Giúp sinh viên hiểu được nguyên lý họat động cách sử dụng, ứng dụng của kính hiển vi quang học trong nghiên cứu vật liệu.. Cung cấp cho sinh viên một số kiến thức cơ bản để nghiên cứu
Trang 1TH C NGHI M ỰC NGHIỆM ỆM
NHI U X TIA X & CAC PH ỄU XẠ TIA X & CAC PHƯƠNG PHÁP Ạ TIA X & CAC PHƯƠNG PHÁP ƯƠNG PHÁP NG PHÁP
NGHIÊN C U V T LI U Ư ẬT LIỆU ỆU
TH C NGHI M ỰC NGHIỆM ỆM
NHI U X TIA X & CAC PH ỄU XẠ TIA X & CAC PHƯƠNG PHÁP Ạ TIA X & CAC PHƯƠNG PHÁP ƯƠNG PHÁP NG PHÁP
NGHIÊN C U V T LI U Ư ẬT LIỆU ỆU
TS Tr n Văn Kh i ần Văn Khải ải
Khoa Công Ngh V t Li u ệ Vật Liệu ật Liệu ệ Vật Liệu
Đ i h c Bách Khoa TpHCM ại học Bách Khoa TpHCM ọc Bách Khoa TpHCM
ĐT: 0120 3327675
Trang 2N I DUNG ỘI DUNG
I M C ĐÍCH ỤC ĐÍCH
IV TH C HÀNH THÍ NGHI M ỰC HÀNH THÍ NGHIỆM ỆU
V N I DUNG BÁO CÁO ỘI DUNG
Trang 3X-Ray diffraction (XRD)
■ Diffraction: Bragg’s Law
■ Crystal Structure Determination
Elements of X-Ray Diffraction
B.D Cullity & S.R Stock
Prentice Hall, Upper Saddle River (2001)
X-Ray Diffraction: A Practical Approach
C Suryanarayana & M Grant Norton
Plenum Press, New York (1998)
Trang 4• Measure the average spacings between layers or rows of atoms
• To measure thickness of thin films and multi-layers.
• To determine atomic arrangement.
• Find the crystal structure of an unknown materials
• Detection limits: ~3% in a two phase mixture; can be ~ 0.1%
with synchrotron radiation.
Why XRD ?
Trang 5The Structure of Crystalline Solids
(Hệ tinh thể) (Quan hệ giữa các trục) (Quan hệ giữa các góc)
(Hình dạng ô mạng cơ sở)
(Lập phương-P)
(Sáu phương-P)
(Bố phương-P)
Trang 6The Structure of Crystalline Solids
(Ba phương-P)
(Trực thoi-P)
(Một nghiêng-P)
(Ba nghiêng-P)
Trang 7The 14 Crystal (Baravais) Lattices
(Lập phương-P)
(Sáu phương-P) (Bố phương-P)
(Ba phương-P)
(Trực thoi-P)
(Một nghiêng-P) (Ba phương-P)
Trang 8● Crystal geometry equations for XRD
● d-spacings and Miller indices
Trang 9Crystal geometry equations for XRD d-spacings and Miller indices
Trang 10What is X-ray Diffraction
Trang 11Production of X-rays
X-rays are produced whenever high-speed electrons collide with a metal target A
cathode (W) and the anode and a metal target, Cu, Al, Mo, Mg The anode is a water-cooled block of Cu containing desired target metal.
Trang 13BRAGG’S LAW OF DIFFRACTION
Trang 14• Hiệu quang trình giữa hai tia nhiễu xạ trên hai mặt P1 và P2 là:
δ = BC + CD δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ CAsinθ hay δ = 2dsinθ θ hay δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ dsinθ hay δ = 2dsinθ θ ⇒ δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ
• Để có cực đại nhiễu xạ thì: δ = nθ hay δ = 2dsinθ λ; trong đó: nθ hay δ = 2dsinθ là
số nguyên, λ là bước sóng của tia X
• Vậy ta có công thức Bragg: nθ hay δ = 2dsinθ λ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ dsinθ hay δ = 2dsinθ θ
BRAGG’S LAW OF
DIFFRACTION
Trang 16Recall the interplanar spacings (dhkl) for the 7
crystal ystal systems
Trang 17Selection / Extinction Rules
Bravais Lattice Allowed Reflectionθ hay δ = 2dsinθ s
Trang 18h 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ + k 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ + l 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ SC FCC BCC DC
4 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 00 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 00 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 00
5 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 10
6 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 11 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 11
7
8 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0
9 300, 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 1
12CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ
13 32CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0
14 32CAsinθ hay δ = 2dsinθ 1 32CAsinθ hay δ = 2dsinθ 1
Trang 19SCHERRER FORMULA- Crystalline size
Trang 21How to Miller index
ZnO nanowires
Trang 22JCPDS-International Centre for Diffraction Data
Trang 23JCPDS-International Centre for Diffraction Data
Trang 24How to Miller index
Trang 252CAsinθ hay δ = 2dsinθ θ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0 = 46 o
XRD pattern of NaCl powder
Peak position
d-spacinθ hay δ = 2dsinθ gs anθ hay δ = 2dsinθ d lattice parameters
Trang 26Bragg’s law: nθ hay δ = 2dsinθ λ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ dsinθ hay δ = 2dsinθ θ (1); nθ hay δ = 2dsinθ -inθ hay δ = 2dsinθ teger
Fix λ = 1.54Å (CuKα); n=1α); n=1); nθ hay δ = 2dsinθ =1
(1) ⇒ δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ dhkl = λ/2CAsinθ hay δ = 2dsinθ sinθ hay δ = 2dsinθ θhkl
For a simple Cubic: a = b = c = ao
Peak positionθ hay δ = 2dsinθ
d-spacinθ hay δ = 2dsinθ gs anθ hay δ = 2dsinθ d lattice parameters
⇒ δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ ao = dhkl.(h2CAsinθ hay δ = 2dsinθ + k2CAsinθ hay δ = 2dsinθ + l2CAsinθ hay δ = 2dsinθ )1/2CAsinθ hay δ = 2dsinθ (2CAsinθ hay δ = 2dsinθ )
For NaCl with peak at (hkl) = (2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0); 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ θ2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0 = 46o θ ⇒ δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0 = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 3o thenθ hay δ = 2dsinθ sinθ hay δ = 2dsinθ θ2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0 = sinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 3o = 0.39073; thenθ hay δ = 2dsinθ d2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0 =
1.54/2CAsinθ hay δ = 2dsinθ x0.39073 = 1.9707Å
(2CAsinθ hay δ = 2dsinθ ) a ⇒ δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ o= d2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 0.(2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ + 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ + 02CAsinθ hay δ = 2dsinθ )1/2CAsinθ hay δ = 2dsinθ = 1.9707x81/2CAsinθ hay δ = 2dsinθ = 5.5739 Å
Simple Cubic
Trang 27ZnO nanowires
(002)
(103) (101)
Trang 28Bragg’s law: nθ hay δ = 2dsinθ λ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ dsinθ hay δ = 2dsinθ θ (1); nθ hay δ = 2dsinθ -inθ hay δ = 2dsinθ teger
Fix λ = 1.54Å (CuKα); n=1α); n=1); nθ hay δ = 2dsinθ =1
(1) ⇒ δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ dhkl = λ/2CAsinθ hay δ = 2dsinθ sinθ hay δ = 2dsinθ θhkl
For a simple Cubic: a = b≠c
Peak positionθ hay δ = 2dsinθ
d-spacinθ hay δ = 2dsinθ gs anθ hay δ = 2dsinθ d lattice parameters
Hexagonθ hay δ = 2dsinθ al
For peak at (hkl) = (002); 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ θ02CAsinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ = 33.75o θ ⇒ δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 002CAsinθ hay δ = 2dsinθ = 16.875o thenθ hay δ = 2dsinθ sinθ hay δ = 2dsinθ θ002CAsinθ hay δ = 2dsinθ = sinθ hay δ = 2dsinθ 16.875o = 0.2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 9; thenθ hay δ = 2dsinθ d002CAsinθ hay δ = 2dsinθ = 1.54/2CAsinθ hay δ = 2dsinθ x0.2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 9 = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 652CAsinθ hay δ = 2dsinθ Å
Trang 29For peak at (hkl) = (101); 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ θ101 = 35.62CAsinθ hay δ = 2dsinθ o θ ⇒ δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 101 = 17.81o
thenθ hay δ = 2dsinθ sinθ hay δ = 2dsinθ θ101 = sinθ hay δ = 2dsinθ 17.81o = 0.3059; thenθ hay δ = 2dsinθ d101 = 1.54/2CAsinθ hay δ = 2dsinθ x0.3059
= 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 517Å
Peak positionθ hay δ = 2dsinθ d-spacinθ hay δ = 2dsinθ gs anθ hay δ = 2dsinθ d lattice parameters
Hexagonθ hay δ = 2dsinθ al
a = 3.30 Å
c = 5.30Å
a = 3.30Å
c = 5.2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 05Å
a = 3.2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 49Å
Tínθ hay δ = 2dsinθ h toánθ hay δ = 2dsinθ theo kết quả đo:
Theo JCPDS-International Centre for Diffraction Data
Trang 30For peak at (hk0) = (110); 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ θ110 = 56.111o θ ⇒ δ = 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 101 =2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 8.05o
thenθ hay δ = 2dsinθ sinθ hay δ = 2dsinθ θ110 = sinθ hay δ = 2dsinθ 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 8.05o = 0.47; thenθ hay δ = 2dsinθ d110 = 1.54/2CAsinθ hay δ = 2dsinθ x0.47 =
a = 3.2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 74Å
c = 5.2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 05Å
a = 3.2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 49Å
Tínθ hay δ = 2dsinθ h toánθ hay δ = 2dsinθ theo kết quả đo:
Theo JCPDS-International Centre for Diffraction Data
h 2 + h*k + k 2
(hk0)
a a (12CAsinθ hay δ = 2dsinθ + 1*1 + 12CAsinθ hay δ = 2dsinθ )*1.637= 3.2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 74 Å
Cônθ hay δ = 2dsinθ g thức tínθ hay δ = 2dsinθ h a:
Trang 32List of planes and the corresponding h2+ k2+ l2 value
Trang 33min min min
Trang 34The values of these ratios can then be inspected
to see if they corresponding to an expected series
of hkl values In this case, the last column gives a list of integers which corresponds to the h2+ k2+ l2 values of the FCC lattice diffraction Hence, NaCl has a FCC structure.
Trang 35Lattice parameter ?
Trang 36Practice:
Below is a powder XRD spectrum of Ag nanoparticles, also imaged with Cu Kα radiation of 1.54 Å Determine its crystal structure and α radiation of 1.54 Å Determine its crystal structure and lattice parameter using the labeled peaks
Trang 37Bài tập tìm chỉ số Miller
Vật liệu Cu lập phương tâm mặt (FCC) có một đỉnh ở trong phổ nhiễu xạ tia X
ở góc 2θ = 43.2 o Tìm chỉ số Miller (hkl) cho đỉnh này?
- Cho biết CuKα radiation of 1.54 Å Determine its crystal structure and α với λ = 0.154 nm
Trang 39B2: Lap bang 2θ-Cuong do nhieu xa
Trang 50(ZnO nanowires)
Trang 51SCHERRER FORMULA- Crystalline size
Trang 75Duong kinh day nano ZnO
Trang 7720 30 40 50 60 70 80
0 2000
Trang 7920 30 40 50 60 70 80
0 2000 4000 6000 8000
Trang 80Thí nghi m 3: ệm 3:
PHÂN TÍCH C U TRÚC V T LI U ẤU TRÚC VẬT LIỆU ẬT LIỆU ỆU
B NG KÍNH HI N VI QUANG H C ẰNG KÍNH HIỂN VI QUANG HỌC ỂN VI QUANG HỌC ỌC
Thí nghi m 3: ệm 3:
PHÂN TÍCH C U TRÚC V T LI U ẤU TRÚC VẬT LIỆU ẬT LIỆU ỆU
B NG KÍNH HI N VI QUANG H C ẰNG KÍNH HIỂN VI QUANG HỌC ỂN VI QUANG HỌC ỌC
Trang 82I MỤC ĐÍCH
1 Giúp sinh viên hiểu được nguyên lý họat động cách sử
dụng, ứng dụng của kính hiển vi quang học trong nghiên cứu vật liệu.
2CAsinθ hay δ = 2dsinθ Cung cấp cho sinh viên một số kiến thức cơ bản để
nghiên cứu vật liệu, nghiên cứu tổ chức của kim loại, hợp kim trên kính hiển vi quang học.
3. Các bước cần thực hiện để xem đượcc tổ chức kim loại.
4. Phân biệt được một số hợp kim đơn giản như gang, thép,
hợp kim đồng, hợp kim nhôm.
Trang 83• Kính hiển vi (microscope) là thiết bị để quan sát các
vật thể có kích thước rất nhỏ mà mắt thường không nhìn thấy được. Khoa học nhằm khám phá và kiểm tra những vật thể nhỏ nhờ một thiết bị như vậy được gọi là
khoa học hiển vi (microscopy). Hình ảnh hiển vi của
vật thể được phóng đại thông qua một hoặc nhiều thấu kính, hình ảnh này nằm trong mặt phẳng vuông góc với trục của thấu kính (hoặc các thấu kính). Khả năng quan sát của kính hiển vi được quyết định bởi độ phân giải.
Giới thiệu chunθ hay δ = 2dsinθ g
Trang 84• Năm 1590: Hans Janssen và Zaccharias Janssen (Hà
Giới thiệu chunθ hay δ = 2dsinθ g
Trang 85• Một số nhóm kính hiển vi có thể được tóm lược như sau:
• Kính hiển vi quang học (KHV ánh sáng truyền qua, KHV soi nổi, KHV phản pha, KHV soi ngược, KHV phân cực, kính hiển vi huỳnh quang, KHV đồng tụ…)
Giới thiệu chunθ hay δ = 2dsinθ g
Trang 87• Phương pháp hiển vi quang hoc: Là phương pháp dùng kính hiển vi quang học để xem hình ảnh, tổ chức bề mặt của mẫu vật liệu trong một vùng diện tích nhỏ với độ phóng đại từ:
50, 100, 2CAsinθ hay δ = 2dsinθ 00, 500, 1000, và 1500 lần.
• Nhờ kính hiển vi quang học ta có thể quan sát đuợc cấu trúc
bề mặt của vật liệu nói chung, tổ chức kim loại và hợp kim nói riêng.
• Phương pháp dùng kính quang học (Kα); n=1HV kim tươnθ hay δ = 2dsinθ g) để
đánh giá, phân tích tổ chức tế vi kim loại và hợp kim gọi là
phương pháp phân tích kim tương (phươnθ hay δ = 2dsinθ g pháp kim
tươnθ hay δ = 2dsinθ g học).
II LÝ THUYẾT
Trang 88Cấu tạo:
III TÍNH NĂNG THIẾT BỊ
Trang 89• Nhờ Kα); n=1HV kim tương: có thể xác định đuợc chủng loại của
vật liệu (thép, gang, nhôm, đồng, vv…) quan sát được tổ chức các pha, sự phân bố các pha, hình dáng và kích thước của các pha. Ngòai ra, ta còn thấy được khuyết tật của vật liệu như vết nứt tế vi, rổ khí, tạp chất, bề dầy lớp thấm, lớp
mạ, kích thước hạt trong các pha, nhờ đó ta có thể đánh giá
tính chất, phân tích được tổ chức của vật liệu. Phươnθ hay δ = 2dsinθ g
pháp nθ hay δ = 2dsinθ ày gọi là phươnθ hay δ = 2dsinθ g pháp kim tươnθ hay δ = 2dsinθ g địnθ hay δ = 2dsinθ h lượnθ hay δ = 2dsinθ g.
II LÝ THUYẾT
Trang 90• Kα); n=1hả nθ hay δ = 2dsinθ ănθ hay δ = 2dsinθ g vậnθ hay δ = 2dsinθ hànθ hay δ = 2dsinθ h thiết bị: x50, x100, x200, x500,
x1000, và x1500 lần
• Các dạnθ hay δ = 2dsinθ g vật liệu, mẫu có thể phânθ hay δ = 2dsinθ tích:
* Vật liệu dạng khô như kim loại, sợi, bột, composite, v.v…
Trang 91• Yêu cầu quy cách mẫu, cách thức chuẩnθ hay δ = 2dsinθ bị mẫu:
* Đối với vật liệu dạng bột, sợi ta đặt vật liệu lên trên lamp kính để quan sát
* Đối với vật liệu dạng rắn ta có thể đặt trực tiếp lên bàn để mẫu
* Đối với mẫu kim loại, hợp kim cần quan sát tổ chức
tế vi phải cắt mẫu theo yêu cầu mục đích nghiên cứu sau đó phải mài mẫu, đánh bóng mẫu, tẩm thực mẫu bằng hóa chất thích hợp mới xem được tổ chức.
III TÍNH NĂNG THIẾT BỊ
Trang 92Gồm các bộ phậnθ hay δ = 2dsinθ chủ yếu sau:
•Nguồnθ hay δ = 2dsinθ sánθ hay δ = 2dsinθ g (sợi đốt, halogen…)
•Tụ quanθ hay δ = 2dsinθ g
•Bộ phânθ hay δ = 2dsinθ cực ánθ hay δ = 2dsinθ h sánθ hay δ = 2dsinθ g (thường được
lắp cố định phía dưới tụ quang)
•Giá đỡ mẫu có khả năng xoay vòng
•Mâm vật kínθ hay δ = 2dsinθ h
•Bộ phânθ hay δ = 2dsinθ tích (có khả năng xoay vòng
Núm chỉnθ hay δ = 2dsinθ h độ hội tụ (chỉnh thô,
chỉnh tinh)
Bệ đỡ kínθ hay δ = 2dsinθ h
Ốnθ hay δ = 2dsinθ g nθ hay δ = 2dsinθ ối với camera (nếu có)
Trang 93• Ánh sáng phản xạ trên mẫu được tiêu tụ trên mặt phẳng tiêu diện vật kính. Vật
Nguyên lý họat động
Trang 94Quy trìnθ hay δ = 2dsinθ h sử dụnθ hay δ = 2dsinθ g kínθ hay δ = 2dsinθ h hiểnθ hay δ = 2dsinθ vi
Trang 95• Cách chuẩnθ hay δ = 2dsinθ bị mẫu để xem tổ chức tế vi của kim loại
• Chọnθ hay δ = 2dsinθ và cắt mẫu
• Mài mãu
• Đánθ hay δ = 2dsinθ h bónθ hay δ = 2dsinθ g mẫu
• Tẩm thực mẫu
IV THỰC HÀNH THÍ NGHIỆM
Trang 96V NỘI DUNG BÁO CÁO
Tóm tắt:
• Nguyên lý làm việc của kính hiển vi, ứng dụng của kính hiển vi trong nghiên cứu vật liệu, mục đích của phương pháp phân tích kim tương đối với vật liệu kim loại và hợp kim.
• Tóm tắc cách chuẩn bị mẫu để soi kim tương.
• Nhận xét trên hình ảnh được thí nghiệm, kết luận tổ chức của kim loại.
Trang 97Thí nghiệm 4
PHƯƠNG PHÁP ĐO ĐỘ CỨNG CỦA VẬT
LIỆU
Trang 98ĐỘ CỨNG
Trang 99ĐỘ CỨNG
Trang 100Phươnθ hay δ = 2dsinθ g Pháp Đo Độ Cứnθ hay δ = 2dsinθ g ROCKα); n=1WELL
1/ Giới Thiệu:
Vào những năm 1908 giáo sư người Viennese tên
là Ludwig đã đưa ra khái niệm cơ bản về phép đo độ cứng
thông qua chiều sâu vi phân trong cuốn sách có tên là Die Keglprole Dựa vào những khái niệm cơ bản trên 2
Rockwell (1886-1940) tìm ra phương pháp thử độ cứng
Rockwell, hai ông này nhận được bằng sáng chế vào 15/7/1914 Phương pháp này giúp xác định nhanh hiệu ứng của nhiệt luyện trong kỹ thuật
Trang 1012/ Phương Pháp Thử:
kính cong R = 0,2mm hay viên bi thép tôi cứng có đường kính 1/16,1/8,1/4,1/2 inchs để ấn lên bề mặt thử
• Độ cứng được xác định bằng cách ta lần lượt tác dụng lên viên bi hoặc mũi kim cương hai lực ấn nối tiếp, lực ban đầu là 100N, tiếp theo là 600N hoặc 1000N hoặc 1500N tùy theo thang chia
Trang 103• Quy trình đo cơ bản như sau:
- Tác động đầu thử vào vật mẫu với một lực tối thiểu, thường là 10kG hoặc 30kG nếu đo mềm Khi đạt độ cân bằng, thiết bị đo (theo dõi dịch chuyển đầu đo và các phản hồi về thay đổi chiều sâu tác động của đầu đo) ghi lại giá trị xác định Tiếp đến, trong khi vẫn duy trì lực tác động tối thiểu, người ta tác động thêm một lực tối đa Khi đạt được độ cân bằng, thôi tác động lực tối
đa nhưng vẫn duy trì lực tác động tối thiểu ban đầu Khi lực tối
đa được thu về, độ sâu vết lõm trên bề mặt vật thử sẽ được phục hồi một phần Độ sâu vết lõm còn lại (kết quả của phát và
thu lực tối đa) được sử dụng để tính toán độ cứng Rockwell.