Luận văn thạc sĩ nghiên cứu các yếu tố Ảnh hưởng Đến sai số khi Đo profile bề mặt chi tiết máy khi sử dụng máy Đo ba chiều vk450

Hinh 1.34: Những đặc trưng cơ bán của nhấp nhô bề mặt điện gủa bể mặt được do cất bởi mặt phẳng theo - Bước cũu nhấp nh: Là khoảng cách giữa các đình của nhấp nhô chủ kì nhấp nhỏ ký hi

Bộ giáo dục và đào tạo

Trường đại học bách khoa hà nội

Nguyễn kiều Ân

Nghiên cứu các yếu tỗ ảnh hưởng tiến sai số khi đu profile hề mặt chỉ tiết máy khi sử dụng

máy đo ba chiều vk450

Chuyển ngành: Máy Chính xác

Mã số:

Luận văn thạc sĩ khoa học

Người hướng đẫn khoa học

'TS Nguyễn Thị Phương Mai

11à nội - 2010

Muc luc

Trang

Muc luc

Chương I: Tổng quan về các nhường nháp da dộ nhằm thông dụng

1.1 Khái niệm và định nghĩa độ nhám bề mặt 3

1.1.2 Dặc trưng cơ bản của nhấp nhé bé mat 4

1.1.3 Các chỉ tiêu đánh giá độ nhám bề mặt 6

1.2.1.1 Nguyên tắc chung oũa phương pháp 7

1.2.1.2 Ưu nhược điểm của phương pháp đo tiếp xúc 7 1.2.1.3 Các phương pháp đo độ nhám theo nguyên tắc đo

§

tiếp xúc

2.2.2 Ưu nhược điểm của phương pháp đo không tiếp xúc 10 1.2.2.3 Các phương pháp đo độ nhám theo nguyên tắc đo

1.2.3 Phương pháp đo độ nhám bằng ảnh toàn ký điện tử 2

1.2.3.2 ảnh toàn ký đồng trục 24

1.2.3.4 ảnh toàn ký sử đụng 2 sóng khác nhau 28

Chương II: Nghiên cứu về ảnh toàn ký điện tử

2.1 Tạo ánh Loàn kỹ diện tử

2.2.1 Kính hiển vị giao thoa

2.2.2 Kính hiển vị giao thoa khuyếch đại pha

a Phương pháp quang học

b Phương pháp số

c Phương pháp chuyển dịch pha trong sự tái tạo quang học

d Phương pháp chuyển địch pha trong hiển vi điện tử

2.2.3 Tải tạo hình ảnh ba chiêu

3.1 Tìm hiểu về máy đo VK 450

3.1.1 Giới thiệu Linh năng hoạt dộng

3.1.2 Dánh giá bề mặt chỉ tiết qua phân tích ảnh trên VK 450

về cầu trúc prolile và độ nhám của chỉ tiết

3.2 Chế tạo mẫu nhám bê mặt

3.2.1 Chế độ cắt của mẫu phay

61

74 74

DANH MuC CaC HiNH

Chương 1

3 Hình 13a Những đặc rung co ban của nhập nhỏ bè

mat

4 Hình 1.3b Mô t chiên đài chuân , chiều dải khoảng

đo lường

ó6 | Hinhl.5 Mô tả dạng bễ mặt kiếm tra vá quỹ tích tâm

đầu đo

7 Hinh 1.6 Neuyén ly do ciia Profilemet kiéu thuan co

khí

8 Hinh 1.7 Nguyên lý đo của Profilegafa kiêu cảm ứng |

10 | Hinh19.a Nguyên lý dúng bản móng hình nêm

13 | Hinh1.10 Nguyên lý đo của đựng cụ

16 | Hinh 1.14 Mô tã độ nhấp nhé cea bé mat theo mau sac

17 | Binh 1.15 ‘M6 ta 3D cita bé mat vat ligu

18 Tĩnh 1.16 Nguyên lý đo của phương pháp đồm sáng

19 | Hìmhll?7 ảnh toàn ký điện tử đồng trục cửa một điểm:

vật

20 | Tinh 1.18 Tlinh anh tai tạo không bị cản trở bởi ảnh

kết hợp, các kích thước được giảm trong

qua trình hình thành ảnh toàn ký

21 | Hinh 1.19 Phuong pháp ảnh toàn ký lệch trục của đối

tượng điểm

Chương 2

22 | Hinh21 Biểu đỏ tia ánh dao thoa điện tử

23 | Hinh2.2 Sơ đồ mặt cắt ngang của kính hiển vi điện

tử tạo ảnh toàn ký

24 _ | Hinh23a,b Lãng kinh điện tứ kép

25 Hình 2.4 Hệ thống tái tạo lại ảnh bằng kính hiển vì

giao thoa

6 | Hinh 2.5 a,b anh giao thea

27 Hình 2.6 a.b Nguyên ly sau kbuyéch đại pha kính hiển vi

Hinh 1.34: Những đặc trưng cơ bán của nhấp nhô bề mặt

điện gủa bể mặt được do cất bởi mặt phẳng theo

- Bước cũu nhấp nh: Là khoảng cách giữa các đình của nhấp nhô (chủ kì

nhấp nhỏ) ký hiệu là p.

DANH MuC CaC HiNH

Chương 1

3 Hình 13a Những đặc rung co ban của nhập nhỏ bè

mat

4 Hình 1.3b Mô t chiên đài chuân , chiều dải khoảng

đo lường

ó6 | Hinhl.5 Mô tả dạng bễ mặt kiếm tra vá quỹ tích tâm

đầu đo

7 Hinh 1.6 Neuyén ly do ciia Profilemet kiéu thuan co

khí

8 Hinh 1.7 Nguyên lý đo của Profilegafa kiêu cảm ứng |

10 | Hinh19.a Nguyên lý dúng bản móng hình nêm

13 | Hinh1.10 Nguyên lý đo của đựng cụ

16 | Hinh 1.14 Mô tã độ nhấp nhé cea bé mat theo mau sac

17 | Binh 1.15 ‘M6 ta 3D cita bé mat vat ligu

18 Tĩnh 1.16 Nguyên lý đo của phương pháp đồm sáng

19 | Hìmhll?7 ảnh toàn ký điện tử đồng trục cửa một điểm:

vật

20 | Tinh 1.18 Tlinh anh tai tạo không bị cản trở bởi ảnh

kết hợp, các kích thước được giảm trong

qua trình hình thành ảnh toàn ký

21 | Hinh 1.19 Phuong pháp ảnh toàn ký lệch trục của đối

tượng điểm

Chương 2

22 | Hinh21 Biểu đỏ tia ánh dao thoa điện tử

23 | Hinh2.2 Sơ đồ mặt cắt ngang của kính hiển vi điện

tử tạo ảnh toàn ký

24 _ | Hinh23a,b Lãng kinh điện tứ kép

25 Hình 2.4 Hệ thống tái tạo lại ảnh bằng kính hiển vì

giao thoa

6 | Hinh 2.5 a,b anh giao thea

27 Hình 2.6 a.b Nguyên ly sau kbuyéch đại pha kính hiển vi

3.2.2 Kết quả đo độ nhám của các mẫn gia công phay bằng phương

3.2.2 Kết quả đo độ nhám của các mẫn gia công phay bằng phương

DANH MuC CaC BaNG

1 | Bâng31 khoảng cách quan sát của đèn

2 | Bảng3.2 Chế dộ cất của mẫu phay khi thay dối tốc độ cát từ

6 | Bảng36 Kết quả đo độ nhám của loạt mầu thứ hai

7_— | Bảng 37 Tết quả do độ nhám: cửa lưạt mẫu thứ ba

8 Bang 3.8 So sảnh phương, pháp đầu đỏ tiếp xúc và phương pháp

quang học

28 | Ainh2.7 TH thống quang học lái tạo lại đối với gian

thoa dimg kinh hién vi điện tử

29 | Hinh28 Hệ thống lọc quang trong không gian đổi

với dạng khuyếch đại pha

30 | Hình29 He thong tai tạo lại đối với khuyếch đại pha

của kinh hiển vi ding cf hai phương pháp

quang học và phương pháp số

31 | Hình210 Nguyên lý sau dịch chuyển pha của đụng cụ

do giao thoa

32 | Hìni211 Nguyén ly sau tomography trên máy tỉnh

33 | Minh 2.12 Quan sát tức thời ánh toàn ký điện tứ sứ

37 | Hmh216 TH thống tái tạo lan quang học đề điều

40 | Hinh 3.1 May do ba chiều VK 450

41 Tĩnh 3.2 Mô tả chúc năng trường qua sát sầu

43 | Hìh343 Mô tả chức năng phóng đại hình ảnh

43 | Hinh3.4 Mô tả khả năng làm giảm các yếu tố anh

hướng,

45 | Hinh3.6 Mồ tả bộ thích nghị chiếu sảng, thẳng dimg

46 | Hinh3.7 Mô tả quan sát một IC với độ phóng, đại

49 | Hinh 3.10 ảnh bể mặt cửa lớp bể mặt phay thép CT45

51 Hinh 3.12 Quan hệ giữa Ra vả tốc độ cất V

52 | Hìn313 Quan hệ giữa Ra và bức tiên S

53 | Hinh 3.14 Quan hệ giữa Ra và chiêu sâu cất t

28 | Ainh2.7 TH thống quang học lái tạo lại đối với gian

thoa dimg kinh hién vi điện tử

29 | Hinh28 Hệ thống lọc quang trong không gian đổi

với dạng khuyếch đại pha

30 | Hình29 He thong tai tạo lại đối với khuyếch đại pha

của kinh hiển vi ding cf hai phương pháp

quang học và phương pháp số

31 | Hình210 Nguyên lý sau dịch chuyển pha của đụng cụ

do giao thoa

32 | Hìni211 Nguyén ly sau tomography trên máy tỉnh

33 | Minh 2.12 Quan sát tức thời ánh toàn ký điện tứ sứ

37 | Hmh216 TH thống tái tạo lan quang học đề điều

40 | Hinh 3.1 May do ba chiều VK 450

41 Tĩnh 3.2 Mô tả chúc năng trường qua sát sầu

43 | Hìh343 Mô tả chức năng phóng đại hình ảnh

43 | Hinh3.4 Mô tả khả năng làm giảm các yếu tố anh

hướng,

45 | Hinh3.6 Mồ tả bộ thích nghị chiếu sảng, thẳng dimg

46 | Hinh3.7 Mô tả quan sát một IC với độ phóng, đại

49 | Hinh 3.10 ảnh bể mặt cửa lớp bể mặt phay thép CT45

51 Hinh 3.12 Quan hệ giữa Ra vả tốc độ cất V

52 | Hìn313 Quan hệ giữa Ra và bức tiên S

53 | Hinh 3.14 Quan hệ giữa Ra và chiêu sâu cất t

3.2.2 Kết quả đo độ nhám của các mẫn gia công phay bằng phương

Hinh 1.1: Minh hoạ các khải niệm bé mat

- Bé mat bình học: Là bề mặt ngăn cách giữa vật thể và môi trường xưng quanh, không tôn tại các nhấp nhô và các sai lệch về hình dạng

~ BÊ mặt thực: Là bễ mặt ngần cách giữa chỉ tiết và môi trường, là sán phẩm nhận được sau một quá trình gia công đế tạo ra vật thẻ đó

~ BÊ mặt đo: Là bề mặt nhận được sau quá trình sao chép từ bê mặt thực của chỉ tiết cản do qua dung cu do

- Profile hinh hoc: Là tiết điện của bê mặt hình học được cắt bởi mặt phẳng,

theo phương nhật định số với bế mặt hình học,

DANH MuC CaC BaNG

1 | Bâng31 khoảng cách quan sát của đèn

2 | Bảng3.2 Chế dộ cất của mẫu phay khi thay dối tốc độ cát từ

6 | Bảng36 Kết quả đo độ nhám của loạt mầu thứ hai

7_— | Bảng 37 Tết quả do độ nhám: cửa lưạt mẫu thứ ba

8 Bang 3.8 So sảnh phương, pháp đầu đỏ tiếp xúc và phương pháp

quang học

DANH MuC CaC HiNH

Chương 1

3 Hình 13a Những đặc rung co ban của nhập nhỏ bè

mat

4 Hình 1.3b Mô t chiên đài chuân , chiều dải khoảng

đo lường

ó6 | Hinhl.5 Mô tả dạng bễ mặt kiếm tra vá quỹ tích tâm

đầu đo

7 Hinh 1.6 Neuyén ly do ciia Profilemet kiéu thuan co

khí

8 Hinh 1.7 Nguyên lý đo của Profilegafa kiêu cảm ứng |

10 | Hinh19.a Nguyên lý dúng bản móng hình nêm

13 | Hinh1.10 Nguyên lý đo của đựng cụ

16 | Hinh 1.14 Mô tã độ nhấp nhé cea bé mat theo mau sac

17 | Binh 1.15 ‘M6 ta 3D cita bé mat vat ligu

18 Tĩnh 1.16 Nguyên lý đo của phương pháp đồm sáng

19 | Hìmhll?7 ảnh toàn ký điện tử đồng trục cửa một điểm:

vật

20 | Tinh 1.18 Tlinh anh tai tạo không bị cản trở bởi ảnh

kết hợp, các kích thước được giảm trong

qua trình hình thành ảnh toàn ký

21 | Hinh 1.19 Phuong pháp ảnh toàn ký lệch trục của đối

tượng điểm

Chương 2

22 | Hinh21 Biểu đỏ tia ánh dao thoa điện tử

23 | Hinh2.2 Sơ đồ mặt cắt ngang của kính hiển vi điện

tử tạo ảnh toàn ký

24 _ | Hinh23a,b Lãng kinh điện tứ kép

25 Hình 2.4 Hệ thống tái tạo lại ảnh bằng kính hiển vì

giao thoa

6 | Hinh 2.5 a,b anh giao thea

27 Hình 2.6 a.b Nguyên ly sau kbuyéch đại pha kính hiển vi

Hinh 1.34: Những đặc trưng cơ bán của nhấp nhô bề mặt

điện gủa bể mặt được do cất bởi mặt phẳng theo

- Bước cũu nhấp nh: Là khoảng cách giữa các đình của nhấp nhô (chủ kì

nhấp nhỏ) ký hiệu là p.

Hinh 1.34: Những đặc trưng cơ bán của nhấp nhô bề mặt

điện gủa bể mặt được do cất bởi mặt phẳng theo

- Bước cũu nhấp nh: Là khoảng cách giữa các đình của nhấp nhô (chủ kì

nhấp nhỏ) ký hiệu là p.

DANH MuC CaC HiNH

Chương 1

3 Hình 13a Những đặc rung co ban của nhập nhỏ bè

mat

4 Hình 1.3b Mô t chiên đài chuân , chiều dải khoảng

đo lường

ó6 | Hinhl.5 Mô tả dạng bễ mặt kiếm tra vá quỹ tích tâm

đầu đo

7 Hinh 1.6 Neuyén ly do ciia Profilemet kiéu thuan co

khí

8 Hinh 1.7 Nguyên lý đo của Profilegafa kiêu cảm ứng |

10 | Hinh19.a Nguyên lý dúng bản móng hình nêm

13 | Hinh1.10 Nguyên lý đo của đựng cụ

16 | Hinh 1.14 Mô tã độ nhấp nhé cea bé mat theo mau sac

17 | Binh 1.15 ‘M6 ta 3D cita bé mat vat ligu

18 Tĩnh 1.16 Nguyên lý đo của phương pháp đồm sáng

19 | Hìmhll?7 ảnh toàn ký điện tử đồng trục cửa một điểm:

vật

20 | Tinh 1.18 Tlinh anh tai tạo không bị cản trở bởi ảnh

kết hợp, các kích thước được giảm trong

qua trình hình thành ảnh toàn ký

21 | Hinh 1.19 Phuong pháp ảnh toàn ký lệch trục của đối

tượng điểm

Chương 2

22 | Hinh21 Biểu đỏ tia ánh dao thoa điện tử

23 | Hinh2.2 Sơ đồ mặt cắt ngang của kính hiển vi điện

tử tạo ảnh toàn ký

24 _ | Hinh23a,b Lãng kinh điện tứ kép

25 Hình 2.4 Hệ thống tái tạo lại ảnh bằng kính hiển vì

giao thoa

6 | Hinh 2.5 a,b anh giao thea

27 Hình 2.6 a.b Nguyên ly sau kbuyéch đại pha kính hiển vi

Hinh 1.34: Những đặc trưng cơ bán của nhấp nhô bề mặt

điện gủa bể mặt được do cất bởi mặt phẳng theo

- Bước cũu nhấp nh: Là khoảng cách giữa các đình của nhấp nhô (chủ kì

nhấp nhỏ) ký hiệu là p.

3.2.2 Kết quả đo độ nhám của các mẫn gia công phay bằng phương

28 | Ainh2.7 TH thống quang học lái tạo lại đối với gian

thoa dimg kinh hién vi điện tử

29 | Hinh28 Hệ thống lọc quang trong không gian đổi

với dạng khuyếch đại pha

30 | Hình29 He thong tai tạo lại đối với khuyếch đại pha

của kinh hiển vi ding cf hai phương pháp

quang học và phương pháp số

31 | Hình210 Nguyên lý sau dịch chuyển pha của đụng cụ

do giao thoa

32 | Hìni211 Nguyén ly sau tomography trên máy tỉnh

33 | Minh 2.12 Quan sát tức thời ánh toàn ký điện tứ sứ

37 | Hmh216 TH thống tái tạo lan quang học đề điều

40 | Hinh 3.1 May do ba chiều VK 450

41 Tĩnh 3.2 Mô tả chúc năng trường qua sát sầu

43 | Hìh343 Mô tả chức năng phóng đại hình ảnh

43 | Hinh3.4 Mô tả khả năng làm giảm các yếu tố anh

hướng,

45 | Hinh3.6 Mồ tả bộ thích nghị chiếu sảng, thẳng dimg

46 | Hinh3.7 Mô tả quan sát một IC với độ phóng, đại

49 | Hinh 3.10 ảnh bể mặt cửa lớp bể mặt phay thép CT45

51 Hinh 3.12 Quan hệ giữa Ra vả tốc độ cất V

52 | Hìn313 Quan hệ giữa Ra và bức tiên S

53 | Hinh 3.14 Quan hệ giữa Ra và chiêu sâu cất t

DANH MuC CaC BaNG

1 | Bâng31 khoảng cách quan sát của đèn

2 | Bảng3.2 Chế dộ cất của mẫu phay khi thay dối tốc độ cát từ

6 | Bảng36 Kết quả đo độ nhám của loạt mầu thứ hai

7_— | Bảng 37 Tết quả do độ nhám: cửa lưạt mẫu thứ ba

8 Bang 3.8 So sảnh phương, pháp đầu đỏ tiếp xúc và phương pháp

quang học

DANH MuC CaC BaNG

1 | Bâng31 khoảng cách quan sát của đèn

2 | Bảng3.2 Chế dộ cất của mẫu phay khi thay dối tốc độ cát từ

6 | Bảng36 Kết quả đo độ nhám của loạt mầu thứ hai

7_— | Bảng 37 Tết quả do độ nhám: cửa lưạt mẫu thứ ba

8 Bang 3.8 So sảnh phương, pháp đầu đỏ tiếp xúc và phương pháp

quang học

28 | Ainh2.7 TH thống quang học lái tạo lại đối với gian

thoa dimg kinh hién vi điện tử

29 | Hinh28 Hệ thống lọc quang trong không gian đổi

với dạng khuyếch đại pha

30 | Hình29 He thong tai tạo lại đối với khuyếch đại pha

của kinh hiển vi ding cf hai phương pháp

quang học và phương pháp số

31 | Hình210 Nguyên lý sau dịch chuyển pha của đụng cụ

do giao thoa

32 | Hìni211 Nguyén ly sau tomography trên máy tỉnh

33 | Minh 2.12 Quan sát tức thời ánh toàn ký điện tứ sứ

37 | Hmh216 TH thống tái tạo lan quang học đề điều

40 | Hinh 3.1 May do ba chiều VK 450

41 Tĩnh 3.2 Mô tả chúc năng trường qua sát sầu

43 | Hìh343 Mô tả chức năng phóng đại hình ảnh

43 | Hinh3.4 Mô tả khả năng làm giảm các yếu tố anh

hướng,

45 | Hinh3.6 Mồ tả bộ thích nghị chiếu sảng, thẳng dimg

46 | Hinh3.7 Mô tả quan sát một IC với độ phóng, đại

49 | Hinh 3.10 ảnh bể mặt cửa lớp bể mặt phay thép CT45

51 Hinh 3.12 Quan hệ giữa Ra vả tốc độ cất V

52 | Hìn313 Quan hệ giữa Ra và bức tiên S

53 | Hinh 3.14 Quan hệ giữa Ra và chiêu sâu cất t

3.2.2 Kết quả đo độ nhám của các mẫn gia công phay bằng phương

DANH MuC CaC BaNG

1 | Bâng31 khoảng cách quan sát của đèn

2 | Bảng3.2 Chế dộ cất của mẫu phay khi thay dối tốc độ cát từ

6 | Bảng36 Kết quả đo độ nhám của loạt mầu thứ hai

7_— | Bảng 37 Tết quả do độ nhám: cửa lưạt mẫu thứ ba

8 Bang 3.8 So sảnh phương, pháp đầu đỏ tiếp xúc và phương pháp

quang học

3.2.2 Kết quả đo độ nhám của các mẫn gia công phay bằng phương

DANH MuC CaC HiNH

Chương 1

3 Hình 13a Những đặc rung co ban của nhập nhỏ bè

mat

4 Hình 1.3b Mô t chiên đài chuân , chiều dải khoảng

đo lường

ó6 | Hinhl.5 Mô tả dạng bễ mặt kiếm tra vá quỹ tích tâm

đầu đo

7 Hinh 1.6 Neuyén ly do ciia Profilemet kiéu thuan co

khí

8 Hinh 1.7 Nguyên lý đo của Profilegafa kiêu cảm ứng |

10 | Hinh19.a Nguyên lý dúng bản móng hình nêm

13 | Hinh1.10 Nguyên lý đo của đựng cụ

16 | Hinh 1.14 Mô tã độ nhấp nhé cea bé mat theo mau sac

17 | Binh 1.15 ‘M6 ta 3D cita bé mat vat ligu

18 Tĩnh 1.16 Nguyên lý đo của phương pháp đồm sáng

19 | Hìmhll?7 ảnh toàn ký điện tử đồng trục cửa một điểm:

vật

20 | Tinh 1.18 Tlinh anh tai tạo không bị cản trở bởi ảnh

kết hợp, các kích thước được giảm trong

qua trình hình thành ảnh toàn ký

21 | Hinh 1.19 Phuong pháp ảnh toàn ký lệch trục của đối

tượng điểm

Chương 2

22 | Hinh21 Biểu đỏ tia ánh dao thoa điện tử

23 | Hinh2.2 Sơ đồ mặt cắt ngang của kính hiển vi điện

tử tạo ảnh toàn ký

24 _ | Hinh23a,b Lãng kinh điện tứ kép

25 Hình 2.4 Hệ thống tái tạo lại ảnh bằng kính hiển vì

giao thoa

6 | Hinh 2.5 a,b anh giao thea

27 Hình 2.6 a.b Nguyên ly sau kbuyéch đại pha kính hiển vi

Hinh 1.1: Minh hoạ các khải niệm bé mat

- Bé mat bình học: Là bề mặt ngăn cách giữa vật thể và môi trường xưng quanh, không tôn tại các nhấp nhô và các sai lệch về hình dạng

~ BÊ mặt thực: Là bễ mặt ngần cách giữa chỉ tiết và môi trường, là sán phẩm nhận được sau một quá trình gia công đế tạo ra vật thẻ đó

~ BÊ mặt đo: Là bề mặt nhận được sau quá trình sao chép từ bê mặt thực của chỉ tiết cản do qua dung cu do

- Profile hinh hoc: Là tiết điện của bê mặt hình học được cắt bởi mặt phẳng,

theo phương nhật định số với bế mặt hình học,

3.2.2 Kết quả đo độ nhám của các mẫn gia công phay bằng phương

Hinh 1.1: Minh hoạ các khải niệm bé mat

- Bé mat bình học: Là bề mặt ngăn cách giữa vật thể và môi trường xưng quanh, không tôn tại các nhấp nhô và các sai lệch về hình dạng

~ BÊ mặt thực: Là bễ mặt ngần cách giữa chỉ tiết và môi trường, là sán phẩm nhận được sau một quá trình gia công đế tạo ra vật thẻ đó

~ BÊ mặt đo: Là bề mặt nhận được sau quá trình sao chép từ bê mặt thực của chỉ tiết cản do qua dung cu do

- Profile hinh hoc: Là tiết điện của bê mặt hình học được cắt bởi mặt phẳng,

theo phương nhật định số với bế mặt hình học,

54 Tĩnh 3.15 ảnh đường cong của loạt mẫu thứ nhật

33 | Hinh3.16 ảnh đường cong của loại mẫu thứ hai

56 | Hinh3.17 ảnh dưỡng cong cúa loạt mẫu thử ba

28 | Ainh2.7 TH thống quang học lái tạo lại đối với gian

thoa dimg kinh hién vi điện tử

29 | Hinh28 Hệ thống lọc quang trong không gian đổi

với dạng khuyếch đại pha

30 | Hình29 He thong tai tạo lại đối với khuyếch đại pha

của kinh hiển vi ding cf hai phương pháp

quang học và phương pháp số

31 | Hình210 Nguyên lý sau dịch chuyển pha của đụng cụ

do giao thoa

32 | Hìni211 Nguyén ly sau tomography trên máy tỉnh

33 | Minh 2.12 Quan sát tức thời ánh toàn ký điện tứ sứ

37 | Hmh216 TH thống tái tạo lan quang học đề điều

40 | Hinh 3.1 May do ba chiều VK 450

41 Tĩnh 3.2 Mô tả chúc năng trường qua sát sầu

43 | Hìh343 Mô tả chức năng phóng đại hình ảnh

43 | Hinh3.4 Mô tả khả năng làm giảm các yếu tố anh

hướng,

45 | Hinh3.6 Mồ tả bộ thích nghị chiếu sảng, thẳng dimg

46 | Hinh3.7 Mô tả quan sát một IC với độ phóng, đại

49 | Hinh 3.10 ảnh bể mặt cửa lớp bể mặt phay thép CT45

51 Hinh 3.12 Quan hệ giữa Ra vả tốc độ cất V

52 | Hìn313 Quan hệ giữa Ra và bức tiên S

53 | Hinh 3.14 Quan hệ giữa Ra và chiêu sâu cất t

DANH MuC CaC HiNH

Chương 1

3 Hình 13a Những đặc rung co ban của nhập nhỏ bè

mat

4 Hình 1.3b Mô t chiên đài chuân , chiều dải khoảng

đo lường

ó6 | Hinhl.5 Mô tả dạng bễ mặt kiếm tra vá quỹ tích tâm

đầu đo

7 Hinh 1.6 Neuyén ly do ciia Profilemet kiéu thuan co

khí

8 Hinh 1.7 Nguyên lý đo của Profilegafa kiêu cảm ứng |

10 | Hinh19.a Nguyên lý dúng bản móng hình nêm

13 | Hinh1.10 Nguyên lý đo của đựng cụ

16 | Hinh 1.14 Mô tã độ nhấp nhé cea bé mat theo mau sac

17 | Binh 1.15 ‘M6 ta 3D cita bé mat vat ligu

18 Tĩnh 1.16 Nguyên lý đo của phương pháp đồm sáng

19 | Hìmhll?7 ảnh toàn ký điện tử đồng trục cửa một điểm:

vật

20 | Tinh 1.18 Tlinh anh tai tạo không bị cản trở bởi ảnh

kết hợp, các kích thước được giảm trong

qua trình hình thành ảnh toàn ký

21 | Hinh 1.19 Phuong pháp ảnh toàn ký lệch trục của đối

tượng điểm

Chương 2

22 | Hinh21 Biểu đỏ tia ánh dao thoa điện tử

23 | Hinh2.2 Sơ đồ mặt cắt ngang của kính hiển vi điện

tử tạo ảnh toàn ký

24 _ | Hinh23a,b Lãng kinh điện tứ kép

25 Hình 2.4 Hệ thống tái tạo lại ảnh bằng kính hiển vì

giao thoa

6 | Hinh 2.5 a,b anh giao thea

27 Hình 2.6 a.b Nguyên ly sau kbuyéch đại pha kính hiển vi

3.2.2 Kết quả đo độ nhám của các mẫn gia công phay bằng phương

Hinh 1.1: Minh hoạ các khải niệm bé mat

- Bé mat bình học: Là bề mặt ngăn cách giữa vật thể và môi trường xưng quanh, không tôn tại các nhấp nhô và các sai lệch về hình dạng

~ BÊ mặt thực: Là bễ mặt ngần cách giữa chỉ tiết và môi trường, là sán phẩm nhận được sau một quá trình gia công đế tạo ra vật thẻ đó

~ BÊ mặt đo: Là bề mặt nhận được sau quá trình sao chép từ bê mặt thực của chỉ tiết cản do qua dung cu do

- Profile hinh hoc: Là tiết điện của bê mặt hình học được cắt bởi mặt phẳng,

theo phương nhật định số với bế mặt hình học,

DANH MuC CaC BaNG

1 | Bâng31 khoảng cách quan sát của đèn

2 | Bảng3.2 Chế dộ cất của mẫu phay khi thay dối tốc độ cát từ

6 | Bảng36 Kết quả đo độ nhám của loạt mầu thứ hai

7_— | Bảng 37 Tết quả do độ nhám: cửa lưạt mẫu thứ ba

8 Bang 3.8 So sảnh phương, pháp đầu đỏ tiếp xúc và phương pháp

quang học