac yeu to nhu kich thuoc hat dp tinh khiet ciia san pham cuoi eiing

Vi nhung li do tren trong de tai nay chiing toi da chon phuang phap thiiy phan nhiet de nghien ciru che tao vat lieu BaTi03 Cac dieu kien cong nghe che tao khac

nhau da dugc khao sat nham tim ra dieu kien toi u'u che tao \at lieu a kich co nano voi cac tinh chat vat ly mong muon lam co so cho \ iec che tao \ a nghien cim cac

vat lieu dang khoi \ a mang tiep theo

Trong phuang phap thiiy phan nhiet cac chat ban dau la cac dung dich muoi Clorua ciia cac kim loai tuang img nhu BaCL va TiClj \ a i ty le thanh phan cac muoi ban dau dupe lua chpn phu hgp T\' le cation Ba;Ti ban dau co anh huong Ion den san pham va dugc chpn la 1.6:1 Dung dich hon hgp muoi kim loai tren dugc

bo sung tir tir KOH vao cho den khi pH =^ 13 Flon hop dung dich nioi sau do dugc

dua vao binh thuy phan nhiet va de vao tu say o nhiet dp T^ (co the tir 90°C den

400°C) trong thoi gian t^ (co the tir 30 phiit den hang chuc gia) San pham dugc Ipc rua bang nude cat \ a cho them HCl den Iclii pH = 6.5 roi tiep tuc Ipc Dung dich sau nay dugc dem Ipc bang bam chan khong, dugc lam kho \ a sa\' a nhiet dp 110 C trong 24 giL7

1.2 Vat lieu BaTi03 dang khoi

Bpt BaTiO; sau khi che tao dugc ep di huong bang ma\ ep Specac \ a i ap suat ep 5 can de dinh khuon dang thanh cac \ien del \ a i duang kinh khoang 10 mm

Sau do vat lieu dirge danh bong \ a phu mot lop dien circ bang keo Dac tren ca hai mat de dimg cho cac phep do tinh chat dien

J.3 Mang \ a t lieu HaTiOj

Bin RariC'- .-au khi ^-bc \A'^ ^huK run^; -\2ii mi ir'-iiii cihaiiol kl^iap.L; 3o phui

dc wanh hicn ui'ung kei lu -lau do cac iial ho[ Jut.^j ir-'ai ^ • ii uiu.a m\\ la epi ,;•

Epikote 828, khuay deu khoang 1 h bang may khuay va rung sieu am trong khoang 1

h Sau do hon hgp tren dugc khuay tiep tren bep co gia nhiet den nhiet dp 110 C, luc nay chat dong ran DDM (4,4'-diamine-diphenylmetane) dugc dua vao va qua trinh khuay tiep tuc cho den khi hoa tan hoan toan Cuoi eiing chung toi sir dung thiet

bi "bar-coating" (xem hinh 4) trai hon hgp tren len cac tam kinh (lamen) de tao mang va dong ran

Hinh 4 Sa do nguyen ly cua phuang phap "bar-coating"

Mot so thong so ky thuat da sir dung trong qua trinh che tao mang BaTi03 nhu sau: nhiet dp de 50 C dugc giir trong 30 phut, sau do tang len HOC trong 30 phut

va cuoi eiing la ISO^C trong 3 gia Dp day ciia eae mang che tao theo phuang phap nay nam vao khoang 50 |,Lm

11

PHAN II CAC PHirONG PHAP KHAO SAT CAC T I N H CHAT II.l Thiet bi nhieu xa tia X

Cau true tinh the va thanh phan pha eua bpt BaTiOs sau khi t6ng hgp bSng phuang phap thiiy nhiet dugc khao sat bing thiet bi nhieu xa tia X D5005 (Siemens) sir dung hire xa Cu vai buac song ;\.Ka = 1,5406 A dat tai truang Dai hpc Khoa hpc

Tu nhien, Dai hpc Quoc Gia Ha Npi (xem hinh 2.2) Goc quet 20 n^m trong khoang 20° den 70° vai dien ap sir dung 40 kV, dong dien 20 mA, t6c dp quet 0.2°/s cho mau bpt Doi vai mau mang, thiet bi dugc sir dung la XRD D8 Advance Bruker (;icuKa = 1.5418 A) (Bruker AXS) vai dien ap 40 kV, dong dien 40 mA, t6e dp quet 0.1 °/s (xem hinh 5)

Hinh 5 Thiet hi XRD D8 Advance Bruker AXS

11.2 Kinh hien vi dien tu quet (SEM)

Hien vi dien tir quet (SEM) la mot trong cac phuang phap cho phep khao sat

vi cau triie ciia vat lieu Cac anh SEM sir dung trong de tai dugc ehup tren kinh hien

vi dien tir quet co dp phan giai cao FE-SEM Hitachi S-4800 (Nhat Ban) dat tai Vien Khoa hpc vat lieu (Vien Khoa hpc va Cong nghe Viet Nam) vai dien the tir 20 ^ 35

kV, dp phong dai len den 100.000 Ian

11.3 Cac tinh chat dien

II.3.1 Xac dinh hang so dien moi

Bpt BaTi03 sau khi che tao dugc ep thanh vien co dang hinh dTa det vai duang kinh 10 mm Sau khi danh bong va phii dien cue tren be mat, cac mau khoi dugc sir

dung trong phep do dien dung tai nhiet dp phong nhu mot ham ciia dien the va tan

so sir dung he do LCR PM3550 (Tegam) (xem hinh 6) He do nay tan so lam viee tir IHz - 5Mhz va dien ap sir dung trong qua trinh do tir 0 den 5 V Gia tri dien dung ciia mau dugc do bai he do LCR nay tir do xac dinh hang so dien moi thong qua

Hinh 6 Thiet bi do LCR PM3550 Tegam

II.3.2 Xac djnh cac thong so cua vat lieu sat dien

Cac thong so ciia vat lieu sat dien dugc do dac tren cac vien ep sir dung he do tinh chat sat dien Radiant Precision LC 10 (Radiant) Cac dac trung ciia vat lieu sat dien c6 the xac dinh dugc bao gom duang cong dien tre P-E va dac trung dong do theo thai gian I-t Tan so dugc sir dung trong cac phep do la 1 kHz va dien the do co the thay doi den vai tram von

Hinh 7 Thiet bi do Radiant Precision LCIO

13

PHAN HI KET QUA NGHIEN ClTU III.l He BaTiOj dang bot va khoi

Trong de tai nay nhom nghien ciru da phoi hgp vai cac dong nghiep tai truang Dai hpc Khoa hoc tu nhien de che tao va nghien cim cac tinh chat cua vat lieu BaTi03 dang bpt Trong cac phan duai day, anh huang ciia mot so dieu kien cong nghe khac nhau nhu thai gian phan irng va nhiet dp phan img len cac tinh chat ciia vat lieu se dugc nghien cim

HI.1.1 Anh huoTig cua thtfi gian phan ung

Trong phan nay ehung toi tien hanh nghien cim anh huang ciia thai gian phan irng den su hinh thanh ciia vat lieu BaTi03 va cac tinh chat dien, sat dien ciia vat lieu che tao Cac mau dugc che tao a nhiet dp Tp^ = 150 C trong cac thai gian khac nhau tp^r tir 3.5 gia den 15 gia

a Cau true tinh the

^.J^Lt,„.-.^'^^3,5^K; ^v^.,v

20 25 30 35 40 45 50

29 (°)

55 60 65 70

Hinh 8 Gian do nhieu xa tia Xcua mau bot BTO theo tpu- khac nhau

Cac gian do nhieu xa tia X ciia cac mau dugc trinh bay tren hinh 8 Tir ket qua thu dugc c6 the rut ra mot so ket luan nhu sau:

- Vai thai gian phan img ngan 3.5 gia gian do nhieu xa ciia vat lieu co cac dinh nhieu xa vai cuang dp thap ban So sanh gian do nhieu xa nay vai dir lieu chudn CO th^ thay rang vat lieu co cau true lap phuang vai nhom doi ximg Pm3m Ben canh do xudt hien pha khong mong muon BaC03 do lugng du ion Ba^^ van ehua phan img h^t da tham gia vao qua trinh phan img vai C03^' tao cacbonat

- Khi tang thai gian phan img, lugng BaC03 giam dan va phan img tao BaTi03 hoan toan ket thiic sau 7 gia Tren gian do nhieu xa, cuong dp eae dinh nhilu xa ciia BaTi03 cung dugc tang cuang

- Khi thai gian phan img Ian ban hoae bang 10 gia bat dau quan sat thay sir djch ehuyen nho eua cac dinh nhieu xa ve phia ben phai (goc 20 Ian) Ket hgp vai thu vien du: lieu chuan, co the gia thiet rang BaTi03 ehuyen pha cau true tir dang lap phuang sang mot so cau true khac gan vai dang lap phuang, vi du cau true tir phucmg, mat thoi Khi tiep tuc tang thai gian phan img, the tich pha BaTi03 a cac dang cau triie mai se tiep tuc tang Hien tugng chuy§n pha eSu true nay ciia BaTi03

CO the dugc giai thich nhu sau Trong qua trinh phan irng cac hat vat lieu dugc tao

ra a dang cau true lap phuang, cac hat nay luon chiu tac dung ciia mot ap suat Ian trong binh phan irng Vi vay cac hat nay c6 xu huang bi bien dang va ehuyen sang cac cau true gan vai dang lap phuang Khi tang thai gian phan img xac suat bi bien dang cang Ian dan den sir ton tai dong thai cau true lap phuang va cac cau triic khac trong san pham Cac ket qua nay la rat ly thu, co anh huang den cac tinh chat ciia vat lieu che tao dugc va se dugc trinh bay them a cac phan sau Tir gian do nhieu xa tia X co the tinh dugc cac hang so mang tinh the ciia cau triie lap phuang

va tir phuang trong BaTi03 Cac ket qua tinh toan nay dugc tong ket tren bang 1

Bong L Sir phu thuoc cua cau tn'ic va hang so mang tinh the cua BTO vao thai gian /, pu

Thai gian (gia)

Cau true tir phuang

b Cau true vi mo

Cau true vi mo ciia eae mau che tao a tren da dugc nghien cim sir dung kinh hien vi dien tir quet dp phan giai cao Cac anh SEM ehup dugc trinh bay tren hmh 9 cho th§y cac hat BaTi03 dugc tao ra duai dang gan hinh cau, vai dp dong nhat cao

ve hinh dang va kich thuac Kich thuac trung binh ciia cac hat vao khoang 25 den

55 nm, tiiy thupc vao thai gian phan img (xem hinh 10) Khi tang thai gian phan

irng, nhin chung kich thuac hat tang do sir Ian len ciia cac hat tinh the

15

(O

Hinh 9 Anh SEM cac mau BTO dicac tong hgp trong thai gian tp^khdc nhau

3.5 gia (a), 5 gia d>), 7 gia (c), 10 gia (d), 15 gia (e)

c Tinh chat dien vd sat dien

Cac nghien ciru truac day da chi ra rang BaTi03 dugc dac trung bai hang so dien moi Ian Trong phan thuc nghiem tiep theo chiing toi tien hanh khao sat anh huang ciia nhiet dp phan img den hang so dien moi cua vat lieu Mau sir dung trong phep do nay co dang vien ep vai duang kinh 10 mm va chieu day vao khoang 0.5-1

mm Cac phep do hang so dien moi dugc tien hanh a gia tri dien the 5V tai cac tan

so khac nhau

Ket qua do dugc bieu dien tren hinh 11 chi ra rang a eae tan so do la

fI = 6 kHz hang so dien moi dat gia tri Ion nhat doi vai mau tong hgp a tp^ = 7 gia, vao khoang 1100 Khi thai gian phan img tang co sir ehuyen pha ciia tinh the BaTi03 tir cau triic lap phuang sang mot so cau true gan vai cau true dang xet nen gia tri ciia hang so dien moi giam Khi tang tan so do, gia tri ciia hang so dien moi

giam nhanh doi vai tat ca cac mau vi du mau dugc tong hgp trong tp^ = 7 (gia) co e

giam tir 1100 a tan so 6 kHz xuong con 290 a tan so 1 MHz

too -4 ~

f1 - 6 | k H z »

12 - 1000ikHi>

Thcri Sinn Cilif?)

Hinh J J Sir phu thuoc cua hang so dien moi vao thai gian tpu khac nhau

Vat lieu BaTi03 thupe nhom vat lieu sat dien nen viee nghien cim cac tmh ch§t nay la rdt ly thu Tren hinh 12 ehimg toi trinh bay ket qua khao sat duang cong dien tre P-V ciia cac mau BaTi03 tong hgp a cac thai gian phan img khac nhau Doi vai cac mau khong dan pha ve cau triic (tp^ =3.5 gia, 10 gia, 15 gia), duang cong P-V ciia cac mau co dang suy bien, thucrng dugc gpi la kieu van tay, va khong the xac dinh dugc dp phan cue bao boa Nguyen nhan co the do su hinh thanh ciia pha

la (d6i vai tpu nho) hoae eae dang thii hinh ciia cau true lap phuang (doi vai tp^ Ian) lam cau triic tinh the khong hoan bao va dp phan cue dien khong co dinh huang uu tien theo dien truang ngoai

17

OAi H O C Q U O C GIA HA NOI Tf^uNG ^> V "HQNG TIN THU VIEN

Tpu=}50T(b)

Doi vai mau BaTi03 dugc tong hgp trong thai gian 7 gia co dp ddng nh§t cao

nhat ve cau triic nen hang so dien moi Ion nhat va duang cong dien tre c6 dang dac

trung cua vat lieu sat dien Dieu nay c6 the dugc khang dinh thong qua viee do dong

do tren cac mau nay nhu trinh bay tren hinh 13 Mau vai tp^^ = 7 gia c6 dong do nho

nhat, ca 10'^ A/cm^ Trong khi do cac miu khac deu co dong do Ian ban vai bae, ca 10"^-I0-^ A/cml

Mau BaTi03 dugc tong hgp trong tp^ = 7 gia, Tpi, = 150 ^C co cac thong s6 sdt dien dac trung chua la Pr = 0.07 ^C/cm^, Ec = 306 V/cm con nho Dieu nay co the dugc giai thich do vai thiet bi do hien tai, gia tri dien ap ngoai Ian nhat ca 400 - 500

V la chua dii de bao hoa mau

III.1.2 Anh hirang cua nhiet do phan irng

De khao sat anh huong ciia nhiet dp den cac tirih chat ciia BaTi03 ehung toi da tien hanh cac thi nghiem tong hgp BaTi03 theo quy trinh trinh bay a phan II vai nhiet dp t6ng hgp eae mau Idn lugt la Tp^ = 120^0, 150°C, 180 ^C ciing trong thai gian phan irng tpi^ = 7 gia va mau co Tpi;= 210 ^C trong thai gian tp^ = 24 gia

a Cau true tinh the

Hinh 14 Gidn do nhieu xa tia Xcua mau bot BTO theo nhiet do Tpu khdc nhau

Gian do nhieu xa tia X ciia cac mau sau khi che tao dugc trinh bay tren hinh

14 Tir gian do nhieu xa thu dugc ta co mot so ket luan sau:

- So sanh gian do nhieu xa nay vai vai cac dir lieu chuan co the thay a nhiet

dp 120^C vat lieu co cau triic lap phuang vai nhom doi ximg Pm3m Tuy nhien tren gian do van xudt hien eae pha khong mong muon, vi du BaC03 Lugng BaCOs tao

ra Ian trong san ph4m anh huoaig khong tot den tinh chat ciia BaTiOs nhu lam giam hang so dien moi,

- Khi tang thai gian phan img lugng BaC03 giam dan va a nhiet dp 150^C bpt BaTi03 tao ra a dang dan pha lap phuang

- Khi nhiet dp phan irng tang den 180 C co mot phan BaTi03 ehuyen hoa tir pha c^u triic lap phuang sang cac dang thii hinh ciia cau true lap phuang, vi du tir phuang, mat thoi Hien tugng ehuyen pha cau true nay ciia BaTi03 co the dugc giai thich tuang tu nhu a phan III 1.1

19

Sir dung cac gian do nhieu xa tia X co the tinh dugc cac hang so mang tinh

the cua cac cau true tuang img ciia BaTi03 nhu tren bang 2

Bang 2 Sir phu thuoc cua cau true vd hang so mang tinh the cua BTO vdo nhiet do Tpu

Cau true tir phuang

a (A")

-4.0 4.0

c(A')

' -

4.03 4.03

b Cau triic vi mo

Cac ket qua khao sat cau true vi mo eiia cac mau bang kinh hien vi dien tir quet dugc trinh bay tren hinh 15 Tir cac anh SEM co the thay cac hat tinh the BaTi03 tao ra kha dong nhat ve hinh dang va kich thuac Khi nhiet dp tang kich thuac hat tinh the tang tir 35 nm den 75 nm (xem hinh 16) Dieu nay c6 the giai thich do su Ian len eua eae hat tinh the khi tang nhiet dp Nhu vay bang each kiem soat nhiet dp va thai gian phan irng ehung ta co the tao ra cac hat BaTi03 vai kich thuac hat va pha cau true mong muon

?i.^3L!:Ji:

(d)

Hinh 15 Anh SEM cac man BTO dugc tong hgp theo nhiet do Tpu khdc nhau: I20^C

(a), ]50^C (b), ISO'C (c), 2]0'C (d)

Hinh 16 Suphu thuoc kich thuac hat BaTiOs vdo nhiet phan img

e Tinh chat dien vd sat dien

Trong phan thuc nghiem tiep theo ehung toi tien hanh khao sat anh huang eua nhiet dp den tinh chat dien va sat dien ciia vat lieu nay Hang so dien moi ciia cac mau BaTi03 tong hgp a nhiet dp khac nhau dugc tinh tir phep do dien dung sir dung may do LCR Cac ket qua dugc tong hgp lai tren hinh 17 cho thay doi vai mau tong hgp a 150*^0 co hang so dien moi Ian nhat (e = 6840 do a tan s o / / ) do pha BaTi03 tao thanh a dang don pha lap phuang Doi vai mau tong hgp 120*^0 do trong san pham CO Ian BaC03 va pha BaTi03 c6 dp ket tinh khong cao nen lam cho hang so dien moi thap ban vai mau tong hgp a 150 C Khi nhiet dp tang mot phan BaTi03 ehuyen tir pha cau triic lap phuang sang pha cau true mai (tir phuang, mat thoi) lam cho hang so dien moi giam Nhu vay ehuyen pha cau triie khi nhiet dp tang lam giam hang so dien moi ciia BaTi03

Chiing toi cung tien hanh khao sat duang cong dien tre ciia cac mau BaTi03

tong hgp a nhiet dp phan img khac nhau Mot so ket qua dien hinh dugc trinh bay

tren hinh 18 cho hai mau tong hgp a I20°C va 150V

Tpu= 120^C(a), 150^C0y)

Doi vai mau BaTi03 tong hgp a Tp^ = 120 *^C trong tp^ = 7 gia, duang cong

dien tre co dang suy bien, thuang dugc gpi la kieu van tay Doi vai mau co Tp^ =

150^C duang cong dien tre co dang dac trung ciia vat lieu sat dien Dieu nay eiing

dugc giai thich tuang tu nhu truac day, do sir hinh thanh eua pha la (doi vai Tpu

nho) hoae cac dang thii hinh ciia cau triie lap phuang (doi vai Tpi^ Ian) lam cau true

tinh the khong hoan bao va dp phan cue dien khong co dinh huang uu tien theo dien

truang ngoai

Nhu vay vat lieu BaTi03 dang bpt va khoi da dugc che tao thanh cong va c6

the sir dung trong quy trinh che tao vat lieu dang mang cung nhu trong cac nghien

cuu thir nghiem img dung sau nay

III.2 Vat lieu B a T i O j dang mang

a Can true tinh the, can true vi mo

Tren hinh 19 la anh ehup cac mau mang dien hinh vai cac ham lugng BaTiOj

khac nhau len d§n 10% che tao bang phuang phap "bar-coating" Cac mang c6 mau

nau vang, la mau dac trung ciia nhira nen epoxy sau khi xir ly nhiet

*

-Lmaifa irflT<ifMHiHta>iM.«h^^ L MnidtJiUtAMluaiM^

//m/2 19 Anh ede mau mang BaTiOyepoxy vai cac ham hcgng khdc nhau:

l%(a), 5%(b)vd 10%(c)

Ket qua do nhieu xa tia X cua cac mang tren dugc trinh bay tren hinh 20 Nhin chung eae dinh nhieu xa thu dugc deu thupe ve cau triic tinh the dang lap phuang (Pm3m) ciia BaTi03 Viee tinh toan sir dung cac dinh nhieu xa cho th4y h^ng so

mang tinh the vao khoang 4.02 A, gan giong vai cac mau bpt ban dku

va hoa ly ciia vat lieu mang to hgp Viee nghien cim cau triic vi mo ciia mot mau

23

dien hinh nhu mang vai 10%> BaTi03 cGng cho thay day la ty le toi uu tai do cac hat phan tan tot hat trong chat nhua nen nhu trong anh vi cau true tren hinh 21

Hinh 21 Anh SEM cua mdng BTO-epoxy vai 10% BTO

b Tinh chat dien

Mot trong eae tinh chat vat ly thuang dugc quan tam ciia he mang to hgp do la cac tinh chat dien ciia chiing Tren hinh 22 cho thay su phu thupc ciia hang so dien moi vao ham lugng BaTi03 tren cac mang do tai mot so tan so khac nhau Cac gia tri hang so dien moi nay dugc tinh tir gia tri dien dung do tren thiet bi do LCR Nhin chung, vai mang to hgp ciia BaTi03 va epoxy co hang so dien moi thap ban nhieu so vai vat lieu dang khoi, ly do la do sir pha loang ciia BaTi03 eiing rihu dong gop mot phan ciia vat lieu nen epoxy Neu ehung ta quan tam den mot so tinh chat khac, nhu co tinh va tinh chat hoa ly, thi tinh chat dien nay ciia vat lieu to hgp co the chap nhan dugc Tuy nhien viee nghien cim de nang cao tinh chat dien ciia vat lieu to hgp la can thiet va dang dugc tiep tuc nghien cim

111.3 Mo hinh hoa mot so tinh chat cua vat lieu cau true ABO3

Ben canh cac ket qua thuc nghiem, ehung toi cung tien hanh mot so nghien cim ly thuyet nham mo hinh hoa mot so tinh chat dien va tir ciia vat lieu cau true ABO3 Chiing toi da thu dugc mot so ket qua ban dau tren he vat lieu BiMn03 va dang ma rpng cac tinh toan cho he vat lieu BaTi03

111.4 He bang tir Finemet

Ben canh viee che tao vat lieu dang mang to hgp chira vat lieu sat dien nhu BaTi03-epoxy, chiing toi cung du dinh nghien cim che tao mot so loai mang to hgp khac, vi du giira BaTi03 va vat lieu bang tir giao Fe73.5CuNb3Sii3 5B9 (Finemet) Vi vay phan cuoi nay se de cap den mot so nghien cim ban dau ve vat lieu Finemet Ket qua do nhieu xa tia X ciia cac bang tir Finemet cho thay vai mau sau khi che tao khong co dinh nhieu xa do a trang thai v6 dinh hinh Sau khi ii nhiet se xuat hien cac dinh nhieu xa do su hinh thanh va Ian len ciia hat tinh the (Fe) trong qua trinh ii nhiet Anh vi cau triic ciia eae mau Finemet (xem hinh 23) cho thay vai mau sau khi ii nhiet a 350 °C, eae hat tinh the (Fe) co kich thuoc trung binh la 20 rmi va phan bo deu tren toan bp be mat mau

Hinh 23 Anh SEM cua bang tir Finemet: chua it nhiet (a) vd sau khi u tai 350 X2 (b)

Mot so ket qua nghien ciai ve tinh chat tir va tir giao nguge tren he vat lieu nay cung dugc tien hanh Cac ket qua cho thay duai tac dung ciia img suat ngoai, tinh chat tir ciia vat lieu thay doi manh dan den sir xuat hien ciia mot dien the cam img [6] Dieu nay chho thay viee ket hgp giira vat lieu nay va vat lieu ap dien-BaTi03 co tinh kha thi Cac nghien cim ve van de nay dang dugc tiep tuc tien hanh

25

KET LUAN CHUNG

Cac ket qua chinh thu dugc trong de tai gom co;

- Nghien cim quy trinh cong nghe che tao vat lieu BaTi03 dang bpt kich thuoc nano, dang khoi va dang mang sir dung cac phuang phap Hoa hpc (thiiy phan nhiet) va Vat ly ("bar-coating") O dieu kien nhiet dp phan ung 150°C va thai gian 7 h co the tong hgp dugc vat lieu BaTi03 vai kich thuac hat ca 50 nm vai hang so dien moi len den 6800

- Nghien cim anh huang ciia mot so dieu kien cong nghe nhu nhiet dp, thai gian phan irng va nong dp len cau true tinh the, cau triic vi mo va cac tinh chat ciia cac vat lieu che tao

- Nghien cuu mot so tinh chat ciia bang tir Finemet du dinh diing lam de trong quy trinh tao mang BaTi03

6.4, Dja diem, thai gian va phirong phap nghien cihi (ghi ro ten, ky ma hieu, ma so

quan ly ciia phuang tien nghien ciru nhu: cac trang thiet bj, he thong thiet bj, ehuang trinh,

he thong phan mem da sir dung trong khi thuc hien d^ tai, dac biet la nhung phuang tien dugc dau tu tai dan vi qua cac du an)

Cac nghien cim dugc thuc hien tai truang Dai hpc Cong nghe, truang Dai hoc

Khoa hpc tu nhien (DHQGHN) va cac vien nghien cim hgp tac khac trong nuae:

- Nghien cim che tao vat lieu BaTiOs dang bpt, khoi va mang mong bang eae phuang phap Hoa hpc va Vat ly ket hgp

- Nghien ciru cac cau true tinh the va vi cau true ciia bpt va vat lieu bia che

tao dugc: thiet bi nhieu xa tia X va kinh hien vi dien tir quet FE-SEM

- Nghien cim cac tinh chat dien va sat dien ciia mang che tao dugc: he do LCR va he do Radiant Precision LC 10

6.5 Ket qua nghien ciru (gom cac phan)

6.5.1 Cac cong bo lien quan den ket qua ciia de tai (chi chap nhan cdc bdo

cdo, bdi bdo hoqc cdc tdi Hieu ehuyen khdo cong bo tren cdc an pham khoa hoc

cong nghe co ghi ro thuc hien trong khuon kho cua de tdi vd mot phan dugc tdi

trg tic de tdi)

- Pham Dire Thang, Ho Thi Anh, Hat nano sat dien BaTi03: che tao va nghien cim mot so tinh chat dac trung, Tuyen tap Hoi nghi Vat ly chat ran va Khoa hpc Vat lieu toan qu6c Ian thir 6, Da N^ng 8-10/11/2009

- Pham Dire Thang, Nguyen Ba Doan, Mo phong mot so tinh chat ciia vat lieu multiferroic BiMn03 bang phuang phap gan dung truang trung binh, Tuyen tap Hoi nghi Vat ly chat ran va Khoa hpc vat lieu toan quoc l4n thir 6,

Da Nang 8-10/11/2009

- Pham Due Thang, Hoang Hai Duong and Nguyen Hoang Nghi, Magnetic and sensitive magnetoelastie properties of Finemet nanostructured ribbon Journal of Physics: Conference Series 187 (2009) 012062

6.5.2 Ket qua dao tao cua De tai (Giai thieu danh muc va npi dung chinh cac

luan van ThS (LV), cac khoa luan (KL) ciia SV da hoan thanh trong qua trinh thuc hien d6 tai, cac LV, KL nay trong lai noi dau can ghi ro la da dupe hoan thanh hoae mot phan dugc hoan thanh trong khuon kho de tai Ma so QC.08.09)

27

Ten KLTN: Nghien cim che tao hat sat dien cau triic perovskite

Sinh vien: Ho Thi Anh

Khoa: QH-2005-I/CQ-V Chuyen ngdnh: Vat ly ky thuat

Tom tat noi dung:

Khoa luan tot nghiep nay trinh bay phuang phap che tao hat sat dien co cau true perovskite BaTi03 bang phuang phap thuy nhiet va khao sat ve cau true tinh the va

vi mo, cac tinh chat dien va sat dien ciia vat lieu che tao dupe Chiing toi da nghien ciru cau triic tinh the va cau true vi mo cua BaTiOj dupe tong hgp trong dieu kien phan irng khac nhau bang eae phep do nhiiu xa tia X va ehup anh hien vi dien tir quet Tinh chat dien va sat dien eua BaTi03 dugc xac djnh thong qua phep do hang

so dien moi bang may hien so LCR va do duang cong dien tre bang he do cac tinh chat sat dien

- Ten KLTN: Mo hinh hoa mot so tinh chat ciia vat lieu multiferroics BiMnOs Sinh vien: Nguyen Ba Doan

Khoa: QH-2005-I/CQ-V Chuyen ngdnh: Vat ly ky thuat

Tom tat noi dimg:

Trong khoa luan nay chung toi da sir dung mot so mo hinh Vat ly de mo phong va tinh toan mot so tinh chat dac trung ciia mot trong cac multiferroics dien hinh la BiMnOs Bang viee sir dung cac mo hinh khac nhau nhung c6 tinh ke thua nhu mo hinh Ising su dung nghiem Onsager, phuang phap gan diing truang trung binh dua tren m5 hinh Ising ma rpng va phuong phap Monte Carlo, ehimg toi da mo hinh hoa va mo phong lai cac tinh chat dac trung ciia vat lieu can nghien ciru Viee phat trien cac mo hinh neu tren da cho phep mo rpng viee tinh toan khi co anh huang cua dien truang va tu truong, khong chi cho cac tinh chat tir ma con ca tinh ehSt dien Cac ket qua thu dugc nhu su bien thien ciia tir dp, dp cam tu, dp phan cue dien, hang so dien moi theo nhiet dp va tir truang cung nhu cac nhiet dp chuyen pha sat tu - thuan tu Tcm = 105 K va sat dien - thuan dien Tee = 450 K la phu hgp tot vai ket qua thuc nghiem

6.5.3 Ket qua irng dung cua De tai (neu c6, neu ro kha nang triln khai rpng

rai, hieu qua ciia viee img dung ket qua ciia de tai)

6.6 Thao luan (tuy theo mire dp va quy mo ciia de tai, bao cao de tai can thao luan danh

gia ve cac ket qua da dat dupe ciia de tai: lam ro nhiing npi dung, nhijng diem mai trong

phuang phap nghien cuu, so sanh vai eae kit qua ciia cac nghien cuu truac do hoae tinh

doc dao (originality) ciia ket qua de tai)

- Nhom tac gia tham gia thuc hien de tai da nghien cim quy trinh cong nghe che tao vat lieu BaTi03 dang bpt kich thuac nano, dang khoi va dang mang sir dung cac phuang phap Hoa hpc (thiiy phan nhiet) va Vat ly ("bar-coating")

Trong xu huang nghien cim ve cac vat lieu mai chire nang hien nay, ben canh cac cong nghe hien dai va tinh vi, viee lam chii cac cong nghe che tao dan gian vai chi phi phu hgp la rat can thiet de c6 the da dang cac phuang phap nghien cim, chii dong trong viee che tao vat lieu va thir nghiem cac kha nang irng dung tai Viet Nam

- Nghien cim anh huang ciia mot so dieu kien cong nghe nhu nhiet dp, thai gian phan irng va nong dp len cau true tinh the, cau true vi mo va cac tinh chat ciia eae vat lieu che tao

- Nghien cim mot so tinh chat eua bang tir Finemet du dinh dimg lam de trong quy trinh tao mang BaTi03

Cac ket qua nghien ciru tren da dugc (chap nhan) xuat ban tren mot so tap chi nuae ngoai va tuyen tap hoi nghi quoc gia

6.7 Ket luan va kien nghj

Ve CO ban nhom tac gia thuc hien de tai da hoan thanh cac nhiem vu dugc giao, thanh quyet toan ve tai chinh theo dung cac quy dinh ciia Nha nuae

6.8 Tai lieu tham khao (phan nay viet theo qui dinh ciia Tap chi KH - DHQGHN)

Tai lieu tieng nuae ngoai

[I] K Uehino, in Comprehensive Composite Materials: Piezoelectric Composites, Elsevier, Amsterdam, 2000; va cac tai lieu trich dan

[2] M.C Cheung, H.L.W.Chan, Nanostructured Material 11 (1999) 837

[3] R Kilmel, R Allen, G Vladimir, J Am Ceram Soe 84 ((2001) 1172

[4] S K Koo, Materials Letters, 57 (2003) 2201

[5] Y Sakabe et al, J European Ceramic Society 25 (2005) 2739

[6] P,D Thang, H.H Duong and N.H Nghi, Journal of Physics: Conference Series 187 (2009)012062

29

7 PHU LUC