Từ đó giải thích các các thí nghiệm gần đây về tính chất vận chuyển của hạt tải trong giếng lượng tử, đặc biệt có tính đến là sự phụ thuộc của độ linh động vào độ rộng kênh dẫn... Mục đ
Trang 1NGHIÊN CỨU ĐỘ LINH ĐỘNG CỦA LỖ TRỐNG TRONG MÔ
HÌNH GIẾNG LƯỢNG TỬ PHA TẠP HAI PHÍA
MỞ ĐẦU
1 Lý do chọn đề tài (Tính cấp thiết của đề tài)
Khoa học công nghệ nano là một ngành khoa học đang được quan tâm
và thúc đẩy phát triển mạnh mẽ hiện nay, công nghệ nano đã mở ra một bước ngoặt mới, con đường mới và một triển vọng mới trong việc ứng dụng những dụng cụ thông tin kỹ thuật có những chức năng mà trước kia chưa từng có Các dòng máy tính điện tử ngày càng được nâng cấp nhờ tăng được mật độ
và tốc độ xử lý thông tin bằng cách thu nhỏ kích thước của những thành tố
cơ bản Sự hoạt động của các cấu trúc nano có độ linh động cao được quy định bởi các tính chất vận chuyển của chúng
Các kênh dẫn với độ linh động cao là một trong những vấn đề thách thức của vật lý bán dẫn hiện đại và có tầm quan trọng lớn đối với việc ứng dụng các thiết bị, máy móc Độ dẫn điện được tính theo công thức: e n Muốn tăng độ dẫn điện, không những phải tăng mật độ hạt tải n mà còn phải tăng
tìm cách nâng cao được độ linh động Đó cũng chính là lí do chúng tôi chọn
đề tài nghiên cứu về " Nghiên cứu độ linh động của lỗ trống trong mô hình giếng lượng tử pha tạp hai phía"
Mục đích đề tài của tôi là đưa ra lý thuyết nghiên cứu ảnh hưởng của pha tạp đối xứng hai phía lên quá trình vận chuyển của hạt tải trong giếng lượng tử vuông góc Bằng việc sử dụng phương pháp biến phân, các biểu thức giải tích về sự phân bố của hạt tải và tán xạ của chúng trong giếng lượng tử vuông góc pha tạp điều biến đối xứng sẽ được đưa ra Từ đó giải
thích các các thí nghiệm gần đây về tính chất vận chuyển của hạt tải trong
giếng lượng tử, đặc biệt có tính đến là sự phụ thuộc của độ linh động vào độ rộng kênh dẫn
Trang 22 Mục đích nghiên cứu
- Nghiên cứu một số cơ chế tán xạ của hạt tải trong giếng lượng tử vuông góc pha tạp hai phía
- Tính toán độ linh động của hạt tải và so sánh với các kết quả thực nghiệm
về hiện tượng vận chuyển của hạt tải trong cấu trúc trên
3 Phương pháp nghiên cứu
- Tính toán lý thuyết bằng việc giải phương trình Poisson, phương trình Schrodinger để tìm ra hàm sóng
- Sử dụng phương pháp biến phân
- Sử dụng các phần mềm chuyên dụng như Mathematica, Matlab để lập phương trình và tính số các đại lượng có trong phương trình
4 Bố cục của luận văn
Gồm 3 nội dung được nghiên cứu phối hợp đồng thời
Chương I: Xây dựng lý thuyết về độ linh động của hạt tải
Chương II: Tính toán độ linh động của hạt tải trong giếng lượng tử
vuông góc pha tạp đối xứng hai phía
Chương III: Tính số độ linh động của hạt tải trong giếng lượng tử
vuông góc pha tạp đối xứng hai phía
Trang 3Định nghĩa Thời gian sống vận chuyển
Thời gian sống vận chuyển τ t (hay thời gian sống cổ điển, thời gian hồi phục động lượng, thời gian tán xạ vận chuyển) được định nghĩa là khoảng thời gian trung bình giữa hai lần tán xạ liên tiếp khi hạt tải di chuyển định hướng dưới tác dụng của điện trường Thời gian sống vận chuyển xác định từ độ linh động Hall 20
Định nghĩa Thời gian sống lượng tử
Thời gian sống lượng tử τ q (hay còn gọi là thời gian sống đơn hạt), được định nghĩa là thời gian tồn tại một trạng thái xung lượng bền của hạt tải (điện tử,
lỗ trống) Thời gian sống lượng tử liên quan đến sự mở rộng mức Landau trong từ trường 23 và nó được rút ra từ hiệu ứng Shubnikov-de Haas 19 ,
3
1.1.1 Các công thức tính thời gian hồi phục
1.1.1 Thời gian sống vận chuyển
Ta biết rằng, thời gian sống vận chuyển liên hệ với độ dẫn điện và độ linh động theo mô hình Drude có dạng:
m
Độ linh động này được xác định từ phép đo Hall trong vùng từ trường yếu
Trang 4với µ H là độ linh động Hall, R H là hệ số Hall và ρ xx điện trở suất trong
từ trường B; đo được ρ xx ta sẽ suy ra được độ linh động µ H, từ đó xác định
được τ t
Tại nhiệt độ thấp gần nhiệt độ 0 tuyệt đối, các trạng thái điện tử dưới mức Fermi bị lấp đầy, chỉ có những điện tử nằm lân cận mức Fermi mới tham gia vào quá trình tán xạ Đối với những điện tử đó, ta có thể coi xung lượng có
giá trị xung lượng Fermi, k = k F , và q được định nghĩa là xung lượng truyền
bởi tán xạ trong mặt đẳng năng Fermi, có liên hệ được xác định bởi
1.1.2 Thời gian sống lượng tử
Thời gian sống lượng tử là một đặc trưng lượng tử, không có khái niệm tương tự trong vật lý cổ điển Đây chính là khoảng thời gian trung bình mà một hạt tải còn tồn tại trạng thái riêng k của nó trước khi nó bị tán xạ chuyển thành trạng thái khác
Nếu nguồn tán xạ là yếu thì sự phá vỡ tính đối xứng là nhỏ, phổ năng
lượng có giá trị hữu hạn nào đó ∆E Theo nguyên lý bất định Heizenberg có tồn tại mối liên hệ giữa ∆E và ∆t ( E. ), với ∆t = τ q như là thời gian sống
thời gian mà hàm sóng 0
Từ công thức chuyển phổ Fourier ta tìm được mối liên hệ giữa ψ(E) và ψ(t)
như sau:
Trang 5Trong đó ∆E là độ tản mạn của năng lượng khi ta đo, ∆t là khoảng
thời gian mà hàm sóng khác 0 Khi có thêm sự hiện diện của từ trường ngoài
B theo phương z, vuông góc với mặt phẳng chứa khí điện tử hai chiều, năng
lượng của hệ sẽ tách ra thành các mức Landau gián đoạn:
Hình 1.1 Mối liên hệ giữa ψ(E) và ψ(t)
(1.12)
là tần số cyclotron
qua phương trình cổ điển sau: 16
2 E -
(1.15)
Từ công thức tính xác suất tán xạ trong một đơn vị thời gian giữa hai
trạng thái k và k' với góc tán xạ θ ta thu được công thức sau:
Trang 61.2 Hiệu ứng chắn
Ta có thể quan sát hiện tượng chắn khi cho một điện tích thử Q vào trong
hệ điện tích Điện tích Q sẽ đẩy các điện tử gần nó, dẫn tới xung quanh Q có một vùng không gian thiếu điện tích âm, khối điện tử bị phân cực Sự phân cực này tạo ra một trường phụ, trường phụ có xu hướng chống lại nguồn đã sinh ra nó, tác dụng ngược chiều với trường chính Khi đó, trường tổng hợp bao gồm trường chính cộng với trường phụ sẽ yếu hơn trường chính
1.2.1 Chắn tĩnh ( static )
Các điện tích tham gia vào hiệu ứng chắn không di chuyển mà định xứ tại chỗ: sự phân bố là do định hướng lại của các lưỡng cực điện dưới tác dụng của nguồn ngoài là nguồn Coulomb để phân cực hệ điện cực, trường phụ được xác định bởi hai lớp điện tích ngoài cùng và nó có tác dụng làm giảm cường độ trường chính nhưng lại không làm ảnh hưởng tới bán kính tác dụng của trường chính
Để xác định hằng số điện môi, ta sử dụng quy tắc Vegard:
Trong đó, P(A) là hằng số điện môi của nguyên tử loại A, P có thể là: m*,
hằng số đàn hồi, A,B là các vật liệu được ghép với nhau, x là hàm lượng pha tạp của nguyên tử loại A
Trang 7a Hình thái bề mặt tiếp xúc giữa giếng và rào thế
Các linh kiện dựa trên cấu trúc bán dẫn thường sử dụng tính chất vận chuyển song song của hạt tải với bề mặt tiếp xúc giữa vật liệu giếng và vật liệu rào
Muốn khảo sát ảnh hưởng của bề mặt tiếp xúc đến tính chất vận chuyển của hệ hạt tải ta dùng hàm tự tương quan:
Ở đây, ∆ là biên độ nhám, Λ là độ dài tương quan, mang ý nghĩa là bán kính
tác dụng trong mặt phẳng (x,y)
b Ảnh hưởng của độ nhám bề mặt
Độ nhám bề mặt làm thay đổi vị trí của rào thế Do bề mặt có gồ ghề
∆(r) nên xuất hiện một thế rào bổ sung, chính là thế nhám do thăng giáng vị trí rào thế:
U BP( )r V0 ( ) ( )r z (1.32)
Khi chuyển động, điện tử được quan niệm là một bó sóng nên:
Trang 8ζ0 (z) là hàm sóng chính xác của điện tử trong trạng thái cơ bản
Khi tính độ linh động, ta phải dùng đến số hạng:
vì thế, nếu hàm sóng không chính xác thì sẽ mắc phải sai số rất lớn
c Tán xạ do biến thiên vị trí rào thế bởi độ nhám bề mặt
Độ gồ ghề của mặt tiếp xúc giữa giếng và rào làm cho vị trí của rào thế thay đổi Trong trường hợp lý tưởng, rào thế là phẳng tuyệt đối, khi đó rào thế có thể mô tả bởi hàm bậc thang: 17
1.3.2 Tán xạ gây bởi thế biến dạng khớp sai ( AD )
Để xác định được độ biến dạng khớp sai ta phải thu được hàm tự tương quan của thế tán xạ khớp sai Khi tính cho điện tử ở đáy vùng dẫn, theo thế biến dạng khớp sai được xác định chỉ bởi một thành phần của tensor trường biến dạng:
Trang 9Còn đối với lỗ trống ở đỉnh vùng hóa trị thế biến dạng khớp sai có dạng:
bs, ds là hệ số đàn hồi trượt, ij là tensor trường biến dạng
Nhóm tác giả Feensta và Lutz 13 mới chỉ dừng lại ở việc nghiên cứu và tìm ra biểu thức của thế tán xạ cho điện tử Gần đây, các tác giả trong đã tìm
ra biểu thức giải tích cho biến đổi Fourier của thế tán xạ đối với lỗ trống:
1.3.3 Tán xạ gây bởi tạp chất bị ion hóa( RI )
Thế gây bởi một tạp chất đối với một điện tử có dạng:
i j L
2 2
Trang 10
2
2
( ) ( )
( )
ID C
1.3.4 Tán xạ gây bởi không trật tự hợp kim bán dẫn
Ta đã biết hàm sóng của lỗ trống trong giếng lượng tử có dạng:
Trang 11Chương 2 ĐỘ LINH ĐỘNG CỦA HẠT TẢI TRONG GIẾNG LƯỢNG
TỬ VUÔNG GÓC PHA TẠP ĐỐI XỨNG HAI PHÍA
2.1 Xây dựng mô hình giếng lượng tử pha tạp đối xứng hai phía
Sự pha tạp đường bao là đối xứng nếu có 2 pha tạp bố trí đối xứng với kênh trung tâm (z=0), nghĩa là với một mật độ pha tạp như nhau và dạng pha tạp như nhau (pha tạp và bố trí khoảng cách) Với hàng rào thế như nhau
sự pha tạp 2 phía trong giếng lượng vuông góc là một hệ thống hoàn toàn đối xứng
Hình 2.1: Mô hình giếng lượng tử pha tạp điều biến đối xứng
Đối với QW (Pha tạp đối xứng hai phía) có hàng rào đủ cao, chúng ta đưa vào trạng thái thấp nhất của vùng lân cận 1 hàm sóng bao đối xứng có dạng :
Trang 12ξ(z) 2 cos cosh( )
2 0
Thế Hatree bao gồm tổng của thế tạp và thế tải của 2DHG
Trang 132 ( ) Z D
2
I
I I
4
( )
( ) 2( ) cos 2
2
K
h o ả n
g
Z
<
– 2
Khoảng Z < –Z d
Khoảng –Z d < Z < –Z s
Khoảng –Z s < Z < 0
Trang 14 2 2
2 2 0
2 2
2 2
0
2 4
2 ( ) ( ) 2 cos
I d
s I
Trong đó :L là hằng số điện môi của giếng lượng tử (2.25)
2.1.3.Năng lượng tổng cộng của hạt
2
2 2
( ) ( ) B coskz( ) coskz( )
2
L
k z k z k z k z L
2
2 ( ) V ( ) cos 2 ( )
Trang 152.2.1.Tán xạ trên các tạp ion hóa
Từ phương trình (14), ta thấy giá trị của thời gian sống vận chuyển được biểu diễn qua hàm tự tương quan cho mỗi cơ chế tán xạ Đầu tiên, hàm tự tương quan cho tán xạ từ sự phân bố ngẫu nhiên của tạp được xác định bởi tích phân trên toàn miền pha tạp:
N L e
2.2.2.Tán xạ do độ nhám bề mặt
Tiếp theo chúng tôi đưa ra hàm tự tương quan cho tán xạ do độ nhám bề mặt gây nên Như chúng ta đã biết, giá trị của thế trong không gian véc tơ sóng đối với các tán xạ từ bề mặt nhám phía đỉnh có dạng:
Trang 162 [ (2 ) 2 ( ) (2 ) 2 ( ) ] [ (2 ) 2 (2 )] ( 2.5 )
( ) (0)
2 3 [ ( ) 2 ( )] [ (0) 2 (0
3
2
s o
44
( , )
2 3
Ở bên trong giếng z L/ 2 và bằng 0 trong các khoảng còn lại Với ulà
thành phần biến dạng thể tích tổ hợp của thế biến dạng cho vùng dẫn
Sử dụng hàm sóng từ phương trình (2.1) chúng tôi xác định được biểu thức cho hàm tự tương quan cho thế biến dạng khớp sai cho điện tử có dạng:
Trang 172.3 Xác định độ linh động của hạt tải trong giếng lượng tử vuông góc
pha tạp đối xứng hai phía
2.3.1 Độ linh động của hạt tải
Theo lý thuyết vận chuyển tuyến tính, độ linh động ở nhiệt độ thấp được
/
e m
kênh dẫn Thời gian sống vận chuyển được biểu diễn qua hàm tự tương quan:
( 2 )[( 2 ) 4 ] 4
]{ ( / 2) ( / 2) ( 2 )[( 2 ) 4 ] [ 4 ]
2 1 ( 6 )
1 2 2 2
tot RI SR DP
(2.62)
Ở đây, hệ số 2 xuất hiện do có hai lớp pha tạp và hai mặt nhám
2.3.2 Hệ số nâng cao độ linh động
Cuối cùng, để nghiên cứu tính ưu việt của phương pháp pha tạp hai phía so với pha tạp một phía, chúng tôi đã đưa ra một đại lượng gọi là hệ số
Trang 18nâng cao độ linh động Q: là tỉ số độ linh động giữa trường hợp pha tạp hai phía sym
L p Q
Trang 19CHƯƠNG 3: TÍNH SỐ ĐỘ LINH ĐỘNG CỦA HẠT TẢI TRONG GIẾNG LƯỢNG TỬ VUÔNG GÓC PHA TẠP ĐỐI XỨNG HAI PHÍA 3.1 Hàm sóng
Hình 3.1: Hàm sóng trong 2 mô hình: Flat-band và Pha tạp 2 phía phụ
thuộc vào nồng độ hạt tải trong giếng
Hình 3.1 Hàm sóng ( )z trong 2 mô hình giếng lượng tử: flat-band (đường chấm – dot line), pha tạp đối xứng hai phía (đường liền nét) phụ thuộc vào
nồng độ hạt tải trong giếng
Hình 3.2: Hàm sóng trong 2 mô hình: Pha tạp 1 phía và Pha tạp 2 phía
phụ thuộc vào nồng độ hạt tải trong giếng
Hình 3.1 và 3.2 là đồ thị của hàm sóng phụ thuộc vào nồng độ hạt tải Khi ta
nhưng vẫn có dạng đối xứng
Trang 20-150 0 150 0
5 10 15
cm - 2 a: L = 100 Å b: L = 150 c: L = 300
a a
b b
c c
Hình 3.3: Hàm song ( )z trong 2 mô hình giếng lượng tử: Pha tạp 1 phía
(đường đứt nét –dash line) và pha tạp đối xứng 2 phía (đường liền nét ) với
các giá trị khác nhau của giếng lượng tử L Nhận thấy trong Hình 3, đồ thị hàm sóng trong hai mô hình pha tạp một phía (đường nét đứt) và pha tạp đối xứng (đường nét liền) phụ thuộc vào bề rộng giếng lượng tử
3.2 Độ linh động của hạt tải
Trên hình 3.4(a) là độ linh động tổng cộng của khí lỗ trống hai chiều
(2DHG) trong giếng lượng tử Si 0.4 Ge 0.6 /Ge/Si 0.4 Ge 0.6 pha tạp điều biến đối
xứng, phụ thuộc vào bề rộng giếng lượng tử L với các giá trị khác nhau của nồng độ hạt tải p s với các tham số: L d = 100A0, L s = 150A0 Đường đứt nét là
độ linh động cho mô hình flat-band; đường liền nét là độ linh động cho
Hình 3.4a
Trang 21trường hợp pha tạp đối xứng hai bên, trong trường hợp này có tồn tại peak của độ linh động phụ thuộc vào bề rộng kênh dẫn
3.3 Hệ số nâng cao độ linh động
Tác giả tính số hệ sô nâng cao độ linh động Q phụ thuộc vào các tham
số của giếng lượng tử
L (A0)
Hình 3.5 (a) Hệ số nâng cao độ linh động Q phụ thuộc L
Hình 3.5 (a) là hệ số nâng cao độ linh động Q phụ thuộc vào bề rộng giếng lượng tử L với các giá trị khác nhau của nồng độ hạt tải p s trong hai
(đường liền nét), Λ = 100 A0 (đường đứt nét) Quan sát các
hình (3.5 a, b) ta thấy hệ số nâng cao độ linh động có thể nhận giá trị Q 10
rộng của giếng lượng tử trong hình 3.6 Các số liệu thực nghiệm được lấy trong công trình [22, 25] Tại giá trị bề rộng giếng lượng tử L = 200 Å, nồng
Trang 22độ hạt tải 12 2
0,9.10
s
expS 4.10 cm /Vs
với cùng tham số, độ linh động xác định theo thực nghiệm trong mô hình
s
s
L P tot s
s tot s
L p Q
Hình 3.6: Độ linh động của mô hình pha tạp 1 phía (đường đứt nét), độ linh động trong mô hình pha tạp 2 phía (đường liền nét, màu xanh Green) và tỉ số
giữa chúng (đường màu xanh Blue) Kết quả tính toán cho thấy: pha tạp đối xứng hai phía có thể nâng cao
độ linh động của hạt tải lên gấp khoảng hai lần so với pha tạp 1 phía Tại giá
200
L A thì Q 2.43 Kết quả này phù hợp khá tốt với thực nghiệm
Trang 23KẾT LUẬN Tác giả luận văn đã nghiên cứu lý thuyết về hiện tượng vận chuyển của
hạt tải trong mô hình giếng lượng tử bán dẫn vuông góc pha tạp hai phía cho
hệ Si 0.4 Ge 0.6 /Ge/Si 0.4 Ge 0.6 với các cơ chế tán xạ khác nhau Những kết quả chính thu được trong luận văn bao gồm:
1 Đã tìm ra được biểu thức giải tích về sự phân bố của hạt tải trong giếng lượng tử pha tạp 2 bên bằng việc xây dựng các hàm phụ
2 Chỉ ra được ảnh hưởng của điều biến đối xứng do pha tạp 2 bên lên sự phân bố của hạt tải phụ thuộc vào hàm lượng pha tạp và độ rộng kênh dẫn
3 Tính độ linh động phụ thuộc vào các tham số của giếng lượng tử, đặc biệt
là sự phụ thuộc của độ linh động vào bề rộng giếng lượng tử
4 Tìm được sự phụ thuộc của hệ số nâng cao độ linh động Q phụ thuộc vào các tham số của giếng lượng tử Từ hệ số Q này đã mở ra một triển vọng về việc nâng cao độ linh động của trường hợp pha tạp hai phía lên gấp nhiều lần
so với trường hợp pha tạp một phía tuỳ thuộc vào việc lựa chọn các tham số của giếng lượng tử
6 Tác giả cũng so sánh tính toán lý thuyết của mình với thực nghiệm, kết qủa cho thấy tính toán lý thuyết của nhómchúng tôi cho kết quả khá phù hợp với thực nghiệm